【課題】ハロゲン化物ガスとハロゲン化物粒子とを含む除害対象ガスの除害処理を確実に行うことができる除害方法を提供する。
【解決手段】ハロゲン化物ガスと常温で固体であるハロゲン化物粒子とを含む除害対象ガスの除害方法において、前記除害対象ガスを、金属水酸化物、好ましくはアルカリ金属の水酸化物あるいはアルカリ土類金属の水酸化物を含む第１の除害剤に接触させた後、ハロゲン化物を除害可能で、前記第１の除害剤の大きさより小さな大きさを有する第２の除害剤に接触させる。 （もっと読む）

【課題】粒径、形状及び成分が分析できるように、大気中に浮遊するパーティクルをウェハ上に効率高く捕集すること。
【解決手段】密閉容器内の載置部上にウェハを載置して、この載置部上のウェハに対向するように設けられた加熱プレートにより当該加熱プレートとウェハとの間の雰囲気を加熱すると共に、載置部上のウェハが加熱プレートよりも低い温度となるように冷却する。そして、この加熱プレートと載置部上のウェハとの間の領域に密閉容器の外部の雰囲気を通流させて、熱泳動力により当該雰囲気中のパーティクルをウェハ上に捕集する。 （もっと読む）

【課題】気体中の各種粉粒体を捕獲し回収する方法並びに装置に関し、より狭小な空間で効果的に各種の気体中粉粒体を捕獲し、かつ回収できる方法並びに装置を実現する。
【解決手段】回転体を囲む周壁からなる回転体室を有し、回転軸で駆動される回転体に向けて、各種の粉粒体を含む気体流を供給することによって、粉粒体を回転体に付着させ、捕獲する。あるいは、回転体室の周壁に、回転体の遠心力で粉粒体を衝突させて付着させ、捕獲する。こうして付着した粉粒体は、浮遊粉粒体が堆積して、粉粒堆積物となる。この粉粒堆積物は、後述の回収技術を駆使して回収する。 （もっと読む）

【課題】軽量、安価で、ダスト捕捉性能に優れたダスト等捕捉装置を提供する。
【解決手段】複数のローラーＡ〜Ｆ８〜１３（以下「ローラー」という）に張架されたベルト状のネット１８と、ダスト捕捉用の粘着剤１４を収納する粘着剤収納パン１５と、ローラーが設置された基台３とを有し、粘着剤収納パン１５に収納された粘着剤１４にネット１８の一部を浸漬しながらネット１８を移動させて、ネット１８に粘着剤１４を施すもので、ネット１８をローラー上で移動させるだけで、簡単にネット１８に粘着剤１４を付着させることが出来るので、使用勝手が良い。また、粘着剤１４が付着される基材がネットなので、通気性が良く、それにより浮遊ダストの捕捉性能が向上する。さらに、ネットがロール状に巻かれたものではないので、軽量で、また、ネット１８の使用されないまま残る部分が無いので、その部分の劣化を防止することが出来る。 （もっと読む）

長さ−幅−高さの寸法が常に１ｍｍ〜３ｃｍの範囲にあり、少なくとも一つの寸法が５．５ｍｍより大きな成型物であって、
（ａ）密度が５〜５００ｋｇ／ｍ³の範囲にあり、平均空孔径が１μｍ〜１ｍｍの範囲にある連続気泡発泡体を、
（ｂ）分子当たり少なくとも一種のヘミアミナールまたはアミナール基を有する少なくとも一種の化合物の水溶液、または少なくとも一種の共重合されたＯＨ基含有、β−ジカルボニル基含有、またはエポキシ基含有コモノマーを含む少なくとも一種のコポリマーの水性配合物での処理し
（ｃ）さらに、成形工程で処理して得たものの、
集塵機中でのダスト結合材としての使用。 （もっと読む）

本発明は、長さ−幅−高さの寸法が常に１ｍｍ〜５ｃｍの範囲にある成型物であって、
（ａ）密度が５〜５００ｋｇ／ｍ³の範囲にあり、平均空孔径が１μｍ〜１ｍｍの範囲にある連続気泡発泡体を
（ｂ）少なくとも一種のカチオン性ポリマーの水性配合物で処理し、
（ｃ）さらに、成型工程で処理して得たものの、
集塵機中でのダスト結合材としての使用。 （もっと読む）

【課題】乱流状態を呈する気体内に拡散している、塵、もや、煙りおよび有害ガスなどのような粒子の分離と回収を容易にする。
【解決手段】比較的に多数の網状のスクリーンがそれぞれフレームに支持され、次々と前後して配置されている。塵を含む気体は入口１２からハウジング１０に侵入し、流路１６を通って流れ、そして浄化された気体が出口１４から排出される。この入口と出口には縁２４がある。スクリーンが占めているゾーンに向かってスクリーン上の自由な通路を通って流れる気体に生じる渦によって、微粒子は連行され、ここで渦は減衰しそして塵はスクリーンの網目（およびスクリーンの上縁にある金属ベルト）に沈着し、次に、十分な厚さの沈着が形成された後に、沈着された粒子はこの装置の底に落下する。 （もっと読む）