【解決課題】
消耗部品の交換による運転停止が最小限ですみ、かつ装置構成を小型化可能な液浸露光用超純水の製造方法及び装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
液浸露光装置における投影光学系の最下面とレジスト間の露光光通過空間に供給される液浸露光用の超純水を製造するにあたり、流路に沿って複数の紫外線照射装置を直列配置し、その下流にイオン交換装置を配置して、ＴＯＣ１０ｐｐｂ以下の一次超純水を供給し、紫外線照射装置の一つを使用して液浸露光用の超純水を連続的に製造するとともに使用中の紫外線照射装置の性能を監視する。この紫外線照射装置の性能が所定のレベル以下になったとき、他の紫外線照射装置に切替えて連続運転を続ける。 （もっと読む）

【課題】生分解性であって、１μｍ程度の大きさの粒子を阻止するが水溶性高分子は透過させることができ、かつデプスフィルターとして利用可能な非対称性構造を有する、新規のポリ乳酸製の精密濾過膜及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ポリ乳酸を溶媒に溶解して得たポリ乳酸の溶液を型に入れて薄膜状とし、型とともに溶液よりも低温に維持されたポリ乳酸の非溶媒に浸漬することによってデプスフィルター型精密濾過膜を得た。好ましくは、溶媒はジメチルスルホキシドであり、非溶媒は水である。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、安価であり、ＰＴＦＥ製品では得られない種々の変更、及び複雑な設計も可能であり、しかもＰＴＦＥと同一、又は類似する性質を有する材料で形成されたフィルタカートリッジの提供。
【解決手段】導入口２０と送出口３０とを有するハウジング１０と、これ等導入口と送出口との間に位置し、ハウジング内に収容された濾過隔膜４０とを有する濾過カートリッジであって、全体のカートリッジ、ハウジング、隔膜、及びその他いずれかの構成部分を全て、１個、又はそれ以上のペル弗化熱可塑性樹脂で形成する。これ等の樹脂がＰＦＡ（ペルフルオロアルコキシ）、ＭＦＡ、ＦＥＰ（弗化エチレンプロピレン）、及びこれ等の配合物であるのが好適であり、このカートリッジはＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）樹脂に類似する性質を有する不活性で、高温、酸性、及び酸化性化合物に対して抵抗性のあるフィルタである。 （もっと読む）

【課題】逆洗のための設備負荷を低減しながら、所望の処理能力を有する装置の構築が容易になる濾過装置を提供することを目的とする。
【解決手段】原水を膜濾過するための第１濾過ユニット２Ａ及び第２濾過ユニット２Ｂには、ＭＦ膜モジュール３とＲＯ膜モジュール５とを連絡する連絡ライン２３と、ＭＦ膜モジュール３からの濾過水をＭＦ膜モジュール３の２次側に供給する逆洗ライン３１とが設けられている。また、第１濾過ユニット２Ａ及び第２濾過ユニット２Ｂ双方の逆洗ライン３１同士は逆洗連絡ライン３７を介して連絡され、第２濾過ユニット２Ｂの逆洗時には、第１濾過ユニット２ＡのＭＦ膜モジュール３からの濾過水が逆洗連絡ライン３７を通って第２濾過ユニット２Ｂに供給される。その結果、第１濾過ユニット２Ａ及び第２濾過ユニット２Ｂの双方に独立した逆洗配管を設ける場合に比べて逆洗のための設備負荷が低減される。 （もっと読む）

ヒアルロン酸を含む溶液の無菌化方法。その方法は重量平均分子量が０．６ＭＤａ〜３．６ＭＤａであるヒアルロン酸の水溶液であって、該ヒアルロン酸の濃度が０．０４質量％〜０．８質量％である水溶液を提供することを含む。その水溶液は、また、イオン強度が３質量％〜３０質量％の塩化ナトリウムの水性濃度と等価である。一旦、高塩濃度ヒアルロン酸水溶液を調製したら、その溶液を、少なくとも１時間で６日間以下の間、４０℃〜８０℃の温度に維持する。その加熱処理工程に次いで、水溶液を除菌フィルタ媒体をとおしてろ過し、除菌された高塩濃度ヒアルロン酸溶液を提供する。
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【課題】揮発性の溶質を含有する水溶液から、揮発性の溶質が浄化対象水中に漏れることを抑制しつつ、浸透圧による採水との両立を図り、効率よく浄水化処理を行うことができる水浄化装置及び水浄化方法を提供する。
【解決手段】揮発性の溶質、及びポリマーを含有する水溶液と、浄化対象水とを半透過膜１を介して接触させ、該半透過膜１により前記浄化対象水から分離された水で前記水溶液を希釈する希釈手段１１と、前記希釈手段１１により希釈された水溶液から、前記揮発性の溶質、及び前記ポリマーを分離して、浄化水を得る分離手段３，５と、前記分離手段３，５により分離された前記揮発性の溶質を、前記ポリマーを含有する水溶液に戻し、溶解させる溶解手段１４と、を有する水浄化装置である。 （もっと読む）

本発明は、膜材本体（７）を備え、膜材本体（７）の上下端にそれぞれ外筒（６）が外嵌され、膜材本体（７）の内部に中空糸（１１）が設けられ、中空糸（１１）の上端に配水器（９）が設けられ、その下端に膜仕切りサポート（５）が設けられ、前記配水器（９）の配水穴の穴径が取水口（１０）から離れるほど大きくなり、前記配水穴が環状に設置され、膜材本体（７）の上端の外筒（６）の上部に上端ソケット（８）が接続され、膜材本体（７）の下端の外筒（６）の下部に下端ソケット（２）が接続され、下端ソケット（２）の下端にポート（１）が設けられていることを特徴とする中空糸型限外ろ過膜ろ過装置を開示する。本発明は、美観で作製・組み立て易く、流束が大きいとともに、密閉性が優れ、占有空間が小さいので、特に工業用浄水に適用される。
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【課題】家庭用浴槽内の使用済みのお湯をセラミック膜フィルターによりフィルターの破棄を無くする浄湯をおこなう事で、外部に設けた多重式のステンレス槽を魔法瓶方式で貯湯して自由に取り出せれるようにする事によりエネルギーおよび水の無駄を排除出来る安価な装置として開発。
【解決手段】標準的なフィルターエレメントでない再生可能なセラミック膜フィルターを使用することで、フィルターエレメントの破棄を不要とし、ゴミや細菌、雑菌も水質基準内に浄化でき、浴槽外の魔法瓶的貯湯槽で蓄えることでエネルギーの空気中への放出を減らせれる家庭用ろ過湯貯湯槽装置。 （もっと読む）

【課題】 理容室、美容室等で使用された水による河川等の水質汚染を極力防止できると共に、水道水の使用量を大幅に減少させることができる排水浄化装置を提供する。
【解決手段】 排水浄化装置１を排水に混在した頭髪、体毛を捕捉する毛髪除去装置１１と、排水に含有する化学物質を除去する水質改善装置２１とから構成する。毛髪除去装置１１は、周壁部及び底壁部に流通孔を多数形成した収集容器１２内に不織布から成る袋状フィルター１３を装着したものが好ましい。水質改善装置２１は、外側容器２２内に周壁部及び底壁部に流通孔を多数形成した内側容器２３を設置し、その内側容器２３内に袋状濾過膜２４を装着し、その袋状濾過膜２４内に化学物質を吸着する機能を有する吸着繊維体２５を充填したものが好ましい。 （もっと読む）

【課題】産業廃棄物の量を著しく減容化でき、しかも、操作性および収率に優れた精製糖液の製造方法を提供する。
【解決手段】固形分を含有する原料糖液から当該固形分を除去して精製糖液を製造するに当り、先ず、連続式または回分式の膜濾過システムに原料糖液を供給し、以下の式（Ｉ）に定義する濃縮倍率が１０〜６０倍の条件下で濾過を行って濃縮液と透過液とに分離し、次いで、フィルタープレスにて上記の濃縮液を圧搾して当該濃縮液から糖液を回収する。
［数１］
濃縮倍率＝供給液量／（供給液量−透過液量）・・・（Ｉ） （もっと読む）