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国際特許分類[B01D8/00]の内容

処理操作;運輸 (1,245,546) | 物理的または化学的方法または装置一般 (124,790) | 分離 (62,952) | コールドトラップ;コールドバッフル (31)

国際特許分類[B01D8/00]に分類される特許

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【課題】長時間の連続運転が可能な冷却トラップ装置及び運転方法を提供する。
【解決手段】第1トラップ槽11aの蒸気流入弁、排気弁、高圧冷媒弁及び圧縮機吸入弁を開いてガス流入弁及び液体導入導出弁を閉じ、第1トラップ槽で溶媒蒸気を冷却して捕集する蒸気捕集工程を行っているときに、第2トラップ槽11bでは、蒸気流入弁、排気弁、高圧冷媒弁及びガス流入弁を閉じて液体導入導出弁を開き、加熱槽から吸引した除霜用液体で第2トラップ槽内の霜を加熱溶解させて液化する加熱溶解段階と、ガス流入弁を開いて第2トラップ槽内にガスを導入して液体を加熱槽に戻す液体排出段階と、液体導入導出弁及びガス流入弁を閉じて排気弁及び予冷弁を開き、第1トラップ槽の蒸発器から導出したガス状冷媒を第2トラップ槽の蒸発器を通す予冷段階とを含む再生工程を行う。 (もっと読む)


【課題】トラップ機能とバイパス機能とを有する小型のトラップ装置を低コストで提供する。
【解決手段】基板を処理するためのガスを導入するためのガス供給部が接続されているチャンバーと、前記チャンバー内のガスを排気するための排気部との間に設けられたトラップ装置50であって、前記チャンバーと接続される吸入口52と、前記排気部と接続される排出口53と、第1の空間57を有するバイパス部51と、前記ガスに含まれる未反応成分を冷却して凝固させて除去する第2の空間61を有する冷却トラップ部60と、を有し、前記ガスは、第1の状態では前記第1の空間57を介し流れ、第2の状態では前記第2の空間61を介し流れるものであって、前記冷却トラップ部60に対し第1の流路55及び第2の流路56を、回転部54により相対的に移動させることにより、前記第1の状態と前記第2の状態とを切り替える。 (もっと読む)


【課題】排気対象容積を所望の真空度に短時間で回復させることを可能とするコールドトラップ及び真空排気装置を提供する。
【解決手段】コールドトラップ210は、冷凍機222と、冷凍機222に熱的に接続され冷却されるコールドパネル220と、を備える。コールドパネル220には粗面242が形成されている。コールドトラップ210は例えば、ターボ分子ポンプ212に真空チャンバ216を接続する排気流路214に配置され、真空チャンバ216から排気流路214を通じてターボ分子ポンプ212へと吸入されて排気される気体の一部をコールドパネル220の表面に凍結して捕捉する。 (もっと読む)


本明細書には、バイオリアクターに入る、またはバイオリアクターを出る湿ったガス流中の水分を凝縮するためのシステムおよび方法が開示され、そのシステムは、流体を保持することができる凝縮容器を含み、凝縮容器は:外壁面および内壁面を含み、内壁面は、流体を保持するための内部チャンバーを確定し;および凝縮容器は、さらに、凝縮容器の外壁面へ付けられた第1備品を含み、第1備品は、湿ったガス流が第1ポートを通って、内部チャンバーへ流れることを可能にするように構成された第1ポートを形成し;前記凝縮容器は、さらに、凝縮容器の外壁面へ付けられた第2備品を含み、第2備品は、乾いたガスが内部チャンバーから流れ、第2ポートから流れ出ることを可能にするように構成された第2ポートを形成し;および、前記システムは、さらに、凝縮容器の外壁面の少なくとも一部分に接し、凝縮容器の外壁面の少なくとも一部分を冷却するように配置された冷却装置を含み、それによって、湿ったガス流の水分を凝縮し、そしてバイオリアクターに入る、またはバイオリアクターを出るための乾燥したガス流を形成する。 (もっと読む)


【課題】真空槽内配置型コールドトラップの連続使用および再生を従来よりも効率に行うことができる真空排気装置を提供する。
【解決手段】真空排気装置102は、真空槽10内を排気できる真空ポンプ11と、真空槽10内のガスを凍結トラップできるコールドトラップ35と、真空槽10内に配された凹型の蓋部32と、蓋部32に対置された平板状の座部33と、を備える。そして、蓋部32と座部33とによって、コールドトラップ35を格納できるコールドトラップ室37の形成が行われる。 (もっと読む)


【課題】流体の輸送システムに使用される、ランニングコストの低い不純物回収装置を実現する。
【解決手段】不純物回収装置が、流体を導入する導入口と流体を排出する排出口とを備えた容器と、容器内に収容される複数の剛体と見なせるボールと、容器内で導入口と排出口との間に設置され、導入口に導入された流体が複数のボールの間の間隙を通過して排出口から排出されるように複数のボールを保持するボール保持手段とを有する。好ましくは、不純物回収装置が、ボール保持手段に保持される複数のボールを冷却する冷却手段を更に有する。 (もっと読む)


【課題】未反応の材料ガスを効果的に冷却して、未反応の材料ガスからの副生成物の回収率を向上した副生成物除去装置を提供する。
【解決手段】未反応の材料ガスが、実線の矢印に示すように、材料ガス流入路3を介して、内ケース2内に流入するとき、冷却流体が、外ケース1と内ケース2との間の隙間Sに流れる一方、冷却ガスが、点線の矢印に示すように、冷却ガス流入路4を介して、内ケース2内に流れて、未反応の材料ガスが冷却され、この未反応の材料ガスから副生成物が析出する。 (もっと読む)


【課題】再生時間を短縮する。
【解決手段】コールドトラップ10は、排気流路14に露出して配置されたコールドパネル20と、コールドパネル20に熱的に接続されコールドパネル20を冷却する冷凍機22と、コールドパネル20の表面に凍結した気体を気化して真空ポンプ12で外部に排出する再生処理において冷凍機22を制御することにより、コールドパネル表面に凍結した気体が融解することなく気化することが保証されている非液化温度範囲を超える温度にコールドパネル20を昇温し、かつ当該温度においてコールドパネル20表面に凍結した気体が融解することなく気化するように排気流路14の圧力を調節する制御部24と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 ガス流入口近傍以外の箇所における固形物の蓄積を促進させることにより、装置の使用時間を延ばし、かつ、固形物の収集効率を向上させる。
【解決手段】 両端に開口を有した円筒形状の容器22の一方の開口がガス流入口24として、他方の開口がガス流出口26として用いられる。容器の内部のガス流入口とガス流出口との間に、排気経路に接続されるガスの流路が形成されている。この流路は、螺旋状に延在する主流路と、この主流路の一部から分岐して当該主流路の他の部分に接続する副流路とで構成される。主流路は、容器内部の円筒形状の軸体28の表面に接続された薄板30によって形成される。副流路は、薄板の所定の位置に形成された開口32によって形成される。 (もっと読む)


【課題】冷却パネルに凝縮又は凝固された気体を、冷却トラップユニット外に排出する再生時に、再生時間を大幅に短縮する。
【解決手段】ドレインポート10を有する真空容器2と、吸熱部5が真空側に位置するように真空容器2に接続された冷凍機1と、吸熱部5に密着して固定され、気体を凝縮又は凝固する冷却パネル7を有する冷却トラップユニット3において、冷却パネル7に凝縮又は凝固された気体を、真空容器2の外に排出する時に、液体を冷却パネル7に接触するように真空容器2内に溜め込み、吸熱部5に設置した温度センサ11により液体の温度変化を検出し、温度が所定値に達した検出信号に基づき、ドレインポート10から液体を排出させる構造を備える。 (もっと読む)


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