【課題】プラズマ処理が効率よく行われ、電極の絶縁が容易になり、内壁に沿う沿面放電が抑制されるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置１０００は、流路１０１８を持つチャンバ１０１０が絶縁体からなる。流路１０１８の軸方向に非平行な方向に延在する溝１０３６が流路１０１８を囲む内壁１０３４に刻まれる。第２の電極１０１４及び第３の電極１０１６は、それぞれ、第１の電極１０１２より流路１０１８の上流側及び下流側にある。第１の電極１０１２と第２の電極１０１４とは流路１０１８の軸方向に間隔を置いて対向する。第１の電極１０１２と第３の電極１０１６とは流路１０１８の軸方向に間隔を置いて対向する。第１の電極１０１２はパルス電源１００４の第１の極に電気的に接続され、第２の電極１０１４及び第３の電極１０１６はパルス電源１００４の第２の極に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】特定の生成物や副次生成物の生成量を低減可能とされた被処理物の処理方法及び処理装置、さらには、特定の生成物が生成するように制御可能とされた被処理物の処理方法及び処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明の被処理物の処理方法は、温度変化することにより成分状態が変化する気体を含む被処理物が活性化状態にある時に、前記被処理物が特定の成分に変化させられる温度領域以下に前記被処理物を急冷することによって、前記特定の成分が存在する温度領域の保持時間を短くして前記被処理物の成分状態を変化させる処理を施すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
揮発性有機ガス等の有害ガスを含むガスを、プラズマと触媒とを併用して、低温で浄化する方法および装置を提供する。
【解決手段】
触媒微粒子を担持したシートまたは繊維構造体からなるフィルターをプラズマ反応器に装填することにより、低い印加電圧でプラズマの発生が可能となり、触媒微粒子とプラズマとの相乗作用により、有害ガス等を含むガス中の有害ガス等を効率よく分解することを可能とした。具体的には、浄化方法は、触媒微粒子が担持された、シートまたは繊維構造体からなるフィルターが装填され、電圧の印加によりプラズマを発生する低温プラズマ反応層内に、揮発性有機ガス等の有害ガスを含む空気を通過させて、揮発性有機ガス等の有害ガスを分解することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被蒸着体にカーボン粉を用い、蒸着材としてシリコンを付着することで、カーボン粉上に均一に所定のシリコンナノ粒子を均一に付着させることができる。微粒子形成装置を提供する。
【解決手段】 攪拌容器７３に収納された担持体であるカーボン粉（被蒸着体７）を攪拌しながらナノ粒子（蒸着体）のプラズマを上から照射し、カーボン粉表面に触媒金属を担持させる。この過程で、スタンプ８５のアーム部８９は、攪拌容器７３の回転に連動して、上部開口部の縁部９０の斜めに切りかけたスロープを登る。そして、最終上段まで上がったときに、段差９０ｃで低い段差に急激に落とされて、その下部にあった被蒸着体７の塊を粉砕する。また、蒸着材料のシリコンは電気を通さないといけないため比抵抗は０．１Ωｃｍ以下に保たないといけない。 （もっと読む）

【課題】高温ガスの流量及び温度の制御範囲を拡大できるようにする。
【解決手段】高温ガスを生成するためのプラズマガス生成装置であって、内管２の先端に設けられ中心に陰極開口７を有する陰極３と、陰極３の後方に接触配置されて陰極３に電子を供給する浮遊電極４と、内管２と浮遊電極４との間を介して陰極開口７に陰極ガス５を導く陰極ガス流路６と、陰極３及び内管２の外側に設けられ陰極開口７の下流に陽極開口１１を有する陽極８と、内管２と陽極８との間を介して陽極開口１１に陽極ガス９を供給する陽極ガス流路１０と、陽極８の外側に設けた外側部材１２と、外側部材１２と陽極８との間を介して希釈ガス供給装置１３からの希釈ガス１４を供給する希釈ガス流路１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】粒径が小さく、粒径のばらつきが小さい微粒子を製造することができる製造装置および微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】微粒子の製造装置は、微粒子製造用の原料を熱プラズマ炎中に間歇的に供給する原料供給手段と、内部に熱プラズマ炎が発生されるものであり、原料供給手段により間歇的に供給される原料を熱プラズマ炎で蒸発させて気相状態の混合物とするプラズマトーチと、プラズマトーチの内部に熱プラズマ炎を発生させるプラズマ発生手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】ナノスケール導電性微粒子を長時間にわたって連続的に製造することができる、ナノスケール導電性微粒子の連続製造装置を提供する。
【解決手段】本装置は、導電性の液体を収容した第１の容器１０と、第１の容器に導電性の液体を供給する送液路２０と、第１の容器内の導電性の液体中に配置された導電性材料からなる陰極３０と、導電性の液体中において陰極から所定の距離を隔てて配置された陽極４０と、陰極の近傍にグロー放電プラズマを生じさせる電圧を陰極と陽極との間に印加する電源５０と、液体を収容した１つ又は複数の第２の容器６０と、第１の容器及び１つ又は複数の第２の容器を連通する液体流路７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 二酸化炭素の処理効率が高く、処理コストが低い二酸化炭素分解処理装置及び二酸化炭素分解処理方法を実現する。
【解決手段】 二酸化炭素分解処理装置１は、マイクロ波を伝送する導波管１０と、マイクロ波発振器１１と、マイクロ波のマッチングを行うマッチング部１２と、同軸変換部１３と、を備えている。マッチング部１２の側面には、二酸化炭素を含む被処理ガスを内部に導入するためのガス導入口１２ｂが設けられている。マッチング部１２の内部に導入された被処理ガスは、同軸変換部１３に導入され、同軸変換部１３において励起されたマイクロ波プラズマＰにより二酸化炭素が分解される。 （もっと読む）

【課題】表面にナノレベルの微細構造が形成された導電性材料を低コストで効率的に製造できる方法を提供する。
【解決手段】電解溶液３中に、不溶性陽極電極４と、被処理表面を有する導電性材料からなる、陰極電極５としての被処理材とを浸漬した後、電解溶液３中に浸漬した不溶性陽極電極４と、陰極電極５としての被処理材との間に、第１電圧以上、第２電圧未満の電圧を印加し、被処理表面を改質処理する表面改質処理工程を含み、第１電圧が、表面改質処理系の電圧−電流特性において、正電圧領域に最初に現れる第１電流極大値と、正電圧領域に最初に現れる第１電流極小値との和の１／２の電流値に対応する電圧であり、第２電圧が、完全プラズマ状態を呈する電圧であることを特徴とする表面改質された導電性材料の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】短命活性種と長命活性種のそれぞれの特徴を生かし、放電期間全体において高い殺菌性と持続性のある殺菌性とをバランスよく両立させることを可能とする放電装置を提供すること。
【解決手段】この放電装置ＤＡ１は、気中放電の放電発光高さが第一の高さとなる第一の放電と、気中放電の放電発光高さが第二の高さとなる第二の放電とを交互に発生させるものであって、第一の高さを第二の高さよりも高くすることで、第一の放電によって発生する活性種は第二の放電によって発生する活性種よりも活性寿命が短い短命活性種を多く含む一方で、第二の放電によって発生する活性種は第一の放電によって発生する活性種よりも活性寿命が長い長命活性種を多く含むように、発生する活性種の態様を変化させる。 （もっと読む）