【目的】 大型の電極を使用する場合や高い周波数の高周波電力を使用する場合でも、プラズマ密度が不均一化することがなく、均一な表面処理が行えるようする。
【構成】 真空容器１内に配置された電極体３に複数の電力供給箇所で高周波電力を印加し放電用ガスを放電させてプラズマを生成する。電極体３はプラズマを生成する空間に対向した表面の周縁上の任意の二点のうちの最も距離の長い二点間の距離が高周波電力の波長の四分の一よりも長い形状であり、かつ、電極体３への複数の電力供給箇所は例えば中心対称状のように均等な位置に設定される。電極体３の表面インピーダンスによる損失が小さくかつ損失が均一になり、高周波電力の波長の影響によるプラズマの不均一性も生じないので、高い密度の均一なプラズマを得ることができる。 （もっと読む）

【目的】 減圧環境を必要とせず、装置を小型で移動可能にでき、かつ低コストで処理能力が高く、被処理材に与えるダメージが少なく、しかも必要に応じて局所的に被処理材を表面処理することができる。
【構成】 誘電体材料で形成されたガス流路２内に、目的に応じて所定のガスを導入する。高周波電圧を印加することによって、大気圧またはその近傍の圧力下でガス流路内でガス中に気体放電を生じさせる。この放電により生成されるガスの活性種をガス流にして、被処理材１１に曝露させてその表面を処理する。 （もっと読む）

【目的】 フラーレン類の製造効率を向上する。
【構成】 プラズマ発生系７から下向きに発生した熱プラズマ１１に原料が連続的に定量供給され、熱プラズマ１１中において反応してフラーレン類を含むスス状生成物が生成する。この生成物は、接続配管３６から生成物回収槽３７に導入され、その大部分が該生成物回収槽３７内に堆積する。堆積しなかった生成物は、バグフィルタ４０において完全に回収される。
【効果】 プラズマ発生炉３５が上下方向に設けられており、熱プラズマ１１も下向きに噴射されているため、生成したフラーレン類を含むスス状生成物が効率良くプラズマ発生炉３５内を落下し、生成物回収槽３７に導入される。このため、プラズマ発生炉３５内の生成物の堆積が少なく、長時間にわたって連続運転することができる。また、フラーレン類を含むスス状生成物は、生成物回収槽３７及びバグフィルタ４０によりほぼ完全に回収されるため、フラーレン類の回収率も極めて高い。 （もっと読む）

【目的】本発明は、セラミックや木材等の非金属材料を熱加工処理する際に用いられる非金属材料の誘導加熱方法において、大掛りで複雑な加熱装置を要することなく、簡便に非金属材料を誘導加熱処理することを目的とする。
【構成】非金属材料からなる被加熱体としてのセラミック管１１の周囲を、耐熱性非金属の布１２により被うと共に、この布１２とセラミック管１１の表面との間の空間を、透磁率の高い金属粉１３にて充填し、この金属粉１３を、高周波電力が供給される誘導加熱用コイル１４を巻回して誘導加熱するので、被加熱体としてのセラミック管１１も加熱処理されようになり、非金属材料、例えば木材等をも大掛りな加熱装置なくして簡便に加熱することができる。 （もっと読む）