【課題】被処理基板上に形成される薄膜の膜厚を均一にする。
【解決手段】被処理基板１０の被成膜面１２上に薄膜を成膜する薄膜形成方法は、複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスの被成膜面１２の高さ位置Ｓにおけるガス風速の分布を測定する工程と、隣り合う２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅ同士の間の間隔Ｌ１〜Ｌ４が所定の値となるように複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅを配置する工程と、を備え、間隔Ｌ１〜Ｌ４は、２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスのそれぞれのガス風速の分布に基づいて薄膜の膜厚が均一となるように所定の値に設定される。 （もっと読む）

【課題】液体と気体とを混合して噴射する二流体ノズルにおいて、ノズルの異常および劣化の程度を適切に判定する。
【解決手段】ノズル検査装置２００は、計測部２１１，２１２と、判定部２３２とを備え、液体と気体とを混合して噴射する二流体ノズル１１０における異常の有無を検査する。計測部２１１，２１２は、二流体ノズル１１０に供給される液体の圧力および流量の少なくとも一方に関する情報を計測する。判定部２３２は、計測部２１１，２１２によって計測された情報について、予め定められた時間において検出された上記情報の平均値からの上記情報の各々の変動量の大きさに基づいて、二流体ノズル１１０における異常の有無、および劣化の程度を判定する。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜される膜の厚さの均一性を向上する。
【解決手段】筐体１５０と、筐体１５０の内部に成膜材料１６０を微粒子化したミストを噴霧する複数の噴霧機構と、複数の噴霧機構の基板２００上への成膜量を所定の範囲に収めるように調節する調節手段とを備える。調節手段は、複数の噴霧機構の各々の基板２００上への成膜量を調節する、または、基板２００上への成膜量に関して複数の群に分けられた複数の噴霧機構においてこの複数の群の各々に含まれる噴霧機構毎に基板２００上への成膜量を調節する。 （もっと読む）

【課題】塗料の物性に応じて塗料の霧化状態や噴射形状を調整する。
【解決手段】ハンドガン２０はエアにより車両に塗料を吹付ける。塗装対象車両認識部４１は車両に吹付ける塗料の物性を確認する。エア供給量記憶部４２は塗料の物性とハンドガン２０に供給するエアの量との関係を記憶する。エア供給量制御部４３は塗装対象車両認識部４１が確認した塗料の物性とエア供給量記憶部４２が記憶する塗料の物性およびハンドガン２０に供給するエアの量との関係から、ハンドガン２０に供給するエアの量を制御する。 （もっと読む）

【課題】静電霧化装置の必要以上の故障判定を行うことを抑制することができる衛生洗浄装置を提供する。
【解決手段】衛生洗浄装置に一体に設けられトイレルームの脱臭と除菌を行う静電霧化装置８００において、霧化電極８３２と対向電極８３３と間の放電電流の異常を検知する異常検知手段７４０と異常検知の回数をカウントするカウント手段７５０と時計手段７３０とを備え、異常検知手段７４０が検知した異常検知の回数が所定時間内に連続して所定回数以上カウントされた場合に、静電霧化装置８００を故障と判定することにより、故障判定に費やす時間を長くすることにより、結露水による霧化電極８３２と対向電極８３３間の短絡状態が解消することが可能となり、必要以上に故障判定を行うことを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物の表面及び裏面に相対位置精度良くパターンを形成する。
【解決手段】塗布装置１は、塗布対象物Ｗの表面Ｗａ及び裏面Ｗｂに液を塗布してパターンを形成する塗布装置であって、液をノズルから吐出する塗布ヘッド４と、塗布対象物Ｗを撮像可能な撮像部６と、塗布ヘッド４のノズルから吐出された液によって塗布対象物Ｗの表面Ｗａに形成されたパターンを撮像部６により撮像した撮像画像に基づいて、塗布対象物Ｗの表面Ｗａに形成されたパターンの位置を検出し、その検出した位置に基づいて塗布ヘッド４による塗布対象物Ｗの裏面Ｗｂに対する液の塗布位置を調整する制御装置９とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えば、微細な異物の噛み込み等が発生した場合であっても、良好なメンテナンス性を得ること。
【解決手段】ケーシング３６の内部に形成された貫通孔４２内に回転可能に収装され、ねじれ方向が異なる第１スパイラルギヤ４４及び第２スパイラルギヤ４６と、第１スパイラルギヤ４４の回転を検知する近接センサ２４と、ケーシング３６の軸方向に沿った一端部にボルト３８を介して着脱自在に連結され、メンテナンス孔５０を有するエンドブロック４０ａとを備え、第１スパイラルギヤ４４の一端部には係合穴７０が形成され、ケーシング３６からエンドブロック４０ａを離間させてメンテナンス孔５０を開口させ、メンテナンス用工具を係合穴７０と係合させて第１スパイラルギヤ４４及び第２スパイラルギヤ４６を強制的に回転させる。 （もっと読む）

【課題】ハンドガンの位置に応じて塗料の霧化状態や噴射形状を調整する。
【解決手段】ハンドガン２０はエアーにより車両に塗料を吹付ける。ハンドガン位置認識部４１は車両に対するハンドガン２０の位置を認識する。エアー供給量記憶部４２はハンドガン２０の位置とハンドガン２０に供給するエアーの量との関係を記憶する。エアー供給量制御部４３はハンドガン位置認識部４１が認識したハンドガン２０の位置とエアー供給量記憶部４３が記憶するハンドガン２０の位置とハンドガン２０に供給するエアーの量との関係から、ハンドガン２０に供給するエアーの量を制御する。 （もっと読む）

【課題】作業効率を下げることなく且つ塗装むらなく塗装でき、さらに、スプレーガンが被塗装物と離間した状態における作業者やスプレーガンに対する塗料粒子付着を防止する。
【解決手段】静電塗装装置１は、スプレーガン２と、このスプレーガン内に設けられ直流の高電圧を発生するカスケード３と、このカスケード３流れる電流を検出する電流検出回路１４と、出力電圧変更装置２１とを備え、この出力電圧変更装置２１は、カスケード３が高電圧を出力している状態で検出電流が前記第１の基準値以下となったときにカスケード３の出力電圧を低電圧に変更し、カスケード３が当該低電圧を出力している状態で検出電流が第２の基準値以上となったときにカスケード３の出力電圧を前記高電圧に変更する。 （もっと読む）

【課題】スプレーガンと被塗物の距離が離れているとき、塗料粒子の帯電を減らし、作業者やスプレーガンへの塗料粒子の付着を防止できる静電塗装装置を提供する。
【解決手段】静電塗装装置１は、スプレーガン２と、このスプレーガン内に設けられ直流の高電圧を発生するカスケード３と、制御部１３と、このカスケード３流れる電流を検出する電流検出回路１４とを備え、制御部１３は検出電流値を順次取得して検出電流値の変化率を算出し、検出電流値の変化パターンが基準パターンを示したときに、この変化パターンに基づいて電流基準値を設定して記憶し、カスケード３が連続出力モード状態であるときに検出電流が設定された電流基準値未満となったときに間欠出力モードに切り替え、間欠出力モード状態であるときに検出電流が設定された電流基準値以上となったときに連続出力モードとする。 （もっと読む）