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国際特許分類[B05B3/10]の内容

国際特許分類[B05B3/10]に分類される特許

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【課題】有底の凹部の底部までレジスト液を塗布する。
【解決手段】本発明は、有底のビアホール51が表面に形成されたウエハ50に向けてレジスト液を噴射してレジスト膜60を成膜するスプレーノズル14であって、レジスト液を供給するレジスト液供給路23Aが軸心に沿って貫通して設けられた主軸23と、この主軸23を回転自在に支持する軸受け25と、主軸23の先端に取り付けられ、回転することでレジスト液を霧化させるエアカップ19とを備え、主軸23と軸受け25は、非金属製とされている構成としたところに特徴を有する。このような構成によると、回転霧化式のスプレーノズル14によってレジスト液をウエハ50に向けて噴射しているため、ビアホール51の底部までレジスト液を塗布することができる。 (もっと読む)


【課題】塗料噴霧部材及び塗料供給手段を容易に洗浄する。
【解決手段】塗装装置10は、エアモータ12によって高速回転する中空の回転軸14と、回転軸14の先端に設けられた回転霧化頭16と、回転軸14の内部に挿通された管部材18とを有する。管部材18の小径部24には、外管形成部材28が外嵌される。この外管形成部材28の先端部は、回転霧化頭16に形成された収容孔46に挿入される。外管形成部材28の先端部の外周壁と、収容孔46の内壁との間は所定間隔で離間しており、従って、環状のクリアランス(塗料流通用間隙52)が形成される。外管形成部材28の外周壁に形成された複数個の塗料吐出孔38の開口(塗料供給口)は、収容孔46の内壁に対向する。 (もっと読む)


【課題】回転する塗料噴霧部材の外周縁部から噴霧される塗料(塗粒)の微細化を図る。
【解決手段】塗装装置10は、エアモータ12によって高速回転する中空の回転軸14と、回転軸14の先端に設けられた回転霧化頭16と、回転軸14の内部に挿通された管部材18とを有する。管部材18の小径部24には、外管形成部材28が外嵌される。この外管形成部材28の先端部は、回転霧化頭16に形成された収容孔46に挿入される。また、外管形成部材28には、その中心から収容孔46の内壁に向かうようにして、複数個の塗料吐出孔38が放射状に形成される。すなわち、塗料吐出孔38の開口は、収容孔46の内壁に対向する。好ましくは、この内壁における塗料吐出孔38の開口に対向する部位に、環状凹部48が形成される。 (もっと読む)


【課題】塗装パターンを塗り重ねる際の塗装ガンの動きの自由度を確保しつつ、シェーピングエアを噴出させるための部材を大型化することなく、回転霧化頭の回転軸線近傍に生じる無塗着部位を縮小させ、均一な膜厚の塗膜を得ることができる塗装方法及び塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置10のエア噴出機構26は、シェーピングエア17を噴出させる第1エア噴出口68a及び第2エア噴出口70aを有する。第1エア噴出口68aから高風速の第1エア17aを噴出させ、第2エア噴出口70aから低風速の第2エア17bを噴出させ、第1エア17a側に第2エア17bを引き寄せることにより第2エア17bの一部を回転霧化頭24の回転軸線a側に変位させるとともに、回転霧化頭24の回転軸線aを中心とする略円形の塗布パターンを形成する。 (もっと読む)


【課題】 従来は、ファンとモータを設けケーシングの前部に送風空間を設けた筒体と、筒体の内方に、衝突板と回転板を設け、回転板に、近接し給水管で構成し、衝突板で生成された水粒子を、筒体の前方に誘導し、送風空間を流れる風で、遠方に拡散する構造である。発明は、衝突板と回転板との間には、間隙を形成する構造でないことから、水粒子を送風空間に導くことに改良の余地がある。
【解決手段】 本発明は、
ファンとファンモータを有したケーシングの前部に、送風空間を形成して支持した筒体と、筒体に、前部開放、かつ後部閉塞した一方開放の空間を形成して多数の細孔を設けた衝突体と、衝突体に送風隙間を形成して支持した回転板と、回転板に近接した給水管となる遠心散水装置で、衝突体で生成した水粒子を、送風隙間の風で、ケーシングの開口に導き、送風空間の風で、ケーシングの開口前方に拡散する。 (もっと読む)


【課題】ミストを生成するための回転基板が小径であり、全体として小型であるにもかかわらず、微細なミストを生成できるミスト発生装置を提供する。
【解決手段】本体ケース1の内部に、モーター3で回転駆動される回転基板4と、ミスト生成用の液体を収容するタンク5と、タンク5に収容した液体を回転基板4に送給する液体送給手段とを配置する。衝突壁37と液体通路57とを交互に配置した環状の衝突壁列56を、回転基板4の回転中心を囲む状態で、径方向へ少なくとも二重に設ける。外側の衝突壁列56の衝突壁37を、内側の衝突壁列56の液体通路57と対向させて、液体を確実に衝突壁37に衝突させて微細化する。液体通路57の通路幅を、回転基板4の外周側へ向かって幅狭に形成している。 (もっと読む)


【課題】環境温度が低温になっても、スピンドルが回転不能に陥るのを防止できる空気静圧軸受スピンドル装置、これを用いた回転霧化装置および塗装装置を提供する。
【解決手段】軸部22およびフランジ部23を有するスピンドル21、軸受本体31、軸部22との間にラジアル隙間43を有するラジアル軸受部材41A,42A、および、フランジ部23との間にスラスト隙間45を有するスラスト軸受部材41B,42Bを備えた空気静圧軸受スピンドル装置20において、環境温度が20℃の状態においてスラスト隙間が40μm以下に形成され、環境温度が0℃の状態においてスラスト隙間が10μm以上確保されるように、軸受本体31およびスラスト軸受部材41B,42Bに用いる材料の線膨張係数が選択されている。 (もっと読む)


【課題】回転霧化式塗装装置において塗料の微粒化能力を向上する。
【解決手段】回転霧化式塗装装置10の回転霧化頭11は、塗料の塗布時にワークに対向する第1塗料案内面40と、第1塗料案内面40と外周縁部48を共有し該第1塗料案内面40の反対側を臨む第2塗料案内面42と、第1塗料案内面40に塗料を供給可能な複数の第1供給孔44と、第2塗料案内面42に塗料を供給可能な複数の第2供給孔46と、を有する。第1塗料案内面40及び第2塗料案内面42の外周縁部48の近傍部には、複数の第1溝62及び第2溝68が周方向に形成されている。 (もっと読む)


【課題】環状ノズルの検査を容易にし、検査にかかる工数及びコストを低減することのできる環状ノズルの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】環状ノズルの検査装置1は、円周上に配された吐出口50を有すると共に、吐出口50に通じる流路51を内部に備えた環状ノズル5の検査を行うものである。環状ノズルの検査装置1は、検査用冶具2と、空気供給装置3と、検査用球体4とを備えている。検査用冶具2は、流路51の流入口52と連通する供給路24を有している。空気供給装置3によって、供給路24及びへ空気を供給することにより、吐出口50から吐出空気を吐出させて検査用球体4に衝突可能に構成されており、吐出空気の吐出状態に応じた浮遊状態で検査用球体4を浮遊させる。 (もっと読む)


【課題】ミストを生成するための回転基板が小径であり、全体として小型であるにもかかわらず、微細なミストを生成できるミスト発生装置を提供する。
【解決手段】本体ケース1の内部に、モーター3で回転駆動される回転基板4と、ミスト生成用の液体を収容するタンク5と、タンク5に収容した液体を回転基板4に送給する液体送給手段とを配置する。衝突壁37と液体通路57とを交互に配置した環状の衝突壁列56を、回転基板4の回転中心を囲む状態で、径方向へ少なくとも二重に設ける。外側の衝突壁列56の衝突壁37を、内側の衝突壁列56の液体通路57と対向させて、液体を確実に衝突壁37に衝突させて微細化する。回転基板4の径方向に係る衝突壁37の厚み寸法Tを、衝突壁37の幅寸法Lよりも小さく設定して、回転基板4の小径化を実現する。 (もっと読む)


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