【課題】吐出ノズルの周辺に浮遊するレジストミストを、該吐出ノズルからのレジストミストの流れに影響を与えることなく、充分に吸収することができるレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】被処理基板３０の上面に、吐出ノズル２０をその中心軸が該被処理基板３０の面に対してほぼ垂直となるように配置させ、該吐出ノズル２０を通して供給されるレジストミストを、該被処理基板３０の表面に対してほぼ垂直方向から噴出させるように構成し、かつ、吐出ノズル２０の周辺に浮遊するレジストミストを吸引するための吸引ノズル２１を、前記吐出ノズル２０の周辺の少なくとも一部に設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】基板の上にラインを形成することと共にこれを固形化させる基板処理装置及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明の基板処理装置１００は、基板Ｓが載置されるステージ１１００と、インクＩを吐出してステージ１１００に載置された基板Ｓに複数のラインを形成する吐出ユニット１２００と、吐出されたインクＩを固形化させる固形化ユニット１４００と、ステージ１１００を移動させるか、又は吐出ユニット１２００と固形化ユニット１４００を移動させる移送ユニット１５００と、を含む。 （もっと読む）

【課題】塗料噴霧部材及び塗料供給手段を容易に洗浄する。
【解決手段】塗装装置１０は、エアモータ１２によって高速回転する中空の回転軸１４と、回転軸１４の先端に設けられた回転霧化頭１６と、回転軸１４の内部に挿通された管部材１８とを有する。管部材１８の小径部２４には、外管形成部材２８が外嵌される。この外管形成部材２８の先端部は、回転霧化頭１６に形成された収容孔４６に挿入される。外管形成部材２８の先端部の外周壁と、収容孔４６の内壁との間は所定間隔で離間しており、従って、環状のクリアランス（塗料流通用間隙５２）が形成される。外管形成部材２８の外周壁に形成された複数個の塗料吐出孔３８の開口（塗料供給口）は、収容孔４６の内壁に対向する。 （もっと読む）

【課題】薄膜形成面の電位を一定にし、かつ薄膜形成後に除電できる被塗布体側の電極構造を提供する。
【解決手段】静電噴霧成膜装置（10）は、噴霧用液体が供給される噴霧ノズル（30）と、噴霧ノズル（30）に対向して配置され、薄膜が形成される被塗布体（20）と、噴霧ノズル（30）の噴霧用液体と被塗布体（20）との間に所定の電圧を印加し、噴霧用液体を帯電した霧化状態で噴霧させて被塗布体（20）の表面に塗布させる電圧印加部とを備えている。被塗布体（20）の裏面には、電圧印加部の電極が接続される導電体（50）が設けられている。導電体（50）は、弾性部材で構成されている。 （もっと読む）

【課題】ピンホールなく、大型の被塗装物であっても塗装可能な新規な静電塗装装置を提供する。
【解決手段】一方方向のガスの流れが形成された筒部と、前記筒部内に塗液を噴出する第一ノズルと、前記筒部内に第二液を噴出する第二ノズルと、からなり、
前記第一、第二ノズルに電圧を印加しつつ前記塗料及び第二液を噴出することで、前記筒部内の塗液及び第二液の混合物を静電霧化した霧状塗料にし、被塗装物に噴霧することを特徴とする塗装装置の構成とした。 （もっと読む）

長い部品のための粉体スプレーブースは、主にドアから成るブースの壁構造体を有する。移動可能な屋根を上昇降下させて当該ブースの内部表面から粉体の過剰噴霧をクリーニング可能である。クリーニングのプロセスは側方への抽出モード及び下方への抽出モードで行うことができる。モードの切換えは移動可能な屋根と共に移動する隔壁が回収システムへの入口導管を遮る場合に生じる。回収システムは、例えばサイクロンシステムであってもよい。ブースのドアは蝶番接続され、これらのドアがスプレー作業及びクリーニング作業のための位置を取ることができるようにする。最新の蝶番設計が行われ、ホースの張力を緩和する設計も行われる。屋根は、当該屋根を降下させながらクリーニング用ノズルに供給する圧搾空気のための蓄圧器を支持していてもよい。さらに、排出空気を、屋根を降下させながら内部表面をクリーニングする補助をするように用いることができる。クリーニング及び色変更のために供給される全エネルギーは蓄圧器により供給することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の放電電極を比較的狭い設置スペースに設置することができ、比較的小型にすることができるとともに、コストを低減することができる静電霧化装置を提供する。
【解決手段】一面に複数の放熱フィン４４ａを有する放熱板４４の他面に、放電により
帯電微粒子水が発生する異極性の複数の放電電極４２，４２を離隔して配し、放熱板４４における放電電極４２，４２の間が、放電電極４２，４２間部分の結露を蒸発させ、絶縁を確保できるようにした。 （もっと読む）