【目的】 インク滴の飛翔方向及びインク滴の吐出タイミングにばらつきが生じないノズルプレートの提供。
【構成】 ノズル孔４の周囲の部分６を除いてノズルプレート１の裏面２全体をレジストテープにより被覆し、ついでこのノズルプレート１を金属イオンと撥水性樹脂の粒子を分散させた電解液に浸漬してメッキ処理をした後、さらにこれを撥水性樹脂の融点以上の温度で加熱処理することにより、ノズルプレート１の表面３とこれに続くノズル孔４の内面５から裏面２にかけての部分全体に、強固な撥水性の共析メッキ層８を形成して、インクの濡れ等によるインク滴の曲りを押えるようにしたもの。 （もっと読む）

【目的】 被処理基板に衝撃を与えたり、気泡を発生させること無く、短時間で迅速に所定の処理液を被処理基板に塗布することができ、少量の液体で効率良く良好な処理を実施することのできる処理液塗布方法を提供する。
【構成】 スピンチャック２上部に設けられた半導体ウエハ１に、近接対向する如く液体供給ノズル３を配置する。液体供給ノズル３は、矩形容器状の液体収容部４と、この液体収容部４の底部に設けられた多数の細孔６とを具備している。そして、現像液供給配管９から所定圧力で液体収容部４内に所定の現像液を供給し、多数の細孔６から滲み出させるようにして現像液を半導体ウエハ１に供給するとともに、スピンチャック２によって半導体ウエハ１を１／２回転回転させ、液体供給ノズル３によって現像液を押し広げるようにして塗布を行う。 （もっと読む）