【課題】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液をノズルから吐出させて電極上に塗布するときに不要な液滴を電極に付着させることなく、かつ所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】所定の極性に帯電されているＰＺＴ前駆体溶液２０３がノズルから吐出された後所定時間が経過した後にミスト回収用電極２０９に電圧を印加する。ミスト回収用電極２０９への電圧印加の開始を吐出から所定時間遅らせることで、主液滴３００は電圧が印加されたミスト回収用電極２０９の電界から静電気力を受ける時間を少なくするとともに、ミスト液滴３０１を第１の電極に到達する前に回収される。第１の電極の所定部分に塗布され、基板１１上の所望のパターンに塗布される。 （もっと読む）

【課題】 例えばフィンガー配線のような塗布パターンを基板の主面に形成する際に、塗布パターンを厚膜（高アスペクト比）に形成することができるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 第１ノズル４１の第１吐出口４７から吐出され、第１ノズル４１の対向面４５と、ステージにほぼ水平に支持されて第１ノズル４１に対して移動する基板９の主面との間に界面張力により存在する、光硬化性を有するペースト７に対して、その側方から光を照射することにより、ペースト７を硬化させる。 （もっと読む）

【課題】ＵＶ硬化型インクジェットプリンターを利用して様々な形状の被印刷物を搭載する治具を極めて容易に提供できる立体形状印刷物用印刷治具を提供する。
【解決手段】印刷治具１は、ＵＶ硬化型のプリンターヘッドと向かい合う面に、堤２により仕切られた複数の窪み３と、窪み３に投入された常温より高く１００℃よりも低い温度に融点を有する飽和脂肪酸、これをエステル化した蝋或いは油脂又は、飽和炭化水素のいずれかからなる形状記憶剤４と、形状記憶剤４を被覆する樹脂シート５とを備えている。印刷治具１を加熱して、形状記憶剤４を軟化させたのち、被印刷物を押し込んで型を作成する。 （もっと読む）

【課題】付随液滴がノズル孔の縁に付着して塗布対象物上の狙いの位置に塗布液が塗布できなくなるのを抑制できる薄膜製造装置、前記薄膜製造装置で製造した電気機械変換薄膜を備えた電機機械薄膜素子、液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔とノズル板電極とを有するノズル板が設けられた液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドと対向する塗布対象物と、塗布対象物を介して液滴吐出ヘッドと対向する対向電極と、対向電極に電圧を印加する対向電極電圧印加手段と、ノズル板電極に電圧を印加するノズル板電極電圧印加手段とを備えた薄膜製造装置において、ノズル孔を基点にして所定方向にノズル板電極が２つ以上並んでおり、各ノズル板電極からの静電気力で付随液滴を前記所定方向に移動させ、ノズル孔側から２番目以降の所定のノズル板電極に付随液滴が静電気力で引き寄せられて回収されるように、各ノズル板電極に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】積層型圧電部材の両端面に電極膜を形成して個別外部電極と共通外部電極とすると、圧電部材の活性部が不活性部で拘束されて変位量が低減する。
【解決手段】圧電部材１２の両端面及び底面には電極層３３が形成され、両端面のうちの各圧電柱１２Ａの個別外部電極２３を形成する端面側の不活性部３１の部分には、圧電柱並び方向に沿ってスリット溝３４が形成され、電極層３３は駆動柱１２Ａに対応する領域を含む個別外部電極２３と、不活性部３２に対応する部分とに分割されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式によるカラーフィルタの製造過程において、ノズルの不吐出による白抜け欠陥の発生を完全になくすことができる、インクジェット塗工装置を提供すること。
【解決手段】基板を保持するステージ２の上に、複数のノズルを有するインクジェットヘッド１４を一つ以上備えたヘッドユニット３と、基板上の各開口部が正常に塗工されているかを確認し、塗工異常部を特定するカメラ５とを配置する。本塗工に付随して塗工検査を行うことで、即座に白抜け欠陥発生を検知することが可能であり、同時に不吐出ノズルの発生も検知できる。 （もっと読む）

【課題】吐出孔１を固形物で塞いでしまうことによる吐出不良の発生を抑えるとともに、個別液室３に気泡を詰まらせることによる吐出不良の発生を抑える。
【解決手段】供給液室１８における個別液室並び方向の全域に渡って延在するフィルター部材１３により、供給液室１８を、第１側壁１８ｄや第２側壁１８ｆの立ち上がり方向に２つに仕切り、この仕切りによって得られた前室１８ａと、前室１８ａよりも液体導入方向下流側に位置する後室１８ｂとのうち、後室１８ｂの個別液室並び方向における一端部に第１連通対面部１８ｃを配設するとともに、後室１８ｂの個別液室並び方向における他端部に第２連通対面部１８ｅを配設した。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、二液を混合して塗布する際に、丸ビート以外のビートに塗布できるようにすることを目的とする。
【解決手段】
主剤送入口と、添加剤送入口を有する外筒の内側へ内筒を回転可能に内装し、該内筒の内側へ小間隙を保って中空ロッドを内装し、該中空ロッドの内側へ小間隙を保ってバルブロッドを内装し、前記主剤送入口と添加剤送入口とを前記内筒と中空ロッドとの小間隙及び中空ロッドとバルブロッドとの小間隙とに夫々連通し、前記内筒端にミキサーを介してノズルを連結したことを特徴とする粘性液塗布装置により上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】
液処理モジュール２に載置されたウエハＷに対して処理液ノズル１１から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハＷの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル１１がノズルバス１５に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ５２によりサックバックを行ってノズル１１の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル１１を液処理モジュール２の上方に移動させた後、ノズル１１を支持するアーム１３に設けられたカメラ１６により、当該ノズル１１の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ５２を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。 （もっと読む）

【課題】移動するノズルから吐出される処理液の流量の変動を抑えられる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置２０は、基板２００を略水平に保持する基板保持部３０と、基板２００に対して略平行な主走査方向に沿って延びる主走査機構ガイド部４２と、主走査機構ガイド部４２により主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダ４４と、を有する主走査機構４０と、スライダ４４により主走査方向に沿って移動可能に支持され、基板２００に塗布液を吐出する吐出部５０と、吐出部５０に接続されるとともに吐出部５０に塗布液を導く可撓性の塗布液配管８０ｂと、塗布液配管８０ｂの途中の部分を支持するとともに、主走査の繰返しによるスライダ４４の周期的な動きに追随してその向きが周期的に変化する可動配管支持部１００と、を備える。 （もっと読む）