【課題】 この発明は、二液を混合して塗布する際に、丸ビート以外のビートに塗布できるようにすることを目的とする。
【解決手段】
主剤送入口と、添加剤送入口を有する外筒の内側へ内筒を回転可能に内装し、該内筒の内側へ小間隙を保って中空ロッドを内装し、該中空ロッドの内側へ小間隙を保ってバルブロッドを内装し、前記主剤送入口と添加剤送入口とを前記内筒と中空ロッドとの小間隙及び中空ロッドとバルブロッドとの小間隙とに夫々連通し、前記内筒端にミキサーを介してノズルを連結したことを特徴とする粘性液塗布装置により上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】
液処理モジュール２に載置されたウエハＷに対して処理液ノズル１１から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハＷの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル１１がノズルバス１５に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ５２によりサックバックを行ってノズル１１の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル１１を液処理モジュール２の上方に移動させた後、ノズル１１を支持するアーム１３に設けられたカメラ１６により、当該ノズル１１の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ５２を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。 （もっと読む）

【課題】移動するノズルから吐出される処理液の流量の変動を抑えられる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置２０は、基板２００を略水平に保持する基板保持部３０と、基板２００に対して略平行な主走査方向に沿って延びる主走査機構ガイド部４２と、主走査機構ガイド部４２により主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダ４４と、を有する主走査機構４０と、スライダ４４により主走査方向に沿って移動可能に支持され、基板２００に塗布液を吐出する吐出部５０と、吐出部５０に接続されるとともに吐出部５０に塗布液を導く可撓性の塗布液配管８０ｂと、塗布液配管８０ｂの途中の部分を支持するとともに、主走査の繰返しによるスライダ４４の周期的な動きに追随してその向きが周期的に変化する可動配管支持部１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】別途駆動源を設ける必要がなく、簡単に圧力室内の液体を攪拌することができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルプレート１７に開設したノズル２９に連通する圧力室２３に液体を充填し、当該圧力室２３内の液体に圧力変動を付与することによりノズル２９から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、圧力室２３は、底面の少なくとも一部に、当該圧力室２３内の液体の圧力変動に基いて変形する変形部３１を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電部材と配線部材の電気的接続信頼性を確保するために生産性が低下する。
【解決手段】ＣＳＰ１６の出力端子１６２と駆動柱１２Ａの個別外部電極２３とははんだバンプ１６４による半田４１Ｂで接合され、ＣＳＰ１６の入力端子１６１とＦＰＣ１５の配線電極とははんだバンプ１６３による半田４１Ａで接合され、ＣＳＰ１６の出力端子と圧電部材１２の個別外部電極２３とを接合する半田４１Ｂの厚みは、ＣＳＰ１６の入力端子とＦＰＣ１５の配線電極１５Aとを接合する半田４１Ａの厚みよりも薄くしている。 （もっと読む）

【課題】 塗布液による閉図形に対して太りや断線を生ずることなく、閉図形を正確に形成することが可能な塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】 ダム剤吐出ノズル１４の高さ位置を通常より低い位置に配置した状態で、ダム剤吐出ノズル１４からダム剤の吐出を開始するとともに、ダム剤吐出ノズル１４の移動を開始する吐出開始工程と、ダム剤吐出ノズル１４から吐出されたダム剤が基板１００の表面に着床した後にダム剤吐出ノズル１４の高さ位置を上昇させる上昇工程と、ダム剤吐出ノズル１４を矩形に対応させて移動させる塗布工程と、ダム剤吐出ノズル１４からのダム剤の吐出を停止するとともに、ダム剤吐出ノズル１４の高さ位置をさらに上方に上昇させる液切り工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】被吐出物を押す圧力の調整及び吐出手段と被吐出物との距離の調整を同時に行うことにより作業の効率性を向上させることのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】
インクジェットプリンタ１０は、インクを吐出し、メディアの上を移動するスライダ１と、メディアを載せるプラテン２と、スライダ１の移動方向をガイドするガイド機構３と、プラテン２の上に載せられるメディアを押さえ付けるクランプ機構４と、ガイド機構３をプラテン２に対して相対的に移動させるアクチュエータと、を備え、ガイド機構３は、スライダ１に接続されており、アクチュエータによる移動により、スライダ１とメディアとの距離を調整するものであり、且つ、クランプ機構４に接続されており、アクチュエータによる移動により、クランプ機構４とメディアとの距離を調整するものである。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッド５２に収容されるペーストＰの材料の凝集に起因した吐出孔５２０４の目詰まりを抑制しつつ、吐出孔５２０４から吐出されるペーストＰの粘性を抑えて、吐出孔５２０４からのペーストＰのスムーズな吐出を可能とする。
【解決手段】シリンジポンプ５２０内部に収容される塗布液Ｐを冷却する水冷管５２１と、水冷管５２１により冷却された塗布液Ｐを吐出孔５２０６から吐出される前に加熱する加熱素子５２２とを備える。したがって、吐出ヘッド５２に収容される塗布液Ｐの材料の凝集に起因した吐出孔５２０６の目詰まりが抑制されるとともに、吐出孔５２０６から吐出される塗布液Ｐの粘性が抑えられて、吐出孔５２０６からの塗布液Ｐのスムーズな吐出が可能となっている。 （もっと読む）

【課題】高い生産性を保ちながら、電鋳膜厚、特に薄肉部の膜厚の均一性に優れた振動板部材を有するとともに、ブリッジ部と被記録媒体やワイパーブレード等の部材との接触を低減可能な液体吐出ヘッド及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 ノズル板２３と、ノズル２４に連通する液室２５を形成する流路部材２２と、液室２５の壁面の一部を形成する振動板部材２１とが積層して接合された液室ユニット２０を有する液体吐出ヘッドにおいて、
振動板部材２１は、２層以上の電鋳層で構成され、液室２５に相対する部位は前記壁面の一部を形成する薄肉部２１ａ及び厚肉部２１ｂ、２１ｃからなり、
外周には切断されたブリッジ部５１が複数形成され、
隣接するブリッジ部間の領域の少なくとも一部に、薄肉部２１ａが形成されている液体吐出ヘッド、及び該液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置である。 （もっと読む）

【課題】弁体の作動圧のばらつきを抑制できる流路部材、これを用いて液体吐出速度や吐出された液滴の重量ばらつきが抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体流路の一部を構成する溝状流路５１の開口をフィルム６０で封止して形成した圧力室５３と、圧力室５３に連通する液体流路を開閉する弁体９０と、圧力室５３の負圧により圧力室５３側に変位したフィルム６０に押圧されるとともに弁体９０を開弁状体となる方向に押圧可能な受圧部材８０とを備え、フィルム６０を、脂肪族炭化水素を含む接着剤７０で溝状流路５１の開口縁部５１ａに接着する。 （もっと読む）