【課題】シリンジのネジ締結部の緩みを排除して、ペーストの漏れを防止することができるペースト塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】シリンジ１６の下端部に設けられたペースト送給口１６ｅがねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材３２を軸線ＡＺ廻りに回転自在に保持し、この回転部材３２の下部に設けられた吐出ネジ部３２ｂが嵌合する吐出空間３１ｂが形成され、吐出ネジ部３２ｂを吐出空間３１ｂ内で軸線ＡＺ廻りに回転させることによりペーストを圧送するためのポンプ機構１８を形成するケーシング部３１と、回転部材３２をケーシング部３１に対して所定方向に相対回転させることによりポンプ機構１８を作動させてペーストを吐出口１７ａから吐出させる吐出用回転駆動機構とを備えた構成において、回転部材３２のペースト吐出時の回転方向をねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定する。 （もっと読む）

【課題】弁体の作動圧のばらつきを抑制できる流路部材、これを用いて液体吐出速度や吐出された液滴の重量ばらつきが抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体流路の一部を構成する溝状流路５１の開口をフィルム６０で封止して形成した圧力室５３と、圧力室５３に連通する液体流路を開閉する弁体９０と、圧力室５３の負圧により圧力室５３側に変位したフィルム６０に押圧されるとともに弁体９０を開弁状体となる方向に押圧可能な受圧部材８０とを備え、フィルム６０を、脂肪族炭化水素を含む接着剤７０で溝状流路５１の開口縁部５１ａに接着する。 （もっと読む）

【課題】スジムラの発生を抑制することが可能なノズルプリンティング装置を提供する。
【解決手段】所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第１のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第２のノズルとから構成され、前記第１のノズルの本数と、第２のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置。 （もっと読む）

【課題】分散系や高粘度などの種々の組成系に対応可能なディスペンス装置に用いる多孔ノズルであって、それぞれのノズルからの吐出を均一にできるノズル構造を提供する。
【解決手段】ディスペンス装置１００に使用される多孔ノズル１２５は、ディスペンス液供給手段１１０が接続される液通過部１２６と、液通過部１２６から拡径する拡径部１２７と、拡径部１２７の末端の吐出面に配置されるノズル部１２８とを備え、ノズル部１２８より上流側の流路内に、ディスペンス液３５のノズル部１２８への分配を均一化するための多孔プレート１２１を備える。 （もっと読む）

【課題】たとえばフラットパネルディスプレイに用いられる基板に発生した欠陥の修正など、塗布針と塗布対象物との間に強い電界を形成することなく、塗布針に供給された液体材料を当該塗布針より離脱させることにより、液体材料を塗布対象物上に塗布することができる、液体塗布装置、当該液体塗布装置を備えるパターン修正装置および微細パターン描画装置、ならびに液体塗布方法を提供する。
【解決手段】液体塗布装置５は、塗布針２０と、塗布針２０による液体材料の塗布に際して塗布針２０を振動させる超音波発生器２０ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】 基板の周辺領域にレジスト等の樹脂膜を効率良く形成することができ、半導体素子製造におけるスループット向上に寄与する。
【解決手段】 素子形成に供される基板１０上の周辺部に樹脂膜を塗布する塗布装置であって、基板１０が載置され、少なくとも１８０度回転可能な回転テーブル３２と、基板１０の中心を通る第１の方向（Ｘ方向）軸で２分割された第１の基板周辺領域及び第２の基板周辺領域の一方に相当する円弧に沿って樹脂を吐出するための複数のノズルを配置してなり、該ノズルが基板１０の周辺領域に対向するように設置される樹脂膜形成ヘッド部５０と、基板１０と樹脂膜形成ヘッド部５０を相対的に、第１の方向とは直交する第２の方向（Ｙ方向）に移動させる移動機構４５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】部品点数を減少させて材料コスト及び組み立てコストを低減することができると共に、液体漏れを抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ヘッド本体３０と流路部材２０との間に設けられて、ヘッド本体３０よりも大きな面積を有する回路基板４０と、ヘッド本体３０に液体噴射面の外側で周方向に亘って当接すると共に、流路部材２０に回路基板４０の外側で周方向に亘って当接して、流路部材２０及びヘッド本体３０との間に回路基板４０を密封する空間を画成する蓋部材５０と、を具備し、蓋部材５０と前記ヘッド本体３０との間を封止する内周シール部材５５が、蓋部材４０及びヘッド本体３０の何れか一方に２色成形によって形成され、蓋部材５０と流路部材２０との間を封止する外周シール部材５２が、蓋部材５０及び流路部材２０の何れか一方に２色成形によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】被加工物の異なる領域にそれぞれ異なる液状樹脂を被覆することができる保護膜形成装置を提供する。
【解決手段】保護膜形成装置であって、被加工物保持手段と、被加工物に第１の液状樹脂を微細粒子として噴射する第１の液状樹脂噴射手段７０ａおよび第２の液状樹脂を微細粒子として噴射する第２の液状樹脂噴射手段７０ｂと、液状樹脂噴射手段７０と被加工物保持手段を相対的に加工送り方向（X軸方向）に移動せしめる加工送り手段と、X軸方向と直交する割り出し送り方向（Y軸方向）に移動せしめる割り出し送り手段と、液状樹脂噴射手段７０と被加工物保持手段との相対位置関係を検出するX軸方向位置検出手段と、Y軸方向に相対移動する液状樹脂噴射手段７０と被加工物保持手段との相対位置関係を検出するY軸方向位置検出手段と、X軸方向位置検出手段およびY軸方向位置検出手段からの検出信号に基いて噴射手段を制御する制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】カバー部材の可撓性を周知の限界以下に低下させ、それにより印刷方向におけるノズル密度を増大しそしてプリントヘッドの印刷速度をも速めることを可能にする液滴射出装置の提供。
【解決手段】各流体チェンバーがチェンバー壁間隔で互いに分離された相対する一対のチェンバー壁によって画成されそしてそれからの液滴射出のためのノズルと流体連絡している複数の流体チェンバーからなる列；および該複数のチェンバー壁の端へ接合しそれにより該チェンバーの１つの側面をシールするカバー部材をもち、該カバー部材の厚さ対該チェンバー壁間隔の比が１以下対１である液滴射出装置。 （もっと読む）

【課題】デバイスの品質の低下を抑制できる液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】基板上の隔壁によって規定される凹部の開口と液滴吐出口とが対向する第１状態で、凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第１動作と、第１動作後、開口と液滴吐出口とが対向しない第２状態に変化させる第２動作と、第２動作後、第１状態に変化させて、液滴が供給された凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第３動作と、を含み、第３動作における液滴供給位置が、第１動作における液滴供給位置より、開口のエッジから離れるように、第３動作における複数の液滴の間隔を第１動作における複数の液滴の間隔よりも狭くするための液滴供給位置の調整を行う。 （もっと読む）