【課題】吸引力発生源において発生する振動が液体吐出に悪影響を及ぼしにくい。
【解決手段】サブキャリッジ１００に保持されたプレコートヘッド１０とインクジェットヘッド１１との間に吸引機構１３０が設けられている。吸引機構１３０は、固定側ダクト１３１、可動側ダクト１３２及び吸引ユニット１３３（吸引力発生源）を有している。固定側ダクト１３１及び可動側ダクト１３２は互いに連結され、吸引ユニット１３３は、固定側ダクト１３１及び可動側ダクト１３２を介してミストを吸引する。固定側ダクト１３１及び吸引ユニット１３３は、メインキャリッジ１２０に保持されており、可動側ダクト１３２はサブキャリッジ１００に保持されている。移動機構は、メインキャリッジ１２０に対してサブキャリッジ１００を移動させる。 （もっと読む）

【課題】液体に含まれる粒子が圧力室内に沈降した場合であっても、この粒子によってノズルが目詰まりすることを防ぎ、また沈降した粒子を攪拌することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル２３に連通する圧力室２０と、該圧力室２０に供給口２２を通じて液体を供給する共通液室２９と、を有し、圧力室２０内の液体に圧力変動を付与することによりノズル２３から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、圧力室２０の底面には、供給口２２側からノズル２３側への流体の流れに対して抵抗となる段差部２５が設けられた。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】 ソルダーレジスト等の液状材料によってノズル詰まり等の不良が発生すると、装置の稼働率が低下する。
【解決手段】 基板に液状材料を吐出させる複数のノズルが設けられたノズルユニットが、基板に対向している。移動機構が、ノズルユニットに対し、基板を面内方向に移動させる。撮像装置が、基板に塗布された液状材料により形成されたパターンを検出する。制御装置が、ノズルユニットに対して基板を移動させながら、基板にノズルユニットから液状材料を吐出させ、基板に付着した液状材料によって検査パターンを形成する。撮像装置で撮像された検査パターンの画像データを取得する。この画像データを解析することによって、ノズルヘッドのノズルの良否を判定する。不良と判定されたノズルからは液状材料を吐出させない制御を行い、良と判定されたノズルから液状材料を吐出させることにより、基板に薄膜パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】被塗装物に気泡が付着することを防止可能なフローコータ装置を提供することである。
【解決手段】フローコータ装置１は、塗料循環回路２０の途中にリターン流路１０を有する。塗料循環回路２０は、塗料タンク２と、ポンプ７と、フィルタ８と、脱泡用タンク３と、ヘッド前貯留部４と、塗装用ヘッド部５と、塗料回収部６と、フィルタ９とが、その順番通りに配管１９で接続されたもの。脱泡用タンク３は、塗料３０に含まれる空気等を振動によって除去するための装置一体型の容器。脱泡用タンク３は、容器部１１と、振動発生装置１２と、オーバーフロー部１３と、気泡排出装置１４を有する。リターン流路１０は、樋状部材１５と消泡装置１６を有し、樋状部材１５にはローラ２２が設置され、ローラ２２と樋状部材１５との間で気泡３２を含む塗料３０を挟み、気泡３２を押し潰す。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】ワイピング部材の浪費を抑制しつつ、ワイピング部材において液体を吸収した部分が液体噴射ヘッドに当接することを回避することができるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッドに付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材３０を巻装した繰り出しローラーと、繰り出しローラーから巻き解かれたワイピング部材３０を巻き取る巻き取りローラー８２と、ワイピング部材３０において繰り出しローラーと巻き取りローラー８２との間の掛装される部分を巻き掛けた状態で、繰り出しローラーから巻き取りローラー８２へのワイピング部材３０の繰り出しに伴って連れ回るように回動する中継ローラー８９と、中継ローラー８９の回動量を検出するロータリーエンコーダー１２９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】液状樹脂の廃棄を少なくして、樹脂膜の形成コストを低減すること。
【解決手段】本発明の樹脂膜形成装置（２）は、ウェーハ（Ｗ）を保持する吸着面（６１）を囲むように環状凸部（６５）が設けられた成膜用テーブル（２２）と、成膜用テーブル（２２）の環状凸部（６５）に当接して、ウェーハ（Ｗ）上方に液密な空間（Ｓ）を形成する塗布部（２３）とを備え、塗布部（２３）には、液密な空間に液状樹脂を供給する供給口（７４）と、ウェーハ（Ｗ）の外周側に対向する位置において液密な空間（Ｓ）内を吸引する吸引溝（７６）とが形成され、成膜用テーブル（２２）と塗布部（２３）とを相対的にスライドさせる構成にした。 （もっと読む）