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国際特許分類[B05D1/02]の内容

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国際特許分類[B05D1/02]に分類される特許

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【課題】効率よく基板上に安定して均一に成膜する。
【解決手段】筐体と、成膜材料の溶液と圧縮ガスとを混合して成膜材料を微粒子化したミストを筐体の内部に噴霧する複数のスプレーノズル12とを備える。また、圧縮ガスを圧力の異なる複数の調圧ガスに調整し、複数のスプレーノズル12の各々に複数の調圧ガスのいずれかを導入し、かつ、複数の調圧ガスのすべてを複数のスプレーノズル12に対して導入するガス圧調整機構を備える。 (もっと読む)


【課題】被処理基板上に形成される薄膜の膜厚を均一にする。
【解決手段】被処理基板10の被成膜面12上に薄膜を成膜する薄膜形成方法は、複数の2流体スプレーノズル22A〜22Eの各々から噴霧される微粒子ガスの被成膜面12の高さ位置Sにおけるガス風速の分布を測定する工程と、隣り合う2流体スプレーノズル22A〜22E同士の間の間隔L1〜L4が所定の値となるように複数の2流体スプレーノズル22A〜22Eを配置する工程と、を備え、間隔L1〜L4は、2流体スプレーノズル22A〜22Eの各々から噴霧される微粒子ガスのそれぞれのガス風速の分布に基づいて薄膜の膜厚が均一となるように所定の値に設定される。 (もっと読む)


【課題】液体と気体とを混合して噴射する二流体ノズルにおいて、ノズルの異常および劣化の程度を適切に判定する。
【解決手段】ノズル検査装置200は、計測部211,212と、判定部232とを備え、液体と気体とを混合して噴射する二流体ノズル110における異常の有無を検査する。計測部211,212は、二流体ノズル110に供給される液体の圧力および流量の少なくとも一方に関する情報を計測する。判定部232は、計測部211,212によって計測された情報について、予め定められた時間において検出された上記情報の平均値からの上記情報の各々の変動量の大きさに基づいて、二流体ノズル110における異常の有無、および劣化の程度を判定する。 (もっと読む)


【課題】塗料詰まりを無くすこと。
【解決手段】塗料タンク2を加圧して塗装ガン4まで塗料を圧送して塗装を行い、塗装を終えると塗料の流路に洗浄液と圧縮気体を交互に流して洗浄することとした。
これにより、塗料の供給配管中にポンプを介在させないので、ポンプの塗料詰まりを防ぐことができる。その上、洗浄液だけの洗浄では沈殿物が配管内に残り、圧縮気体だけの洗浄では配管内の塗料が乾いて残る恐れがあるところ、洗浄液と圧縮気体を交互に流すことにより、配管内の沈殿物や乾いた付着物を十分に洗浄し、詰まりを防ぐことができる。 (もっと読む)


【課題】基板上に成膜される膜の厚さの均一性を向上する。
【解決手段】筐体150と、筐体150の内部に成膜材料160を微粒子化したミストを噴霧する複数の噴霧機構と、複数の噴霧機構の基板200上への成膜量を所定の範囲に収めるように調節する調節手段とを備える。調節手段は、複数の噴霧機構の各々の基板200上への成膜量を調節する、または、基板200上への成膜量に関して複数の群に分けられた複数の噴霧機構においてこの複数の群の各々に含まれる噴霧機構毎に基板200上への成膜量を調節する。 (もっと読む)


【課題】コンパクトなレイアウトでドアミラーハウジングに対して膜厚を均一に塗装する。
【解決手段】10個のドアミラーハウジング10を、治具3の鉛直回転軸6回りに長手方向を略水平に向けた姿勢で上下2段に互いに接近させて環状に、且つ、上段の各ドアミラーハウジング10外面が斜め上方に、下段の各ドアミラーハウジング外面が斜め下方にそれぞれ向くように治具3に取り付ける。治具3により各ドアミラーハウジング10を回転させた状態で、治具3の側方に配置された吐出ノズル2aを各ドアミラーハウジング10の外面に倣って上下に移動させつつ吐出ノズル2aから各ドアミラーハウジング10に向けて塗料を吐出して各ドアミラーハウジング10外面を塗装する。 (もっと読む)


【課題】チタンアルミナイド施工方法及びチタンアルミナイド表面を有する製品を提供する。
【解決手段】チタンアルミナイド施工方法及びチタンアルミナイド表面を有する製品が開示される。本方法は、製品の処理領域にチタンアルミナイドをコールドスプレーし、チタンアルミナイド表面を形成する段階を含む。チタンアルミナイド表面は、微細化γ/α2組織を含み及び/又はチタンアルミナイドは、予め合金化した粉体の固体原料でコールドスプレーされる。 (もっと読む)


【課題】回転する塗料噴霧部材の外周縁部から噴霧される塗料(塗粒)の微細化を図る。
【解決手段】塗装装置10は、エアモータ12によって高速回転する中空の回転軸14と、回転軸14の先端に設けられた回転霧化頭16と、回転軸14の内部に挿通された管部材18とを有する。管部材18の小径部24には、外管形成部材28が外嵌される。この外管形成部材28の先端部は、回転霧化頭16に形成された収容孔46に挿入される。また、外管形成部材28には、その中心から収容孔46の内壁に向かうようにして、複数個の塗料吐出孔38が放射状に形成される。すなわち、塗料吐出孔38の開口は、収容孔46の内壁に対向する。好ましくは、この内壁における塗料吐出孔38の開口に対向する部位に、環状凹部48が形成される。 (もっと読む)


【課題】低コストかつ省スペースにエネルギ線硬化樹脂層を形成し、硬化させることができる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置1は、チャンバ10と、ステージ15と、ガス供給部13と、照射源14とを具備する。ステージ15は、チャンバ10の内部に配置され、基板Wを支持するための支持面151aを有する。ガス供給部13は、チャンバ10の内部に配置され、支持面151aに向けてエネルギ線硬化樹脂を含む原料ガスを供給する。照射源14は、チャンバ10の内部に支持面151aに対向して配置され、エネルギ線硬化樹脂を硬化させるためのエネルギ線を支持面151aに向けて照射する。 (もっと読む)


【課題】凹凸のある面でも斑なく塗装し、塗り際を美しく仕上げる塗装方法と塗装装置を提供すること。
【解決手段】凹凸部の塗装はスプレーガンヘッド11から圧縮空気と液体塗料を混ぜて吹き付け、塗り際の塗装は圧縮空気を止めて前記液体塗料のみを噴射して行うこととした。
これにより、溝や突条などの凹凸がある部分の塗装は、エアスプレーのように、液体塗料を圧縮空気と混ぜて微粒化し霧状態にしてから吹き付けるため、比較的斑なく均一な厚みの塗膜が得られ、その上、塗装境界付近の塗装は、噴射パターンの外郭が明確なエアレススプレーと同様の塗装を行うので塗り際が美しく仕上がる。 (もっと読む)


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