【課題】チクソトロピー性の高い塗液であっても、塗工開始後から所望の目付け量で安定して塗工可能な塗工装置及びその塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗工装置は、塗工開始前に塗工ヘッド（２）から塗液タンク（３）に還流する塗液経路を設け、所望の目付け量が得られる塗工時の塗工ヘッド（２）の内圧以上の圧力で還流可能なポンプ（３）を有する。このような構成により、塗工直前まで塗工ヘッド（２）内の圧力を塗工時と同じもしくはそれ以上に保ち、流動させておくことが可能となる。その結果、塗工開始時の塗液粘度を低減し、かつ流動性を確保することで、塗工開始からの目付け量の変動を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】走行するウェブに塗布液を塗布する際に厚塗り部を吸引ノズルで従来よりも効率的に吸引することができるので、吸引圧力を比較的小さくすることができ、走行するウェブがバタつく等の不具合がない。
【解決手段】走行する帯状のウェブ１８に塗布液を塗布する際に、塗布幅方向両端部に形成され、目標塗布膜厚ｄよりも厚い厚塗り部４３を吸引する吸引ノズル１５を備えた塗布装置１０において、吸引ノズル１５の塗布幅方向における吸引面幅Ｄｏ及び吸引口幅Ｄｉは、厚塗り部４３の塗布幅方向の幅をＷ及び高さをＨ、ウェブ１８と吸引面５４との間のクリアランスＬとしたときに、下記の式１及び式２を満足する。
Ｗ≦Ｄｏ…（式１）、Ｗ＊Ｈ／Ｌ≦Ｄｉ＜Ｄｏ−１ｍｍ…（式２） （もっと読む）

【課題】重防食塗膜などの塗膜の劣化を、より早い段階で検知できるようにする。
【解決手段】ステップＳ１０１で、動的粘弾性測定により測定対象の塗膜の初期における損失正接の温度変化を測定し、測定した損失正接の温度変化の中で塗膜を構成する樹脂のβ緩和によるピークを検出してこのピークの大きさを初期値とする。次に、ステップＳ１０２で、初期値を得た後の動的粘弾性測定により測定対象の塗膜の損失正接の温度変化を測定し、測定した損失正接の温度変化の中で塗膜を構成する樹脂のβ緩和によるピークを検出してこのピークの大きさを判定値とする。次に、ステップＳ１０３で、検出した判定値と初期値とを比較することで、塗膜の劣化状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】重防食塗膜などの塗膜の劣化を、より早い段階で検知できるようにする。
【解決手段】ステップＳ１０１で、動的粘弾性測定により測定対象の塗膜の貯蔵弾性率および損失正接測定する。例えば、対象とする塗膜の一部を切り出し、切り出した試験片を用い、測定における周波数は所定の値とし、また、温度は、室温（２３℃程度）とし、よく知られた動的粘弾性測定装置により動的粘弾性測定を行えばよい。次に、ステップＳ１０２で、測定された貯蔵弾性率および損失正接の少なくとも１つが、設定されている各々の基準値より小さい状態を塗膜が劣化しているものと判断する。 （もっと読む）

【課題】所定量の塗布液をシートに効率良く安定的に塗布し得る塗布方法を提供すること。
【解決手段】塗布装置として、搬送中の帯状のシートＳの一面Ｓａに非接触で塗布液を塗布する塗布手段３と、塗布手段３よりシート搬送方向Ｖの下流側に位置し、外周面５ａをシートＳの一面Ｓａに接触させつつ回転するロール５とを備え、且つ搬送中のシートＳにおける塗布手段３とロール５との間に位置する特定部分Ｓ１、下記状態Ａ〜Ｃの何れか１つの状態となる塗布装置２を用いる。また、ロール５として、外周面５ａが加熱された加熱ロールを用いる。状態Ａ：水平状態。状態Ｂ：特定部分Ｓ１のロール５側が塗布手段３側より下方に位置する垂直状態。状態Ｃ：特定部分Ｓ１のロール５側が塗布手段３側の斜め下方に位置する斜行状態。 （もっと読む）

【課題】
液処理モジュール２に載置されたウエハＷに対して処理液ノズル１１から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハＷの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル１１がノズルバス１５に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ５２によりサックバックを行ってノズル１１の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル１１を液処理モジュール２の上方に移動させた後、ノズル１１を支持するアーム１３に設けられたカメラ１６により、当該ノズル１１の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ５２を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に含まれる溶媒を凝縮して塗布膜を乾燥させる際に、冷却板と塗布膜の膜面との間隔を均一にし、且つ、搬送風の乱れを少なくすることでムラの発生を抑制することのできる乾燥方法、乾燥装置及び凝縮液の回収方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る乾燥方法は、シート状基材４に形成された塗布膜４ａから蒸発した溶媒を冷却板１で凝縮することで塗布膜４ａを乾燥させる方法である。そして、本乾燥方法は、シート状基材４の搬送方向に沿って複数配置され、且つ、塗布膜４ａの膜面と平行になるように配置された冷却板１に塗布膜４ａから蒸発した溶媒を凝縮して凝縮液とし、その凝縮液を冷却板１間の隙間を塞ぐ多孔質体ブロック２に含浸させる工程を含むものである。なお、冷却板１のそれぞれは、塗布膜４ａと冷却板１との間の距離が同じである。また、塗布膜４ａと冷却板１との間の距離は、塗布膜４ａと多孔質体ブロック２との間の距離と同じである。 （もっと読む）

【課題】ノズル近傍に付着した塗布不良を起こしうる異物を検知する着弾状態検査モードを有する塗布装置および着弾状態検査方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数の吐出ノズル１１を有し、各吐出ノズル１１が吐出面１４に配置されている吐出ユニット１３と、液滴を着弾させる検査面３１と、を備え、各吐出ノズル１１から検査面３１へ液滴を吐出し、液滴の着弾状態を検査する着弾状態検査モードを有する塗布装置であって、着弾状態検査モードにおいて、吐出ユニット１３は、検査面３１へ液滴を吐出して着弾パターン２１を形成した後、着弾パターン２１の上を吐出面１４が通過するよう移動し、次に、着弾パターン２１の上を吐出面１４が再度通過するよう先の移動方向と反対の方向に移動し、吐出ユニット１３が両方向に移動した後の着弾パターン２１の各液滴の形状から着弾状態検査が行われることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、そのまま所定時間放置する。次に、プライミングローラ１４の回転を開始して、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取り、その後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４に巻き取られた塗布液膜の自然乾燥を促し、所定時間経過後にプライミングローラ１４の回転を停止させて該塗布液膜を所定の待機用回転角位置に着かせ、該塗布液膜の自然乾燥を継続する。その後、この塗布液膜を洗浄によって除去する。 （もっと読む）

【課題】塗工域の塗工始端部又は塗工終端部に生じる盛り上がり部の盛り上がり高さ寸法を小さくする。
【解決手段】基材走行路Ｒの途中に設けられた間欠塗工装置２で、基材走行路Ｒを走行する基材Ｗの表面に基材走行方向に沿って塗工域Ｃと非塗工域Ｄを交互に形成するときに、塗工域Ｃの塗工始端部Ｃａ又は塗工終端部Ｃｂに形成される盛り上がり部Ｑが生じる場合に、盛り上がり部Ｑが通過する基材走行路Ｒの所定箇所Ｒａに向かってガスをＧを噴出させるガス噴出用スリット１３を備えたガス噴出装置７と、ガス噴出用スリット１３から噴出させるガスＧをガス噴出装置７へ設定時間だけ供給するガス供給装置８を備えたこと。 （もっと読む）