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【課題】 弾性振動板ファンに熱交換機能を付与する。
【解決手段】 電気的に駆動される加振手段２，２、３５，３６、３５，３６と、該加振手段２，２、３５，３６、３５，３６により加振されて往復振動するブレード部３とからなる弾性振動板ファン１において、ブレード部３内に、複数本の冷媒通路３２，３２・・・を設け、冷媒を流すようにする。
このような構成によると、弾性振動板ファン１そのものに送風機能とともに熱交換器としての機能が付加されることになり、空気調和機等に適用した時に、従来のような専用の熱交換器５を不要とするか、または同熱交換器５の容量を小さくすることができ、当該空気調和機等の小型、コンパクト化に有効となる。

【課題】簡単な構成で超音波モータの小型化を図ることのできる超音波振動子及びそれを用いた超音波モータを提供する。
【解決手段】本発明の超音波振動子１は、第１の振動モードと第２の振動モードを同時に励起して超音波楕円振動を発生させるもので、超音波振動子１の超音波楕円振動が発生している振動面に沿った方向に穿設された穴部２Ａを有し、この穴部２Ａ内の前記超音波楕円振動が発生している部位に摩擦接触部６を配設している。

【課題】長方形平板状の１枚の圧電セラミック基板を備える圧電素子を有する圧電デバイスを、例えば冷蔵庫のように広い面積のものに貼り付けて振動を抑制するには多数個の圧電デバイスを任意の位置に貼り付けることとなる。この場合、必要とする印加電圧量もその個数に比例して上昇することになる。
【解決手段】長尺形状の複数本の圧電素子１０を、圧電素子１０の長手方向と直交する方向に隙間を空けた状態でシム板１１上に並行に接合配置する。

本発明は、少なくとも１つの下方電極および上方電極を備えた少なくとも１つの圧電体と、前記下方電極へ接続される少なくとも１つの回路板を備えた結合層とを含む超音波変換器に関する。本発明の課題は、簡単に製造でき、寸法が維持され、小さい許容範囲を有する結合層の品質の改善された超音波変換器を提供することである。この課題は、回路板上で圧電体の下方、すなわち圧電体と下方電極とが接触している部分の下方の一定の導体路高さに導体路構造体が設けられており、回路板と圧電体とのあいだに導体路構造体と並んで存在する中空室が結合剤によって完全に充填されている構成により解決される。

駆動回路は、圧電アクチュエータを有する装置のための駆動信号を生成する。いくつかの例示的な実施例では、駆動回路は、装置のリアルタイム動作中、駆動信号（たとえば駆動信号の波形の形状）を動的に変化させる。同じまたは異なる他の例示的な実施例では、駆動回路は、駆動回路へのアナログ入力信号に従って駆動信号を発生させる。アナログ入力信号は、たとえば、圧電アクチュエータの共振の兆候、温度の兆候、粘度の兆候、および／または駆動信号の所望の電圧および所望の周波数のうちの１つの兆候であり得、もしくはそれらを有し得る。アナログ入力信号は、ユーザ入力装置から取得可能である。同じまたは異なる他の例示的な実施例では、駆動回路は、装置の動作パラメータに依存して駆動信号を発生させる。装置の動作パラメータは、たとえば、圧電アクチュエータの共振または流体の温度などの感知されたパラメータであり得る。同じまたは異なる他の例示的な実施例では、駆動回路は、センサから取得されたセンサ信号に依存して駆動信号の波形が形作られるよう、駆動信号を発生させる。センサは、装置の内部（たとえばポンプ室の内部）、装置の内部またはその近傍の他の場所、もしくは装置によってサービスを提供されるサービス対象装置の内部またはその近傍に位置していてもよい。駆動回路のための動作の方法、および駆動回路を利用し、その方法に従って動作する装置のための動作の方法も開示される。

本発明は、機械振動を生成する及び／又は受ける少なくとも一つの振動部（５）を備えた、媒体の少なくとも一つの物理的又は化学的なプロセス変量を決定及び／又は監視するための装置（１）に関する。本発明によれば、自身の剛度が変えられる少なくとも一つの調整部（２０）を備え、少なくとも前記振動部（５）の共振周波数を該調整部を通じて変えられるように、該調整部が具現化され且つ前記振動部（５）と連結されるか、又は、該調整部が前記振動部の一構成品として構成される。加えて、本発明は、それに対応する方法に関する。

本発明は、携帯電話機やＰＤＡなどのカメラレンズ駆動用として搭載可能な小型圧電／電歪超音波リニアモータに関するものである。圧電基板又は電歪基板を弾性体２０（金属）に付着した単一又は二重（ｕｎｉ又はｂｉｍｏｒｐｈ）形態に移動軸を付着し、移動軸３０に搭載された移動体４０が圧電基板又は、電歪基板の屈曲振動により線形的に移動するもので、製造工程が簡単で基本原理に基づく応用が容易であり、また特性の優れた小型圧電／電歪超音波リニアモータに関するものである。

外形寸法の増加を避けつつ、振動振幅が大きく、共振周波数の調整が可能であり、高信頼性を有する圧電アクチュエータを提供する。
圧電アクチュエータは、電界の状態に応じて少なくとも対向する２つの面が伸縮運動をする圧電体３ａを有する圧電素子１ａと、圧電素子１ａを２つの面の少なくともいずれかで拘束する拘束部材２１ａと、拘束部材２１ａの周囲に設けられた支持部材４ａと、両端の各々を拘束部材２１ａと支持部材４ａとに固定され、拘束される面と略平行な方向に曲げの中立軸を有する複数のはり部材２２ａとを有する。

振動板の剥がれを防止して耐久性及び信頼性を向上したアクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射装置を提供する。
基板の一方面に振動板を形成する工程と、振動板上に下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成する工程とを具備し、振動板を形成する工程が、基板の一方面側にスパッタ法によりジルコニウム層を形成すると共にジルコニウム層が形成された基板を７００℃以上に加熱した熱酸化炉に２００ｍｍ／ｍｉｎ以上の速度で挿入してジルコニウム層を熱酸化することで酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜を形成する絶縁体膜形成工程を少なくとも含むようにする。

本発明は超音波振動子プローブ（４０）に係る。該超音波振動子プローブは、支持基板（５４）、集積回路（４２）、及び圧電素子（５０）のアレイを有する。支持基板（５４）は、非線形面（５５）を有する。集積回路（４２）は、非線形面（５５）にわたって支持基板（５４）に対して物理的に結合し、集積回路（４２）は、非線形面（５５）の形状と略一致する。圧電素子（５０）のアレイは、集積回路（４２）に対して結合する。

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