【課題】洗浄対象物の洗浄作業を容易におこなうことができるノズルを提供することを課題とする。
【解決手段】水の流出口に接続されて、水の流出口からの水が流入する流入部１１と、流入部から流入した水の流れを絞って水の流速を増加させる絞り部１２と、絞り部１２から下流側へ流出する水に気泡が混入するように空気を導入する空気導入部１３と、洗浄液が溜められる容器２内と連通するように構成され、絞り部１２から下流側へ流出する水に容器内２の洗浄液が混入するように洗浄液を導入する洗浄液導入部１４と、を具備し、流入部１１から流入した水に気泡および洗浄液を混入させて洗浄液混入気泡水とし、洗浄液混入気泡水を噴射するように構成されるノズル１とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄装置の熱湯消毒に用いる熱湯供給装置のタンクが少しでも小型化できるように、タンク内の熱湯がタンクの下部に案内された給湯器の湯と混ざりにくくする。
【解決手段】洗浄装置１０の熱湯供給装置４０は、給湯管４２からタンク４１内に供給された湯をヒータ４４により熱湯に加熱した状態で、給湯管４２から供給された湯をガイド４３によりタンク４１下部に案内し、この案内された湯によりタンク４１内の水位を押し上げたときにオーバーフロー管４６から溢出する熱湯を貯水部に送出するものであり、タンク４１下部の熱湯がガイド４３の下端開口４３ｃからタンク４１下部に案内された湯によって撹拌されて上昇するのを抑制する撹拌抑制手段として、タンク４１の一側側に沿って立設させたガイド４３の下部をタンク４１の他側側に曲げ、ガイド４３の下端開口４３ｃをタンクの他側側に向けた。 （もっと読む）

【課題】外径が異なるチューブバンドルであっても、十分に洗浄することができるチューブバンドル洗浄装置を提供する。
【解決手段】チューブバンドルＴの長手方向に延在するようにガイドレール１が配置されている。アーム支持体１０の盤体１１の下面から、チューブバンドルＴの一方の側面側に第１のアーム２０が延設されると共に、チューブバンドルＴの他方の側面側に第２のアーム２０Ａが延設されている。ノズル３５から高圧水を噴射させ、アーム支持体１０をガイドレール１に沿ってチューブバンドルＴの他端側まで移動させる。次に、ベース３０の位置をピッチＰの２倍（２Ｐ）分だけアーム２０，２０Ａに沿って移動させて固定した後、アーム支持体１０を上記と同様に移動させる。これを繰り返すことにより、チューブバンドルＴのすべてのチューブｔの外面が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】 多量の処理液を消費することなく基板の表面全域に有効に処理液を供給することが可能であり、さらに、処理液を回収して再利用することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 各塗布ユニット１ａ、１ｂは、複数の搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００の表面に処理液を供給するための第１処理液吐出ノズル２と、この第１処理液吐出ノズル２との間に処理液の液溜まりを形成するとともに、複数の搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００の裏面に処理液を供給するための第２処理液吐出ノズル４とを備える。搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００に対し、このような構成を有する２個の塗布ユニット１ａ、１ｂの作用により、その表面および裏面への処理液の塗布が、繰り返し実行される。 （もっと読む）

【課題】フィルタの寿命を延ばすことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗに供給される処理液をろ過するフィルタ１６を内部で保持するハウジング１７と、ハウジング１７に保持されている状態のフィルタ１６に液滴を衝突させるスプレーノズル２３とを含む。フィルタ１６に付着している異物は、液滴の衝突によって除去される。 （もっと読む）

【課題】安定して確実に目詰まりを解消できるエアージェッティング装置及び工法を提供する。
【解決手段】高圧水と圧縮空気を用いて井戸のスクリーン81を洗浄するエアージェッティング装置10であって、装置10の中心軸C上に配置された高圧水送管6と、高圧水送管6が上面に接続されかつ高圧水送管6と連通する内部空間31dを具備する高圧水ノズル取付部3と、高圧水ノズル取付部3の側面に取り付けられかつ高圧水ノズル取付部3の内部空間31dと連通する複数の高圧水ノズルと、圧縮空気を供給するために高圧水送管6内及び高圧水ノズル取付部3の内部空間31d内を貫通しかつ装置10の下端まで延在するエアー送管5と、エアー送管5を通して供給された圧縮空気を放出するためにエアー送管5の下端に接続されかつ中心軸Cの周りに均等に配置された複数のエアーノズル12と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄に好適な洗浄ノズル及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】内部が洗浄水の圧送通路２０とされ、圧送通路２０の基端部１０ａ側から圧送する洗浄水にキャビテーション気泡を発生させて先端開口部１０ｂから噴出させる洗浄ノズル８であって、圧送通路内には、軸線方向に直交する方向に隣接配置された第１及び第２の絞り部材２１Ａ、２１Ｂを備え、第１の絞り部材２１Ａは、先端開口部側へ向けて圧送通路の断面積を漸次狭める第１の傾斜面２６Ａを有し、第２の絞り部材２１Ｂは、先端開口部側へ向けて圧送通路の断面積を漸次拡げる第２の傾斜面２６Ｂを有し、第１、第２の絞り部材は、第１、第２の傾斜面２６Ａ、２６Ｂがその中間部で交叉し、圧送通路が前記交叉する部分の上方において連通し、前記中間部の下流側には、洗浄水の圧送方向に突出し先端に向かって漸次縮径した外形を有する突起１００が備えられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】硫酸の温度の変更に容易に対応可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】この基板処理装置は、硫酸と過酸化水素水とを混合して生成したレジスト剥離液を基板Ｗの表面に供給する。この基板処理装置は、レジスト剥離液を基板に向けて吐出するノズル２と、ノズル２に向けて過酸化水素水を流通させる過酸化水素水供給路３０と、過酸化水素水供給路３０上においてノズル２までの流路長が異なる複数の混合位置ＭＰ１，ＭＰ２，ＭＰ３，ＭＰ４にそれぞれ接続された複数の硫酸供給路３１，３２，３３，３４と、硫酸供給源２５からの硫酸を前記複数の硫酸供給路から選択された硫酸供給路に導入する硫酸供給路選択ユニット３５とを含む。 （もっと読む）

【課題】中水をバブル化して表面電位特性及びラジカル密度を高めて洗浄効率が向上する。また、上記中水の流動性や拡散性が高めて被洗浄物の付着した異物を効率的に除去して洗浄効率を向上する。
【解決手段】被洗浄物に散水または噴射される中水をバブル発生装置（９）によりマイクロバブル化またはナノバブル化して洗浄用中水に生成する。 （もっと読む）

【課題】洗浄効率の向上と処理能力の向上を図ることで、装置の小型化を図り、さらに処理量の調整が可能なスクリーンドラムを提供する。
【解決手段】スクリーンドラム１は、洗浄部１０と、この洗浄部１０を駆動する駆動部３０と、洗浄部１０の角度を調整する角度調整機構４０と、を備えており、これら洗浄部１０、駆動部３０及び角度調整機構４０は、架台３の上で組み立てられている。角度調整機構４０は、外側ケース１１の外側部１１ｃに取り付けられ、洗浄部１０を上下移動させる上下移動手段としてのシリンダ４１と、駆動部３０の下部に設けられ、洗浄部１０の上下移動の支点となる軸部を構成するヒンジ４２とを備える。 （もっと読む）