【課題】ジェット洗浄だけを行う洗浄モードと浸漬洗浄とジェット洗浄の双方を行う洗浄モードとを切り換え可能にする。
【解決手段】搬送コンベヤ１８によって被洗浄物Ｆを搬送する搬送経路に浸漬洗浄部８と噴射洗浄部１０が設けられている。浸漬洗浄部８には被洗浄物Ｆを浸漬する浸漬槽２４とサブタンク２６が配置されている。浸漬槽２４内の洗浄液とサブタンク２６内の洗浄液は互いに移送可能になっており、浸漬洗浄を行う洗浄モード時には、サブタンク２６内の洗浄液を浸漬槽２４に移送して、搬送コンベヤ１８上の被洗浄物Ｆが洗浄液中を通過するように浸漬槽２４の水位を高くし、浸漬洗浄をしない洗浄モードでは、浸漬槽２４内の洗浄液をサブタンク２６に移して、浸漬槽２４の水位を低くし、搬送コンベヤ１８により搬送される被洗浄物Ｆが洗浄液中を通らないようにする。 （もっと読む）

【課題】薬液の消費量を抑えながら、基板の処理を均一に行う。
【解決手段】基板１を移動しながら、薬液２が入った薬液タンク２３から、可変出力ポンプ２５及び制御弁８０が設けられた配管２４を介して、薬液ノズル２１へ薬液２を供給し、薬液ノズル２１から基板１へ薬液２を吐出する。薬液ノズル２１から基板１へ吐出した薬液２を回収して薬液タンク２３へ戻し、薬液タンク２３から薬液ノズル２１へ供給する薬液２の濃度を検出し、薬液２の濃度の検出結果に応じ、可変出力ポンプ２５を制御し又は制御弁８０を作動させて、薬液タンク２３から配管２４を介して薬液ノズル２１へ供給する薬液２の量を変更する。 （もっと読む）

【課題】大面積の基板上のＣｕ膜若しくはＣｕ合金膜をウェットエッチングすることによって配線等とする際に、Ｃｕ膜にダメージを与えないように剥離し、なおかつ、Ｃｕ膜の上に堆積させる層との間の接着力を低下させないフォトレジストの剥離液を用いた剥離液リサイクルシステムを提供する。
【解決手段】主剤と極性溶媒と水からなる混合液およびレジスト成分からなる剥離液を繰り返し使用し、剥離液中のレジスト濃度が所定の値に達したら、剥離液の一部を排出管から排出し、新たな剥離液の供給を受けるレジスト剥離装置と、廃液タンクと、廃液タンク中の剥離液を蒸留する蒸留再生装置と、前記分離液中の主剤と極性溶媒の組成比率を調べる成分検査装置と、分離液の主剤と極性溶媒および水の比率が予め決められた比率になるように不足分の主剤と極性溶媒および水を追加して、混合液を調製する調合装置と混合液を貯留する供給タンクを有する。 （もっと読む）

【課題】液処理の工程に応じて基板の上方における気流の状態を最適化可能な液処理装置、および液処理方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｗを液処理する液処理装置１において、基板Ｗを水平に支持し、回転可能な支持部材１０と、支持部材１０の外周部１３との間に環状間隙ＧＰを形成する間隙形成部材２０と、基板Ｗに上方から処理液を供給する液供給部材３０と、環状間隙ＧＰを取り囲み、環状間隙ＧＰを介して、回転する基板Ｗから振り切られる処理液を回収するカップ４０と、間隙形成部材２０を昇降させる昇降機構１２２とを有する。 （もっと読む）

【課題】構成の簡略化を図るとともに、設備費およびランニングコストを低減させること。
【解決手段】配管３３と枝管３４との間に設けられるとともに、シリンダー８３と、シリンダー８３内に収められたピストン８４と、ピストン８４に固定されたロッド８５とを有するアクチュエーター８１と、ロッド８５に連結されたリンク機構８２と、を備え、洗浄水供給時には、洗浄水の及ぼす圧力によりピストン８４およびロッド８５が一方向に移動し、配管３３と枝管３４とが連通するとともに、リンク機構８２により、噴射ノズルが航空機に近づくように枝管３４がスイングし、洗浄水非供給時には、アクチュエーター８１内に設けられた付勢手段９５により、ピストン８４およびロッド８５が他方向に移動し、配管３３と枝管３４との連通が遮断されるとともに、リンク機構８２により、噴射ノズルが航空機から遠ざかるように枝管３４がスイングするように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 マスクブランク用基板の洗浄時に、ガラス基板内部に潜傷が発生することを抑制でき、しかも基板主表面に存在するパーティクルを確実に排除できるマスクブランク用基板等の基板の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 液体中に配置された基板の少なくとも一つの表面に向かって、気泡又は洗浄用粒子を含む加圧した洗浄液体を噴射ノズルから噴射し、前記基板の少なくとも一つの表面を洗浄することを含むことを特徴とする、基板の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】簡素な手法により２つのカップを一体に上昇させることが可能な液処理装置を提供する。
【解決手段】液処理装置１では、被処理基板の回転保持部２１を囲むように設けられた第１、第２のカップ５１、５２は、回転する被処理基板Ｗから飛散した処理液を下方側へ案内し、第１の駆動部６１０及び第２の駆動部６２０は、処理液を受け止める位置と、その下方側の位置との間で第１のカップ５１及び第２のカップ５２昇降させる。制御部７は、第１、第２のカップ５１、５２の同時上昇時、第１のカップ５１の上昇速度を第２のカップ５２の上昇速度よりも大きくし、第１のカップ５１またはその第１の昇降部材は、前記第２のカップ５２またはその第２の昇降部材に下方側から重なり合って、第１の駆動部の駆動力を伝達させることにより、これら第１のカップ５１と第２のカップ５２とを同時に上昇させる （もっと読む）

【課題】 対象物が平坦面だけでなく、湾曲面や狭隘な箇所の場合にも適用可能な防護カバーを提供する。
【解決手段】 高圧洗浄機１５の噴射ノズル１９に取り付けられ、該噴射ノズル１９から噴射されて対象物３１の表面で跳ね返った洗浄液３２や、対象物３１の表面から除去された汚れ等の付着物３３を受け止める防護カバー１であって、前記噴射ノズル１９に取り付けられて、前記噴射ノズル１９の軸線を中心として開閉可能であるとともに、開閉角度の調整が可能であり、かつ開いた状態の内面側で前記対象物３１の表面で跳ね返った洗浄液３２や汚れ等の付着物３３を受け止め可能なカバー本体２と、該カバー本体２を開閉させる開閉手段８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】非常に繊細でかつ高価な医療器具（例えば、眼科用器具）を洗浄するのに好適なスチーム器具洗浄装置を提供する。
【解決手段】耐熱性弾性突起群が表面にブラシ状に分散配置された載置マット板２１、耐熱性弾性突起群が裏面にブラシ状に分散配置された押圧マット板２２、および載置マット板２１の耐熱性弾性突起群と押圧マット板２２の耐熱性弾性突起群との間に医療器具ＭＴを挟持したものを収納するトレイケース２３からなる洗浄トレイ２０と、洗浄トレイ２０を中心支軸２３ａ，２３ｂを中心に回転させる回転駆動部１３と、洗浄トレイ２０に挟持された医療器具ＭＴにスチームを噴射して洗浄するスチーム噴射ノズル３２ａ，３２ｂと、洗浄トレイ２０に挟持された医療器具ＭＴに空気を吹き付けて乾燥するエアーブロー吹出口４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】高圧水の吐出圧の調整可能範囲の下限をより低く設定できるようにする。
【解決手段】この高圧洗浄機１０は、駆動源３２でポンプ４１を駆動し、供給される水をポンプ４１で加圧して高圧水を発生させる洗浄機本体１１と、洗浄機本体１１とホースを介して接続され、洗浄機本体１１から送られてくる高圧水を吐出する吐出装置２１と、駆動源３２の回転数を設定する設定部１５と、設定部１５によって設定された回転数となるように駆動源３２の駆動制御を行う制御部３５，３６と、を備えている。そして、制御部３５，３６は、駆動源３２の回転数を検出する回転数検出部３５と、回転数検出部３５で検出された駆動源３２の回転数を取得するとともに、設定部１５で設定された回転数を駆動源３２が維持するように駆動源３２に対して駆動制御信号を発信する制御回路３６と、を備えている。 （もっと読む）