【課題】洗浄水の使用量を削減及び調整する。
【解決手段】基板洗浄装置Ａは、プリント基板Ｐを収容する洗浄槽１と、圧縮空気を吐出するコンプレッサ１０と、洗浄槽１内に設けら、コンプレッサ１０から吐出された圧縮空気を噴射する予備洗浄ノズル６と、洗浄水を貯留する洗浄水タンクと洗浄槽１内に設けられた噴霧管とを有し、噴霧管の一方の先端が予備洗浄ノズル６の先端に近接するとともに、他方の先端が洗浄水に浸かっている霧発生機構７とを具備し、洗浄水が噴霧管の一方の先端からプリント基板Ｐに噴霧され、予備洗浄ノズル６の先端と、噴霧管の一方の先端との距離及び角度が可変であり、予備洗浄ノズル６から圧縮空気が噴射されると、噴霧管の他方の先端から洗浄水が吸い上げられ、噴霧管の一方の先端から洗浄水がプリント基板Ｐに噴霧される。 （もっと読む）

【課題】洗浄液を少量に抑えながら簡便に基板を洗浄する技術を提供すること。
【解決手段】水平姿勢にて水平に移動している基板Ｇの上面に洗浄ノズル２より洗浄液Ａを供給した後、その基板Ｇを、基板Ｇの移動路における洗浄ノズル２の下流側に設けられた磁場形成部材３、４の間を通過させる。このとき、基板Ｇの表面上に供給された洗浄液Ａは、反磁性であるため、磁場形成部材３、４の間に形成された強力な磁場の作用により通過を阻止される。これにより基板Ｇの表面上の液切りを行って洗浄液Ａを除去するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 基板を均一に処理することが可能な基板処理装置および搬送ローラを提供する。
【解決手段】 搬送ローラ１は、駆動軸３と、複数のローラ部２とから成る。そして、複数のローラ部２は、各々、同一形状を成す３個のローラ部材２ａ、２ｂ、２ｃから構成される。これらのローラ部材２ａ、２ｂ、２ｃには、その表面が駆動軸３を中心とする円上に配置されたガラス基板との当接領域と、その表面が円より駆動軸３の軸心側に配置されたガラス基板との非当接領域とが形成されている。この当接領域は、円の円周全域の１／３をわずかに越えている。 （もっと読む）

【課題】加圧作動水によって洗浄することができる水圧システム。
【解決手段】
加圧作動水を水圧アクチュエータ（３３、４３）に導く作動水供給回路（６０、７０）と、加圧作動水を作動水供給回路（６０、７０）を経由して水圧アクチュエータ（３３、４３）に供給する水圧ユニット（１０）、とを備える水圧システムにおいて、作動水供給回路（６０、７０）から分岐して設けられる開閉弁（３１、４１）と、開閉弁（３１、４１）が開放されたときに、加圧作動水を水圧アクチュエータ（３３、４３）付近に噴射するノズル（３２、４２）と、開閉弁（３１、４１）の開閉を制御する制御装置（１００）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の処理に使用される処理液の消費量を低減すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液を吸収可能で弾性変形可能なスポンジ４１と、スポンジ４１に処理液を供給する貯留槽４０と、基板Ｗを保持する基板搬送ロボット２１とを含む。基板搬送ロボット２１は、スポンジ４１と基板Ｗとを相対移動させてスポンジ４１と基板Ｗの下面とを接触させることにより、スポンジ４１に吸収されている処理液を基板Ｗの下面に供給させる。 （もっと読む）

【課題】除去性能を高めた空調用フィルタの洗浄を効率的に行う。
【解決手段】ローラコンベア９とローラコンベア９で搬送されるフィルタ２に洗浄液を散布する洗浄液散布ノズル５０ａ〜５０ｆと、フィルタ２に高圧ガスを噴射する高圧ガス噴射ノズル６０ａ〜６０ｃと、散布された洗浄液１７ａ〜１７ｃを回収する回収タンク７２ａ〜７２ｃと、洗浄液を洗浄液散布ノズル５０ａ〜５０ｆに循環させる循環系統と、を含む各洗浄ステージ４ａ〜４ｃを含み、精密洗浄ステージ４ｃは、未使用洗浄液噴霧ノズル５０ｇが配置され、精密洗浄ステージ４ｃ、粗洗浄ステージ４ｂは各回収タンク７２ｃ，７２ｂからフィルタ搬送方向上流側の各回収タンク７２ｂ，７２ａに洗浄液を順次移送する移送系統を備え、予備洗浄ステージ４ａは回収タンク７２ａの洗浄液９０ａを外部に排水する排水ポンプ７７ａを備える。 （もっと読む）

【課題】排気に含有の化合物を凝縮させる排気冷却コイルの洗浄を効率よく行う。
【解決手段】排気４０ａが流通する横設ダクト４５には排気冷却コイル４７ｃが配される。排気冷却コイル４７ｃは排気４０ａの流れ方向に並べられる。添加剤洗浄装置４８は、上流側供給機７１と下流側供給機７２と中間供給機７３とを有する。上流側供給機７１は最上流側冷却コイル４７ｃｕの上流側に洗浄液６５を噴射する。下流側供給機７２は最下流側冷却コイル４７ｃｄの下流側に洗浄液６５を噴射する。中間供給機７３は、横設ダクト４５の天井部４５ｕから、排気冷却コイル４７ｃの隙間に向けて洗浄液６５を噴射する。 （もっと読む）

【課題】所望の微細な気泡を液体に内包させることのできる微細気泡発生機構を提供する。
【解決手段】液体Ｌと気体Ｇとを混合する気液混合通路１１と、この気液混合通路１１へ液体Ｌを導入する液体導入通路１３と、気液混合通路１１からの気液混合体Ｍを導出する気液混合体導出通路１５と、気液混合通路１１へ気体Ｇを導入する気体導入通路１７と、気液混合通路１１よりも下流に設けられ、気液混合体Ｍの流量と、気液混合体Ｍ内の気泡の直径とを調整する流量および気泡径調整部材２１とを備え、液体導入通路１３は、気液混合通路１１へ向かうにしたがって断面積が徐々に小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】ワークが搭載されるトレイを安定して、かつ、連続的に移動させ、処理室での処理効率を向上させつつ、処理室での処理をより確実に行うこと。
【解決手段】ワークが搭載される複数のトレイと、前記複数のトレイが係合される第１レール部と、前記複数のトレイのうちの搬送方向上流側端部に位置するトレイを搬送方向下流側に向けて前記第１レール部に沿って移動させる第１移動手段と、前記第１レール部が貫通するように配置され、前記第１移動手段によりその内部に搬入されたトレイに搭載されたワークに対して所定の処理を行う処理室と、を備え、前記トレイが、前記第１レール部と係合し、前記第１レール部に沿う前記トレイの移動が案内される被案内部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で、周囲の空気との干渉による水流の微粒化を抑制でき、高いデスケーリング又は洗浄能力を発現できる噴射ノズル装置を提供する。
【解決手段】フラットパターンの主水流５０を噴射可能な主吐出口１５と、主水流の厚み方向の両側から、それぞれ第１の被覆気流５１及び第２の被覆気流５２を噴射可能であり、主水流を第１及び第２の被覆気流のサンドイッチ状に被覆して噴射するための第１の補助吐出口及び第２の補助吐出口とを備えた噴射ノズルを用いて鋼板表面のスケールを除去する。前記主水流の噴射圧力は、被覆気流の噴射圧力の７０倍以上に調整する。補助吐出口の噴射出口は、主吐出口の噴射出口よりも５〜１００ｍｍ上流側に位置させてもよい。主水流の噴射方向に向かって５〜３５°の角度で被覆気流を噴射してもよい。 （もっと読む）