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国際特許分類[B08B5/00]の内容

処理操作;運輸 (1,245,546) | 清掃 (8,628) | 清掃一般;汚れ防止一般 (8,628) | 空気流またはガス流の使用を含む方法による清掃 (732)

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【課題】処理対象基板とランプとの間に空気が流入することが抑制され、従って、処理対象基板に対して高い効率で光を照射することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】基板搬送路に沿って搬送される処理対象基板の一面に向けて光を照射するエキシマランプが内蔵されたランプハウスと、前記処理対象基板と前記エキシマランプとの間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、前記基板搬送路における前記ランプハウスの上流側に当該ランプハウスに隣接して圧力緩衝空間が形成された光照射装置であって、基板搬送路における圧力緩衝空間の上流側には、処理対象基板における光が照射される一面に沿って流れる空気を排出する空気排出手段が設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】電子製品用の基板に付着した異物を除去する異物除去装置において、エアー射出による異物への除去作用を維持しながらも異物の拡散による再汚染を防止し、充分な異物除去能力を得ることができる。
【解決手段】この発明の異物除去装置においては、異物除去処理を行う際に基板1上部に隙間を空けて対向して配置される異物飛散防止板3と、異物飛散防止板3の外周に設けられる囲い板4と、異物飛散防止板3に開口して設けられるエアー射出部5と、エアー射出部5と囲い板4の間に開口して設けられるメインエアー吸引部6およびサブエアー吸引部7とを備えるものである。 (もっと読む)


【課題】洗浄対象物の表面形状の違いに拘らず、単一の部材で且つ簡単なセッティング操作で洗浄媒体の飛散を防止でき、洗浄装置に対する洗浄対象物の保持操作の容易化を実現できるとともに、洗浄対象物の表面形状の違い毎に用意することの無駄を無くすことができる洗浄媒体飛散防止部材を提供する。
【解決手段】洗浄対象物4は洗浄対象物保持体12の保持ピン32に支持されて洗浄槽6の開口部6aに対向して保持されている。洗浄対象物保持体12の上方から、低反発性ウレタンスポンジを芯材とする洗浄媒体飛散防止部材22Aが挿入され、押圧手段24により押圧される。洗浄媒体飛散防止部材22Aは洗浄対象物4の表面形状に沿って変形し、これにより、洗浄槽6で空気流により飛翔する洗浄媒体5が飛散してその数量が少なくなることが防止される。 (もっと読む)


【課題】清掃対象表面に付着した汚染物質を効率的に清掃して分離回収する。
【解決手段】清掃対象A表面に対向して周縁部が接触配置される清掃ヘッド1と、清掃流体Fが清掃ベッド1の内部空間1cを介して循環する流体循環配管2と、清掃流体Fが補充可能に貯留される貯留タンク3と、貯留タンク3に貯留される清掃流体Fを流体循環配管2に循環させる循環駆動源4と、清掃流体Fに対し汚染物質Cがイオン結合する塵物質Wから分離可能となる特性の分離因子を供給する分離因子供給手段5と、流体循環配管2を循環する清掃流体Fを加圧した状態で清掃ヘッド1の流体吐出口1aから清掃ヘッド1の内部空間1cに吐出させる加圧吐出手段6と、流体循環配管2のうち清掃ヘッド1の流体回収口1bから貯留タンク3に至る途中に設けられ、循環する清掃流体F中に含まれる塵物質Wと汚染物質Cとを分離した状態で回収する回収手段7と、を備える。 (もっと読む)


【課題】システム全体の構造の簡略化、小型化を図り、ワーク表裏面の水分を確実に除去して歩留まりや生産性の向上を可能にする。
【解決手段】高圧エアを噴射ノズルからワークWの一面方向に噴射させる噴射ユニット202A,202B、及び、ワークWの一面に到達した高圧エアを吸引ノズルから吸引する吸引ユニット203A,203Bを有する水切りヘッド200A,200Bと、高圧エアを噴射ユニットに供給する供給側エア流路103,106A,106Bと、吸引した高圧エアを回収する回収側エア流路107A,107B,108と、ワークWを搬送する手段と、を備え、ワークWが水切りヘッド200A,200Bの近傍を順次通過するように搬送することにより、高圧エアによってワークWの表裏面から引き剥がされた水分を高圧エアと共に、前記吸引ノズル及び回収側エア流路を介して回収する。 (もっと読む)


【課題】固体表面に堆積したパーティクルを効率的に捕集し得るパーティクル捕集装置及び方法の提供。
【解決手段】略筒形状の筐体12の内部空間に、略円柱形状の超音波発生器14をOリング80を介在して収容し、筐体12は一端部を有し、当該一端部において開口12bされた空間Sを画成し、超音波発生器14は該筐体12の一端部に画成された開口12bに向けて超音波を発生し、該空間Sにガスを供給するガス供給部、該空間Sの排気を行う吸引部を備えると共に、前記開口12bを囲むように筐体12の一端部に弾性を有するシール部材20を設ける。 (もっと読む)


【課題】簡単かつ安価な構成で、ノズルを揺動できて、ワーク全体に対して、圧力流体を均一に噴出させることができるようにする。
【解決手段】ワークが搬送される搬送コンベア2と、該搬送コンベア2によって搬送されるワークに付着した塵埃を除去するための作業処理空間Sが内部に設けられた本体3と、本体3内に配置される、ワークに対して加圧された圧力流体を噴出する噴出口60を有するノズル6と、該ノズル6に圧力流体を供給する圧力流体供給手段9と、本体3に接続されて、ノズル6から噴出される圧力流体によって除去される塵埃を吸引する集塵機11とを備えた塵埃除去装置において、前記ノズル6を、弾性素材により湾曲して作製し、一端部を固定端6aとするとともに、他端部を自由端6bとし、該他端部6bに前記噴出口60を形成する。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、互いの中へ係合している延伸ロールの表面の、汚染物を除去するための方法および装置に関する。これら延伸ロールの表面は、これら延伸ロール7の間のロール間隙を案内される、弾性的なラミネート5の延伸のために、立ち上がり部13および窪み部14を有している。このラミネート5は、このロール間隙内において、帯状体方向に対して横方向に延伸される。本発明の課題は、互いの中へ係合している延伸ロールの表面の、洗浄のための方法および装置を提供することであり、この場合、製造設備が停止される必要がなく、且つ、汚染物が、高い信頼性で、作動中の延伸プロセスの間じゅう、除去される。
【解決手段】 延伸ロールを清掃するために、作動中の延伸プロセスの間じゅう、ドライアイス微粒子9が、少なくとも1つの延伸ロール7の表面の上に吹き付けられる。余剰のドライアイス、およびロール表面から剥離された汚染物は吸引される。 (もっと読む)


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