【課題】精密工作機械の切削加工による加工部品に付着した切り粉及び切削油を水中洗浄ならびに空中洗浄で除去する切削加工部品洗浄装置を提供する。
【解決手段】精密工作機械の切削加工により加工部品に付着した切り粉及び切削油を水中洗浄ならびに空中洗浄で除去する切削加工部品洗浄装置１０であって、前記被洗浄物にエアーブローを施す空圧除去領域部３０と、前記被洗浄物を水中で洗浄する水中洗浄領域部と、前記空圧除去領域部と前記水中洗浄領域部４０の間を上下に移動する昇降領域部５０と、該昇降領域部及び前記空圧除去領域部３０を制御する制御領域部７０とを、其々本体領域部に配設した構成から成る手段を採る。 （もっと読む）

【課題】チップ部品に付着した異物を確実に、しかも効率よく除去することが可能なチップ部品浄化装置を提供する。
【解決手段】筒状で、チップ部品の供給部２と、排出部３を備え、外周壁４の少なくとも一部が、気体を通過させる通気性部材から構成され、傾斜した姿勢で、軸心回りに回転する浄化装置本体１０と、浄化装置本体の近傍に配設され、気体を浄化装置本体の外周壁を経て浄化装置本体の内部の、異物が付着したチップ部品１に吹き付ける気体吹き付けノズル５とを具備した構成とし、傾斜した姿勢で浄化装置本体を回転させ、供給部から供給されたチップ部品を転動させながら排出部に向かって浄化装置本体の内部を通過させるとともに、転動しながら浄化装置本体を通過するチップ部品に、気体吹き付けノズルから気体を吹き付けることにより、チップ部品に付着した異物を除去する。 （もっと読む）

【課題】部品の母材を傷付けることなくパリレン膜を効率よく除去することができる除膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置を用いて成膜対象物に対しパリレン膜を成膜したとき、この成膜装置の構成部品Ｂに付着したパリレン膜Ｐを除去する除膜方法において、パリレン膜Ｐが付着した構成部品Ｂたる防着板の表面にペレット状のドライアイスを吹き付けて衝突させるブラスト工程を含む。このブラスト工程に先立ち、防着板を加熱する加熱工程を更に含ませてもよい。 （もっと読む）

【課題】基板がエアー洗浄部に接触することにより損傷を受けることを防止可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】上側エアー洗浄部５は、搬送路の途中に設けられた洗浄領域４の上方に配置され、基板２の上面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。下側エアー洗浄部は、搬送路の下方において上側エアー洗浄部５と対向する位置に配置され、基板２の下面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。上側エアー洗浄部５および下側エアー洗浄部は、端辺３が伸びる方向に対して基板２上において交差するようにカーテン状にエアーを噴き付ける。洗浄領域４には基板案内部１３が配置され、下側エアー洗浄部によるエアーの吸入によって基板２が下側エアー洗浄部に接触することを、基板案内部１３が基板２の下面を支持することによって防止する。 （もっと読む）

【課題】効率良く、ＵＶ樹脂をはがし取ることが可能なドライアイスペレットを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】固定治具に固定される洗浄対象物に対して、ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを吹き付け、前記対象物の表面を洗浄する。前記ドライエアーは、露点が、−６０°ないし−８０°である。前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記対象物の表面に噴射するノズルを有し、前記ノズルと前記対象物の表面との間の間隔は、５ｍｍないし７０ｍｍである。前記ノズルの断面形状は、円形形状、あるいは、楕円形状、あるいは長方形である。前記ドライアイスペレットは、直径が１ｍｍないし３ｍｍで、長さが１ｍｍないし５ｍｍ、より好ましくは、長さが１ｍｍないし５ｍｍである。前記対象物は、製品分解後の液晶表示パネルの上偏光板、タッチパネル、あるいは、フロントウィンドウのいずれかである。 （もっと読む）

【課題】排気効率およびスペース効率を改善し、液切り乾燥直後の乾いた基板にミストが付着するのを十全に防止する。
【解決手段】上部および下部エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌがそれらの間を通過する基板Ｇに対してナイフ状の鋭利な高圧エア流を吹き付けることにより、両エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌの上流側の空間に多量のミストが発生する。基板Ｇの上で発生したミストの大部分は、下流側のＦＦＵ１３６から隙間Ｋを通って廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に上部排気口１２４に吸い込まれる。基板Ｇの下で発生したミストは、その全部がＦＦＵ１３６から廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に下部排気口１２６，１２８に吸い込まれる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で測定値に影響を与えることなく、洗浄時に砂や結晶等の固形物がセンサに衝突するのを防いで、その破損を防止することができる水質検出器の洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄部１４の内部に配置された第１のエア流路１５と、第１のエア流路１５に連通する第２のエア流路１６と、第１のエア流路１５と第２のエア流路１６の連接部位近傍に連通する第３のエア流路１７と、第２のエア流路１６に連通してセンサ１３の方向に開口された洗浄エア噴出口１８と、第３のエア流路１７に連通する異物排出口１９とを具備する洗浄装置とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で測定値に影響を与えることなく、洗浄時に砂や結晶等の固形物がセンサに衝突するのを防いで、その破損を防止することができる水質検出器の洗浄装置を提供する。
【解決手段】センサホルダ１１の下端部に連結された保護筒１２と、保護筒１２に固着されている洗浄部１４と、洗浄部１４の内部に配置されたエア流路１５と、エア流路１５と連通して保護筒１２の内周面に配置された洗浄エア噴出口１６とを具備する洗浄装置とする。 （もっと読む）

【課題】主柱（管体）内の下方深くに溜まった異物を吸引することを可能にする異物回収装置を提供することにある。
【解決手段】吸引部６１と、吸引部６１で吸引した異物を収容する収容部６２とを有する吸引捕集部６を備え、吸引部６１は、主柱ａの上方開口端から主柱ａ内に挿入されるホースによって供給される大気圧より高い正圧の空気を所定の方向に噴出させることでその噴流の上流側に負圧を生じさせるジェットポンプ部６１ａを有し、ジェットポンプ部６１ａの上流側Ａに記負圧を利用して異物を吸引する吸引ノズル６１ｂを有しており、収容部６２は、ジェットポンプ部６１ａの下流側Ｂに噴出する噴流を受け入れて異物を回収するフィルタを兼ねた回収袋６２ａを有している。 （もっと読む）

【課題】洗浄起因の不良を抑制した電子写真用ローラの製造方法、および、円筒体表面の液体を効率的に除去することのできる乾燥方法を提供する。
【解決手段】芯金と、芯金の両端部の周面以外の周面を被覆する１層以上の弾性層とを有する電子写真用ローラの製造方法であって、（１）芯金の周面に形成した弾性層の周面を液体で洗浄する工程と、（２）弾性層の周面を乾燥させる工程と、を有し、工程（２）が、弾性層の周囲に気体の渦流を生じさせることにより、弾性層の周面に付着した液体を除去する工程を含む。液体で洗浄された円筒体の周囲に、円筒体と同心に気体の渦流を生じさせて、該円筒体の周面に付着した液体を除去する工程を有する円筒体の乾燥方法。 （もっと読む）