【課題】フィルム上に付着している異物を効率よく除去することができる方法を提供することである。
【解決手段】非接触型異物除去装置１５と、接触型異物除去装置１６とを含む異物除去領域１０，１１に、フィルム１を非接触型異物除去装置１５および接触型異物除去装置１６の順に通過させ、フィルム１上に付着している異物を除去する方法である。異物除去領域１０，１１は、非接触型異物除去装置１５よりもフィルム１の搬送方向上流側に位置している除電装置１７ａ，１７ｂを、さらに含む。 （もっと読む）

【課題】洗浄後の欠陥の発生が極めて少ないフォトマスク関連基板を得られる洗浄方法及び洗浄装置提供することを目的とする。
【解決手段】フォトマスク関連基板の洗浄方法において、少なくとも、前記フォトマスク関連基板の表面の異物をあらかじめ除去する前処理工程と、該前処理工程の後に前記フォトマスク関連基板にＵＶ光を照射するＵＶ照射工程と、該ＵＶ照射工程の後に前記フォトマスク関連基板を湿式で洗浄する湿式洗浄工程とを行うことを特徴とするフォトマスク関連基板の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】製作コストが比較的に安く済み、コンパクト化も容易な除塵装置を提供する。
【解決手段】回転操作される帯電ローラ１２と、除塵の対象物Ｐと帯電ローラ１２とを、同帯電ローラ１２が対象物Ｐと対向した状態で相対移動させる搬送機構３とを備え、帯電ローラ１２が、同帯電ローラ１２と帯電傾向の異なる補助部材１４との摩擦によって帯電されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電気を応用して生活範囲のゴミや埃を、安全かつ容易に捕集するのを課題とする。
【解決手段】本体（１）には、握り手（９）と側板（２）を固着させ、本体（１）が保持するスライド具（１−１）には、ヘラ（１−２）貼着材（１−３）を、」スライド具（１−１）を引き出す凸具（１−４）備え、側板（２）にて軸（５）も保持し、掻き板（８）具備して構成し、円筒具（３）は帯電性の部材とし外輪（４）は絶縁性の部材で、軸（５）に有す、内筒（６）には緩衝具（７）を備え、緩衝具（７）に摩擦具（７−１）を保持させ、円筒具（３）の回転作用で、内筒（６）が有する摩擦具（７−１）が、円筒具（３）表面に静電気を帯電し、床面のゴミや埃を吸着し本体（１）のスライド具の貼着材（１−３）に集積させ、処分する。 （もっと読む）

【課題】被処理物から除去した塵埃を粘着捕集できるようにした除電除塵装置を提供すること。
【解決手段】内部に被処理物（ｗ）の作業処理空間（１）が形成されたボックス（２）と、このボックス（２）の作業処理空間（１）内に入れられた被処理物（ｗ）に付着の塵埃を除電、除去するイオン化エアを噴出するイオナイザー（６）と、除去された塵埃を捕集するために作業処理空間（１）内に配置された集塵粘着板（７Ａ，７Ｂ）とを備えており、この集塵粘着板（７Ａ，７Ｂ）には、粘着表面から背面へイオン化エアを流通させる貫通孔（７ａ）を多数形成している。 （もっと読む）

【課題】減圧処理室内の部材表面から微粒子を飛散させて部材の清浄化を行う。
【解決手段】減圧処理内の部材に付着した微粒子を飛散させて部材を清浄化するために、（１）微粒子を帯電させてクーロン力を利用して飛散させる手段、（２）減圧処理室にガスを導入し、微粒子の付着した部材にガス衝撃波を到達させ、微粒子を飛散させる手段、（３）部材の温度を上昇させ、熱応力及び熱泳動力により微粒子を飛散させる手段、又は（４）部材に機械的振動を与えて微粒子を飛散させる手段を用いる。さらに、飛散させた微粒子を比較的高圧雰囲気でガス流に乗せて除去する。 （もっと読む）

【課題】配線基板の表面に付着した異物を配線基板に再付着させることなく、良好に除去することが可能な配線基板の異物除去装置および異物除去方法を提供すること。
【解決手段】
第１の電圧に帯電された帯電ブラシ３のブラシ面を配線基板１の表面に摺動させることにより、配線基板１の表面の異物８を帯電ブラシ３に付着させて除去するようになした。配線基板１の表面に強固に付着した異物８や配線基板１の表面に形成された微小な凹部内に入り込んだ異物８も帯電ブラシ３により掻き出されるとともにクーロン力により帯電ブラシ３に吸着されるので、異物８が飛散したり配線基板１に再付着したりすることがなく、配線基板１の異物８の除去を良好に行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は高精彩に成膜できるまたは生産性あるいは稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置または有機ＥＬデバイス製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、真空蒸着チャンバの壁に設けられた真空隔離手段から前記マスクを搬出し、前記真空隔離手段を共有するマスク洗浄チャンバで前記基板に付着した前記蒸着材料の堆積物にレーザ光を照射し前記マスクをドライ洗浄し、洗浄後前記マスクを真空隔離手段を介して前記真空蒸着チャンバに戻し、前記蒸着を行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】人体に付着した花粉をより確実に除去することを可能にする花粉除去方法を提供する。
【解決手段】人体に付着した花粉３を除去する方法であって、接地した導電体を備える静電気除去装置に人Ｍが触れることによって人体に帯電した静電気を導電体を介して除電する。これとともに、送風装置２の吹出口２ａから人体に風４を吹き付けることによって人体に付着した花粉３を吹き飛ばして除去するようにした。 （もっと読む）