【課題】 金属箔同士をより確実にかつ容易に溶接することができるビーム溶接方法、真空包装方法、及びその真空包装方法により製造した真空断熱材及びそれを用いた加熱調理器を得る。
【解決手段】 第１の金属箔と、第１の金属箔上に重ねた第２の金属箔とを、支持台の互いに隣り合う主載せ面及び従載せ面のそれぞれに載せる金属箔積層工程と、従載せ面に載せられた第１及び第２の金属箔の部分を解放した状態で、主載せ面に載せられた第１及び第２の金属箔の部分同士を溶接想定線に沿って密着させる密着工程と、密着工程後、所定の真空環境下で、電子ビームの集中照射によって第１及び第２の金属箔を加熱することにより、主載せ面に載せられた第１及び第２の金属箔の部分同士を溶接想定線に沿って溶接しながら、従載せ面に載せられた第１及び第２の金属箔の部分を切り離す溶接溶断工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】チャンバ構成部品のような加工片の表面にテクスチャを設ける方法及びシステムを提供する。
【解決手段】本方法は、加工片をテクスチャ化チャンバへ供給するステップと、加工片の表面を横切って電磁エネルギのビームを走査させて該表面上に複数のフィーチャを形成させるステップとを含む。形成されたフィーチャは、一般的には凹み、突起、及びそれらの組合わせである。プロセスチャンバ内の汚染を減少させる方法も提供される。この方法は、１またはそれ以上のプロセスチャンバ構成部品の表面を横切って電磁エネルギのビームを走査させて該表面上に複数のフィーチャを形成させるステップと、１またはそれ以上のチャンバ構成部品をプロセスチャンバ内に位置決めするステップと、プロセスチャンバ内においてプロセスシーケンスを開始するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】超極厚（例えば、厚さ５０ｍｍ超）の鋼板又は鋼管を、高エネルギー密度ビーム溶接で溶接する際、（ｉ）溶接部に引張応力が残留しない施工条件を見いだし、（ii）ギガサイクル域の振動環境に、長期間耐える疲労特性有し、かつ、十分な破壊靱性を有する高エネルギー密度ビーム溶接継手を提供する。
【解決手段】一方の管継手部材に、他方の管継手部材を嵌合し、嵌合域に高エネルギー密度ビームを照射して溶接した溶接継手であって、上記嵌合域に、管継手部材の水平断面に対し傾斜し、かつ、管継手部材を周回する溶接部が形成されていることを特徴とする耐疲労特性に優れた高エネルギー密度ビーム溶接継手。 （もっと読む）

【課題】溶接時に発生する金属蒸気を積極的に回収し、あるいは、真空室の壁面に付着した金属蒸気等の舞い上がりを抑制し、金属蒸気等が被溶接物に再付着するのを抑制できる電子ビーム溶接装置を提供する。
【解決手段】超伝導加速空洞３を収容する真空室１３と、真空室１３に収容された超伝導加速空洞３に電子ビームを照射する電子銃１７と、真空室１３の真空引きを行う真空装置１９と、が備えられた電子ビーム溶接装置１であって、負に帯電されえる金属蒸気回収部材３７が電子銃１７と超伝導加速空洞３との間に設置され、それぞれ正または負に帯電され、間隔を空けて配置される複数の帯電板４７によって構成される舞上り抑制部材４５が、真空室１３の床４３に設置されている。 （もっと読む）

【課題】シーム溶接等の作業を高真空環境にて処理するための高真空環境維持方法が構築されておらず 近年の新たなる各種部品製造方法 断熱機能として高真空環境における処理方法の必要性を生じている。
今後に於いて、 空気中環境では、発火現象を来す場合 高真空の環境に設定後 発火防止するガスを導入して発火現象を起こさない部品生産へも有効でないかと考えられる。
【解決の手段】高真空室１と大気側２の隔壁構造において 高真空と大気側の中間に低真空室５エリアを設け 各シール部の真空差を小さくして 真空差を段階的調整可能とする隔壁構造とした。 （もっと読む）

本発明は、真空下でワークピースを加工するための加工装置１００に関するものであり、内部空間を有するハウジング１と、ハウジング蓋２と、ハウジング１に対し回転可能にしたハウジング底部６と、ハウジング底部６に連結し、かつハウジング１の内部空間に配置したロータ装置８であって、このロータ装置８内にワークピースを収容するための複数個のチャンバ８１を設けた、該ロータ装置８とを備え、ハウジング１および／またはハウジング蓋２に複数個の作業開口４,１２,１３を形成し、ロータ装置８における複数個のチャンバ８のそれぞれには、少なくとも１つのロータ開口２１を設け、これにより、ロータ装置８の回転に基づき円形経路８２を規定し、この円形経路８２に沿ってロータ開口２１が変位する構成とし、作業開口４,１２,１３を円形経路８２に沿って配置する際、それぞれのロータ開口２１を、円形経路８２に沿う変位時に作業開口４,１２,１３と合致できるよう構成し、ロータ装置８とハウジング１および／またはハウジング蓋２との間における、それぞれのロータ開口２１周りにロータ開口シール部材１４を設け、また、少なくとも２種類のロータシール部材を、ロータ装置８とハウジング蓋２および／またはハウジング１との間において、ロータ開口シール部材１４と接触する状態で設け、円形経路８２に沿う環状空間８３,８３ａ,８３ｂ,８３ｃを、前記作業開口４，１２，１３および前記ロータ開口２１の位置で区切り、前記環状空間８３，８３ａ，８３ｂ，８３ｃを画定し、そして部分毎にシールする構成とする。
（もっと読む）

【課題】電子ビーム発生器を移動させるためのコンパクトな構成を有するチャンバー設備を提供する。
【解決手段】チャンバー設備は、チャンバー内空間１４を画定するとともに第１開口部４６を有するチャンバーハウジング１２と、第１開口部４６の範囲内を移動可能な台車５２と、電子ビーム軸４５に沿って電子ビームを発生させる電子ビーム発生器４２と、ディスク７０とを備える。電子ビーム発生器４２が台車５２に設けられており、台車５２が第１開口部４６の範囲内を移動したときに、電子ビームが第１開口部４６を通過する。ディスク７０は、チャンバーハウジング１２と台車５２の間に設けられており、第１開口部４６に対して垂直な回転軸７２回りに、少なくとも第１位置（Ａ）と第２位置（Ｂ）の間を回転可能である。ディスク７０は回転軸７２から離れているとともに半径方向に沿って伸びている第２開口部７４を備えている。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム加工、レーザ加工、電解加工等の精密で複雑な加工を、真空雰囲気、腐食雰囲気、ガス雰囲気等の、外部から遮断された特殊環境下で行えるようにするための作業機構は、特殊な材質や構造を採用しなければならないため、非常に高価となって実用に適さない。
【解決手段】そこで本発明では、駆動源３を設けた本体４と、本体に対して進退可能な作動軸５とを有する複数のリニアアクチュエータ２の前記作動軸により作業台９を密閉室１内において運動可能に支持する構成とし、前記本体を密閉室外に配置し、前記作動軸はシール手段８を介して進退可能に密閉室の壁６を貫通させた密閉室内作業機構により、上述した課題を解決している。 （もっと読む）

【解決手段】 イオン注入によって活性化された２つの基板を接合するウェハ接合方法を開示する。インサイチュイオン接合チャンバによって、イオン活性化および接合を、製造処理ラインで利用されている既存の処理ツールで、実行することができるようになっている。基板のうち少なくとも一方の基板のイオン活性化を低い注入エネルギーで行って、薄い表面層よりも下方のウェハ材料がイオン活性化によって影響をうけないようにする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、加工対象物を広範囲で加工することが可能なビーム加工装置を提供すること。
【解決手段】ビーム加工装置は、ビームが通過する第１空間１６および第１空間１６の周囲に壁部１４ａを介して配置される第２空間１７が形成される局所真空チャンバー９と、第１空間１６、第２空間１７を真空状態とするための吸気手段とを備えている。ワークに対向する対向部１５は、ワークに向けてビームを出射するための出射孔２２ａを有する第１対向部１８と、出射孔２２ａの外周側に配置される開口部３２を有する第２対向部１９と、第２対向部１９の変形を防止するための変形防止部２０、１９ｄとを備えている。第１対向部１８と第２対向部１９との間には、開口部３２を介して局所真空チャンバー９の外部に連通しかつ第２空間１７の一部となる対向部間空間１７ａが形成されている。 （もっと読む）