【課題】長期の使用期間にわたって接合部の破損に対する信頼性の高いライニング構造を有した高耐食プラント機器を提供する。
【解決手段】高耐食材料のライニング板と支持部、鉄鋼材料等の構造材料部からなり、ライニング板と支持部は摩擦攪拌された接合部をもち、支持部は間隙をもって構造材料部に対して幾何学的構造により組み込まれている、もしくは締結されていることによって信頼性の高いライニングを有する高耐食プラント機器を得る。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、低背化あるいは小型化することができる接合装置を提供する。
【解決手段】加圧機構１３と、加圧機構１３から加圧力が付与され加圧力の作用方向に複数配置される熱盤部２０と、加圧力の作用方向に隣接する熱盤部２０同士が相互に積み重なることにより当該熱盤部２０間に形成された真空チャンバＣと、を有し、真空チャンバＣ内で貼り合せ用基材Ｔ同士を熱盤部２０により熱圧着させて接合する接合装置１０であって、加圧機構１３は、加圧方向と平行に配置された２本の駆動軸１４と、駆動軸１４を介して熱盤部２０に加圧力を付与する駆動源１６と、を有し、貼り合せ用基材Ｔの接合中心部Ｚが２本の駆動軸１４を結んだ線Ｍ上に位置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、真空圧制御の精度を高めることができる真空チャンバの真空度制御機構、これを備えた接合装置、真空チャンバの真空度制御方法、及び接合装置の真空度制御方法を提供する。
【解決手段】真空チャンバＤの真空圧力値を制御するための真空チャンバの真空度制御機構であって、真空チャンバＤを真空引きするための真空経路と、真空チャンバＤに気体を導入する流量調整弁３０と、流量調整弁３０の開閉率を制御する制御部３２と、を備え、制御部３２は、真空チャンバＤの真空圧力値に基づいて流量調整弁３０の開閉率を制御して、真空チャンバＤの真空圧力値を目標真空圧力値に調整する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、シール部の寿命の低下を防止し、ひいては装置の稼働率の低下を防止できる接合装置及び接合方法を提供する。
【解決手段】加圧機構１４と、加圧機構１４からの加圧力の作用方向に複数配置され内部に熱源を有する熱盤部２６と、熱盤部２６の側方に設けられた枠体３０と、加圧力の作用方向に隣接する熱盤部同士が相互に積み重なることにより当該熱盤部間に形成された真空チャンバＣと、を有し、真空チャンバＣ内で貼り合せ用基材同士を熱盤部２６により熱圧着させて接合する接合装置１０であって、熱盤部２６と枠体３０との間に設けられ真空チャンバＣを気密に封止するシール部３４と、枠体３０に設けられ枠体３０及びシール部３４を冷却するための枠体冷却部３８と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】漏洩磁束探傷による内部欠陥検査装置の性能を評価する。
【解決手段】疑似介在物として、球相当直径が１０μｍ〜９０μｍの人工空間に、気体、あるいはＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＺrＯ₂、ＴｉＯ₂、ＣａＯ、ＭｇＯないしこれらの混合物を充填し、その大きさと位置が既知であるものを鋼板表面から１５０〜２５０μｍの位置に有する鋼板を用いて評価する。人工空間を有する鋼板は、第１鋼材と第２鋼材の一方又は両方に人工空間を形成し、双方を拡散接合により接合することによって鋼材中に人工空間を形成し、第１鋼材の接合面でない表面を削り、第１鋼材の表面と人工空間中心との距離が１５０〜２５０μｍとなるようにして製造することができる。 （もっと読む）

【課題】大径の構造物間の良好な摩擦圧接接合を行うことができる金属構造物間の接合方法を提供する。
【解決手段】実施形態の金属構造物間の接合方法は、タービンロータ構造物１０およびタービンロータ構造物２０を同軸上に保持する工程と、タービンロータ構造物１０およびタービンロータ構造物２０の接合部１１、２１のうち、少なくともいずれか一方の接合部１１、２１を非接触加熱する工程とを備える。さらに、加熱された接合部１１、２１が所定の温度に達した後、タービンロータ構造物１０およびタービンロータ構造物２０の接合部１１、２１の接合端面１３、２３どうしを突き合わせ、軸方向に加圧しながら、タービンロータ構造物１０およびタービンロータ構造物２０のうちのいずれか一方を回転させて、タービンロータ構造物１０とタービンロータ構造物２０とを摩擦接合する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】セラミックス材と金属材とを簡易な手法で接合し、その接合体において、熱膨張差による接合界面の剥離を防止し、接合強度を改善する
【解決手段】セラミックス材と金属材とが接合されてなる接合体の製造方法であって、クロムを１０ｗｔ％以上４０ｗｔ％以下含有する鉄基合金もしくはニッケル基合金からなる三次元網目状の金属多孔質材を、前記セラミックス材および金属材の間に介在させるように積層し、積層方向に加圧しながら加熱する加熱処理を行うことにより、前記金属多孔質材を気孔率が６０％以上９５％以下である中間層として前記セラミックス材および前記金属材に接合する。 （もっと読む）

【課題】金属の接合部を有する基板同士の温度調整を効率よく行い、基板接合処理のスループットを向上させる。
【解決手段】接合装置１０は、下面に開口７８が形成された処理容器７０と、処理容器７０内に配置された、重合ウェハＷ_Ｔを載置して熱処理する第２の熱処理板９０と、処理容器７０内に第２の熱処理板９０に対向して設けられ、重合ウェハＷ_Ｔを第２の熱処理板９０側に押圧する加圧機構８０と、処理容器７０の内面に当該処理容器７０の開口７８に沿って設けられ、処理容器７０と第２の熱処理板９０との間を気密に塞ぐ環状の支持台９５と、第２の熱処理板９０の下方であって支持台９５の内側に設けられた冷却機構１００を有している。冷却機構１００は、その上面が第２の熱処理板９０と平行に設けられた冷却板と、冷却板の内部に連通し当該冷却板の内部に空気を供給する連通管と、冷却板を上下動させる昇降機構と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】金属の接合部を有する基板同士の接合を効率よく行い、基板接合処理のスループットを向上させる。
【解決手段】接合装置１０は、熱処理ユニット２０、接合ユニット２１を一体に接続した構成を有している。熱処理ユニット２０は、重合ウェハＷ_Ｔを載置して熱処理する第１の熱処理板４０を有している。接合ユニット２１は、重合ウェハＷ_Ｔを載置して熱処理する第２の熱処理板９０と、第２の熱処理板９０上の重合ウェハＷ_Ｔを押圧する加圧機構８０とを有している。第１の熱処理板４０は、当該第１の熱処理板４０上の重合ウェハＷ_Ｔを冷却する冷媒流路４４を有している。各ユニット２０、２１その内部の雰囲気を所定の真空度まで減圧可能になっている。熱処理ユニット２０は、接合ユニット２１との間でウェハＷ_Ｔを搬送する搬送機構４２を複数有している。 （もっと読む）

【課題】接合強度を高めることができるダイカスト金型材の固相拡散接合方法を提供する。
【解決手段】ダイカスト金型材Ａ・Ｂ同士を突き合わせた状態で、該ダイカスト金型材Ａ・Ｂの周囲の雰囲気を真空度Ｐ０とし、該ダイカスト金型材Ａ・Ｂを昇温させ、その後に該ダイカスト金型材Ａ・Ｂ同士を押圧する初期工程Ｓ１００と、前記ダイカスト金型材Ａ・Ｂを昇温させ第一温度Ｔ１に維持しつつ該ダイカスト金型材Ａ・Ｂ同士を第二荷重力Ｆ２にて押圧する第一工程と、該ダイカスト金型材Ａ・Ｂを降温させ第二温度Ｔ２に維持しつつ該ダイカスト金型材Ａ・Ｂ同士を第一荷重力Ｆ１にて押圧する第二工程とを複数回繰り返す接合工程Ｓ２００と、を具備し、前記第一温度Ｔ１は、前記第二温度Ｔ２よりも高いものとし、前記第一荷重力Ｆ１は、前記第二荷重力Ｆ２よりも大きいものとする。 （もっと読む）