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国際特許分類[B23K26/02]の内容

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【課題】ガラス基板の歪の影響を可能な限り低減し、ガラス基板の姿勢を一定状態に保持した状態で移動できるようにする。
【解決手段】基板を加工位置に搬送する際にエア浮上された基板の搬送方向に沿った両側辺を保持し、一方側の辺について固定的に保持し、他方側の辺については、基板表面に垂直な方向に対してのみ拘束的に保持する。すなわち、他方側の辺は垂直方向にのみ移動が困難なように保持しているが、基板がその表面に沿った2次元方向には移動可能にしている。これによって、基板の歪の影響を極力低減することができる。基板の移動を拘束する方法として、エア噴流、加圧力制御、ボールベアリング等を用いる。 (もっと読む)


【課題】リアルタイムで加工済み線の位置情報を取得することができるレーザ加工装置を低コストで提供すること。
【解決手段】レーザ加工装置は、被加工基板60を保持する保持部1と、被加工基板60の薄膜62,63,64に対してレーザ光Lを照射するレーザ照射部11と、保持部1およびレーザ照射部11のうちの少なくとも一方を加工進行方向PDに沿って移動させる加工移動部35と、既に加工された加工済み線62,63の位置情報を取得するデータ取得部41と、を備えている。データ取得部41は、レーザ光Lによって薄膜62,63,64を所定の加工済み線62,63に沿って加工している間に、当該所定の加工済み線62,63と異なる加工済み線62,63の位置情報を取得可能となり、レーザ光Lによって薄膜62,63,64が所定の加工済み線に沿って加工される前に、前もって当該所定の加工済み線62,63の位置情報を取得する。 (もっと読む)


【課題】金属板に波形部と位置決め用の複数の孔とを高い精度で加工成形できるとともに、後工程の加工も精度良く実行することができる板金加工方法を供する。
【解決手段】共通のプレス金型により金属板2にプレス曲げ加工による波形状の波形部wを成形すると同時に、プレス打ち抜き加工による位置決め用の複数の孔p,qを穿孔し、波形部wに対して所定距離離れて平行に複数の孔p,qを配列した成形金属板2を加工形成する板金加工方法。 (もっと読む)


【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置を正確に計測することができる計測装置および計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源61からの光を第1の経路に導くとともに第1の経路を逆行する反射光を第2の経路に導く第1の光分岐手段62と、コリメーションレンズ63によって平行光に形成された光を第3の経路と第4の経路に分ける第2の光分岐手段64と、第3の経路に配設され第3の経路に導かれた光をチャックテーブル36に保持された被加工物Wに導く対物レンズ65と、集光レンズ66と、第4の経路に導かれた平行光を反射して第4の経路に反射光を逆行せしめる反射ミラー67と、第2の経路に導かれた反射光を回折する回折格子69と、回折格子69によって回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサー71とを具備している。 (もっと読む)


【課題】余剰領域の切除に掛かる時間を短縮することができるとともに、余剰領域の切除を容易に行うことができるトリミング装置を提供すること。
【解決手段】トリミング装置20は、支持手段21、光学制御式レーザー照射装置22a〜22c及び移動制御手段40を備える。支持手段21は、ワーク2における被加飾領域4とは異なる領域を支持する。光学制御式レーザー照射装置22a〜22cは、被加飾領域4の外形線に沿ってレーザーL1〜L3を照射することにより、余剰領域11a,11bを切除する。移動制御手段40は、レーザーL1〜L3の照射距離を一定範囲に保持するために、光学制御式レーザー照射装置22a〜22cをワーク2に対して接近または離間させる制御を行うとともに、支持手段21に支持されたワーク2の位置を変位させる制御を行う。 (もっと読む)


【課題】 直径が小さな円筒状の加工対象物の表面をレーザ加工する場合であっても、簡単な構成で、レーザ光の焦点が加工対象物の適正位置になるように制御する。
【解決手段】 X軸方向に延びた円筒状の加工対象物OBに対して、加工用ヘッド10からZ軸方向に加工用レーザ光を照射するとともに、サーボ用Z軸方向光ヘッド20からサーボ用レーザ光をZ軸方向に照射し、フォトディテクタ118に映し出される加工対象物OBの射影の位置により加工対象物OBのY軸方向のずれを検出する。Y軸方向サーボ回路162等は、このY軸方向のずれに応じて、サーボ制御により対物レンズ112をY軸方向に駆動する。遅延回路164は、前記Y軸方向サーボ制御の信号を遅延して、対物レンズ112をZ軸方向に駆動する。 (もっと読む)


【課題】端部に「ダレ」を有している鋼板においても、正確にかつ安定して突き合わせ開先位置を検出する。
【解決手段】2枚の鋼板の突き合わせ部を、突き合わせ線が前記撮像装置の撮像面の水平軸方向となるようにして撮像する撮像工程と、撮像工程で取得された撮像画像から得た部分画像を、予め設定した閾値Tを用いて2値化画像を出力する2値化工程と、2値化画像において水平軸方向をx軸方向、垂直軸方向をy軸方向として、各画素座標(i、j)の2値化輝度値U´について、y軸方向の輝度差分値Vを、各iについて演算する工程イと、工程イで演算した輝度差分値Vをiについて積算して輝度差分射影値Wを演算する工程ロと、工程ロで演算した輝度差分射影値Wにおいてピークの画素位置を求めて、前記2枚の鋼板それぞれの突き合わせ開先位置として検出するピーク位置検出工程とを有する検出方法。 (もっと読む)


【課題】 基板に対するパターン形成を迅速且つ正確に行うことができるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 基板が装着される装着部35a,37aをそれぞれ有する一対の移動台26,27と、パターン形成を行う加工手段21と、一対の基板位置検出手段51,52と、基板位置修正手段36,38と、一対の移動台26,27をそれぞれ駆動する駆動手段32とを備え、駆動手段32は、一対の移動台26,27を同一の軸線上で個別に独立して駆動可能であり、一方の移動台26を一方の基板位置検出手段51と加工手段21との間で往復搬送すると共に、他方の移動台27を他方の基板位置検出手段52と加工手段21との間で往復搬送する。 (もっと読む)


【課題】長時間にわたって使用可能な波長変換素子を提供する。
【解決手段】非線形光学結晶により入射レーザ光の波長変換を行う波長変換素子であって、 前記非線形光学結晶は、前記入射レーザ光の光軸方向に沿って直列に配置された入射側結晶と出射側結晶との2つの部分からなり、前記入射側結晶と前記出射側結晶とは、光軸方向に所定の間隔Lを維持しつつ、相対位置を変化可能に構成され、前記所定の間隔Lは、前記出射側結晶の入射面において、前記入射側結晶を透過した入射レーザ光の位相と前記入射側結晶によって波長変換された光の位相の差が0又はπであるように設定されていることを特徴とする波長変換素子。 (もっと読む)


【課題】環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着されるウエハの中心をチャックテーブルの中心と一致させて載置することができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】ウエハの大きさと同一または僅かに小さいウエハ保持領域と保持領域の外側周囲にレーザ光線緩衝溝が形成されているチャックテーブルとレーザ光線照射手段とを具備するレーザ加工装置であって、環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着されたウエハと環状のフレームの中心との変位量を検出する変位量検出機構と、ウエハと環状のフレームの中心とのズレに基づいて加工送り手段および割り出し送り手段とウエハ搬送手段を制御する制御手段とを具備し、制御手段は搬送されるウエハの中心がチャックテーブルの中心位置と一致するようにウエハ着脱位置に位置付けられているチャックテーブルとウエハ搬送手段によって搬送されるウエハの搬送位置とを相対的に変位せしめる。 (もっと読む)


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