【目的】 積層された最上段の基板を一定の高さで水平に補正して、安定した基板の吸着，分離を可能にし、次工程の実装ラインに供給できるようにする。
【構成】 装置本体１１の両起立部１１ｂ，１１ｂ′に各駆動軸１３及びモータ１５等を介して４つの受台１２を上下方向に移動自在に配設してある。これら各受台１２上には積層された基板１１０を載置する基板載置台１８を各自在継手１７を介して支持してある。この基板載置台１８の上方には最上段の基板１１０を吸着して１枚ずつ吸着分離させる３つの吸着パッド２３を昇降動自在に設けてある。４つの受台１２は各駆動軸１３等を介してそれぞれ昇降動する。これにより、各受台１２の高さは別々に可変され、最上段の基板１１０は常に一定の高さで水平になる。 （もっと読む）