【課題】砥石表面の切れ刃分布の定量的な評価を可能とする砥粒切れ刃分布測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】回転軸心周りに回転して外周の作業面１１ａで工作物を研削するための砥石１１の切れ刃分布を測定する砥粒切れ刃分布測定装置１であって、長手方向中間部に作業面１１ａを回転状態で接触させるセンサ本体３と、作業面１１ａの切れ刃が接触するセンサ本体３の接触点から入力された接触信号がセンサ本体３の両端部３ａ，３ｂに伝播された伝播信号を検出する第１、第２センサ５，７と、センサ本体３の接触点から両端部３ａ，３ｂに到達する両伝播信号の時間差とセンサ本体３の既知の信号伝播速度Ｖとにより接触点からセンサ本体３の両端部３ａ，３ｂまでの距離を演算して作業面１１ａの切れ刃分布を求める演算部９とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コンディショニングされる研磨パッドの表面状態や性能を予測できるコンディショナの評価方法を確立し、コンディショナの評価データを蓄積したデータベースと組合せることにより、コンディショナの性能評価と、コンディショニング条件を導き出し、適切なコンディショニングを可能とする。
【解決手段】評価対象のコンディショナ１の砥粒面を、樹脂板２の表面に押圧接触させた状態で１回転させて前記表面に切削痕３を形成し、切削痕３が形成された表面の断面プロファイルを測定し、得られた断面プロファイルに基づいて、当該コンディショナの評価項目として、切削痕の粗さ、切削痕の高さ頻度分布および切削痕の幅の総和の少なくともいずれか一つを求めるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 貫通電極付きセラミック基板の研削加工速度を向上させる。
【解決手段】 貫通電極付きセラミック基板（ワーク）ｗのカップホイール型研削砥石３ａによる研削加工作業と一緒に前記カップホイール型研削砥石３ａの刃先３ａｇをドレッサー４の成形砥石４ｇでインプロセスドレッシング作業を行う。 （もっと読む）

【課題】多条ねじ研削ウォームをドレッシングするのに時間を要していた。
【解決手段】ねじ溝６、７、８のフランク３’、４’、５’の輪郭はらせん状に、および別の輪郭に対して平行に延在し、ドレッシング工具によって作成される。特に短いドレッシング時間で、改善した研削結果を得るために、少なくとも２つのねじ溝６、７、８において、フランク３’、４’、５’の輪郭を、形状および／または表面構造によって、別の輪郭とは区別されるように作成する。 （もっと読む）

【課題】フラットドレスにおける作業の簡素化、生産性の向上を図る切削装置を提供すること。
【解決手段】チャックテーブル１０と、スピンドル２２ａに装着された切削ブレード２１ａを有する切削手段２０ａ，２０ｂと、スピンドル２２ａをＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段３０ａ，３０ｂと、スピンドル２２ａをＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段４０ａ，４０ｂとを備える切削装置１であって、チャックテーブル１０に隣接し、かつＹ軸移動手段３０ａ，３０ｂによる切削ブレード２１ａの移動経路上に配設されたドレス手段５０ａ，５０ｂをさらに備え、ドレス手段５０ａ，５０ｂは、研磨面がＺ軸方向のうち離間方向に向かって配設されるドレッサーボードと、ドレッサーボードを保持し、中心軸線を中心に回転可能な保持手段とを有し、保持手段により保持されているドレッサーボードの研磨面の高さＨ１は、チャックテーブル１０の表面の高さＨ２と同一または低い。 （もっと読む）

【課題】砥石成形工程中においても使用可能な砥粒突出し量測定方法を備えた砥石成形方法および研削盤を提供する。
【解決手段】メタルボンド砥石車のツルーイング後に、成形面ｆから鉛直方向にｄ_１離離れた静電容量センサと所定成形面間の静電容量である第１静電容量Ｃｔ_１と、成形面ｆから鉛直方向にｄ_２離れた静電容量測定装置と所定成形面ｆ間の静電容量である第２静電容量Ｃｔ_２を測定する。ドレッシング後に、所定成形面ｆの位置から鉛直方向にｄ_１離れた静電容量測定装置と所定成形面ｆ間の静電容量である第３静電容量Ｃｄ_１と、所定成形面ｆから鉛直方向にｄ_２離れた静電容量測定装置と所定成形面ｆ間の静電容量である第４静電容量Ｃｄ_２を測定する。ドレッシング後の砥粒突出し量ｈを、式ｈ＝（（Ｃｔ_１−Ｃｄ_１）・ｄ_１^２−（Ｃｔ_２−Ｃｄ_２）・ｄ_２^２）／（（Ｃｔ_２−Ｃｄ_２）・ｄ_２−（Ｃｔ_１−Ｃｄ_１）・ｄ_１）で算出する。 （もっと読む）

【課題】ダイシングブレードの劣化を防止し、チッピングの発生を防止し、高品質な半導体装置を製造可能とする。
【解決手段】半導体ウエハＷ０の一面にフィラーが含有された樹脂層１４を形成するフィラー含有樹脂層形成工程Ｓ２と、ダイシングブレードを用いて半導体ウエハと樹脂層とを一括して切削し、半導体ウエハを個片化するダイシング工程Ｓ３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】凝着した超音波接合工具のローレット面を短時間で再生することができ、再生コストの低減を実現できる超音波接合工具のローレット面再加工方法を提供する。
【解決手段】超音波接合を繰り返し行うことで凝着したローレット面９に対して、ブラシラップ、エアロラップ、ショットブラスト等の手法で凝着したローレット面９を加工して、ローレット面９から凝着物１２を取り除く。突起先端の平坦面を平面研削して突起部上面８ａの摩擦係数を、突起部斜面８ｂ及び溝部１０の摩擦係数より大きくする。こうすることで、摩耗したローレット面を一旦完全に研磨して平面とした後に、再度ローレット面９を形成する手間を省くことができる。 （もっと読む）

【課題】より高精度なツルーイングを可能とする研削盤のツルーイング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】研削盤１のツルーイング装置３は、砥石車１１の形状を成形するツルア４３と、旋回軸Ａｃの回りに旋回可能にツルア４３を支持する旋回テーブル３０と、砥石車１１の形状を成形する際に砥石車１１と接触するツルア４３の先端位置から旋回テーブル３０の旋回中心Ｏまでの距離を直接的に検知する検知手段５０と、検知手段５０による検知距離Ｌに基づいて砥石車１１に対するツルア４３の先端位置を制御して砥石車１１のツルーイングを行う制御手段６０を備える。 （もっと読む）