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国際特許分類[B24B55/00]の内容

処理操作;運輸 (1,245,546) | 研削;研磨 (20,708) | 研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給 (15,323) | 研削または研磨機械の安全装置;工具または機械の部品を良い稼動条件に維持するために研削または研磨機械に取り付けられた付属装置 (554)

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【課題】プーリと摩擦伝動ベルトとの間で異音が生じることを抑制でき、且つ、製造にかかる手間及び時間が少なくて済む、摩擦伝動ベルトの製造方法、摩擦伝動ベルト、及び摩擦伝動ベルトの製造装置を提供する。
【解決手段】圧縮ゴム層5に心線及び短繊維が埋設された構成を有するベルトスリーブ1の圧縮ゴム層5の外周面7に、プーリに当接する摩擦伝動面を形成する工程が施される。工程では、ベルトスリーブ1を一対のロール51,52に巻き掛け、ベルトスリーブ1にテンションを生じさせた状態で、ベルトスリーブを一対のロール51,52を用いて回転させる。この際、研削ホイール53は、回転させられながらベルトスリーブ1の外周面7に当接されている。また、ベルトスリーブ1と研削ホイール53との接触面16,56には界面活性剤が供給される。 (もっと読む)


【課題】 音発生機構が特定の周波数の音を発しても制御手段に異常が生じることのない加工装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、被加工物を搬送する搬送手段と、磁気ディスク装置を備えた制御手段と、異常を知らせる音発生手段と、少なくとも該制御手段及び該音発生手段が取り付けられた枠体とを備えた加工装置であって、該制御手段又は該音発生手段の少なくとも何れか一方が該枠体に伝達される音を遮断する弾性部材を介して取り付けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 本発明はシリコンインゴットの切削工程において、従来品より加工熱の冷却性、浸透性、水とシリコンとの反応抑制性、抑泡性が良好であるため、切削加工効率を向上させることができる。また、シリコンウエハの平坦性も良好であるため、過酷なスライス条件下でも被加工面の表面精度を高く維持できる切削液を提供する。
【解決手段】 下記一般式(1)で表される3〜8個の水酸基を有する化合物(a)のポリオキシアルキレン付加物(A)と水を必須成分として含有し、該ポリオキシアルキレン付加物(A)のHLBが6.0〜20.0であることを特徴とするシリコンインゴットスライス用含水切削液。
【化1】


[式(1)中、Rは3〜8個の水酸基を有する化合物から水酸基、(AO)は炭素数が2〜4のオキシアルキレン基を除いた残基を表す。mは炭素数が2〜4のアルキレンオキサイドの平均付加モル数を表し1〜350の数、fは3〜8の整数である。] (もっと読む)


【課題】簡単な手段によって安全性を高めたグラインダー用安全装置を提供する。
【解決手段】グラインダー用駆動装置8は次の特徴の内の1つ又は複数を有する:駆動手段は少なくとも3つの駆動装置を有すること;安全手段は、各駆動アセンブリ12の故障を検出するための故障検出手段28と、この故障検出手段28によって検出される故障に応答して全ての電動機14のスタートを妨げるに適した制御手段22を有すること;この故障検出手段28は、各減速手段16に1つの減速装置故障センサ34を有すること;少なくとも2つの駆動アセンブリ12、及び好ましくは全ての駆動アセンブリ12は同一であること; (もっと読む)


【課題】ワークのチャックテーブルからズレを検出する。
【解決手段】ワークを保持する保持面が形成された保持手段と、該保持手段に保持された前記ワークを研削加工する加工手段とを有する研削装置であって、該保持面の所定位置に搬入されたワークが、研削加工中に該所定位置からズレた際に、該ズレ量を検出するズレ検出手段を有し、該ズレ検出手段は、ワークのエッジ近傍に検出光を照射する照射部と、ワークで反射した該検出光を受光する受光部と、該受光部での受光に基づいてワークのズレを算出する演算部と、該演算部で算出したズレが予め設定した閾値を下回っていた場合には研削加工を続行し、予め設定した閾値を上回っていた場合には研削加工を停止する制御部と、を有する研削装置とする。 (もっと読む)


【課題】異常状態への迅速かつ適切な対処を可能として、半導体デバイス製造工程における薬液漏れに起因する被害を最小限に抑えることができる監視システムを提供すること。
【解決手段】半導体デバイス製造工程において用いられる流体が正常に使用されているか監視して前記流体が人体に悪影響を与えることを防止する監視システムであって、気体濃度検出センサ(101a)、液体漏れ検出センサ(101b)、液体を溜めるタンクの液面の高さを検出するセンサ(101c)、のいずれかのセンサ(101)による異常状態の検出によって、アラームの発動、電子メールによるオペレータへの異常状態の通知、研削加工装置(11)の停止、の少なくとも一つの動作を行うことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】簡易な制御でありながら、精度よくフィレットローラの欠損を判定する。
【解決手段】逐次算出した所定時間あたりの電力変化量ΔPiを用いて電力変化量積算値ΔPjおよび電力変化量最大値ΔPmaxjを算出し(ステップS102〜S108,S114)、電力変化量積算値ΔPjと電力変化量最大値ΔPmaxjとを含む直近20ケの電力変化量積算値ΔPj−19〜ΔPjおよび電力変化量最大値ΔPmaxj−19〜ΔPmaxjを用いて許容値範囲ΔPjmav±3σsjおよびΔPmaxjmav±3σmjを設定して(ステップS112〜S118)、電力変化量積算値ΔPjおよび電力変化量最大値ΔPmaxjが許容値範囲ΔPjmav±3σsjおよびΔPmaxjmav±3σmjの範囲内であるか否かによってフィレットローラRが欠損しているか否かを判定する(ステップS120)。この結果、簡易な制御で欠損判定をすることができる。 (もっと読む)


【課題】 サファイア基板等に破損が生じる前に研削加工を停止可能な研削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石を有する研削ホイールが回転可能に装着された研削手段とを備えた研削装置であって、該研削手段は、該研削ホイールが連結されるスピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに装着された振動測定手段と、該スピンドルハウジングを支持し該チャックテーブルに対して該スピンドルハウジングを接近及び離反させる方向に移動する研削送り手段と、該振動測定手段から出力される振動情報を受信する受信部と、異常な振動情報が予め記録されている異常記録部と、該受信部が受信した振動情報と該異常記録部に登録された該異常な振動情報とに基づいて該受信部が受信した振動情報の異常を検出し、該研削送り手段を制御する制御部とを有する制御手段と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 被加工物への加工屑の付着を防止可能な被加工物の加工方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物の加工方法であって、被加工物を保持テーブルで保持する保持工程と、該保持テーブルに保持された被加工物を加工液を供給しつつ加工手段によって加工する加工工程とを具備し、該加工液中には廃水処理剤が混入されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】固定架台とテーブルカバーとの間から研削液が固定架台の内部へ侵入することを防止する。
【解決手段】ワークを固定する反転テーブル8と、反転テーブル8の下部に位置して反転テーブル8を水平方向に往復移動させる機構を設置した固定架台9と、反転テーブル8と一体的に移動し且つ固定架台9の上部を包囲する大きさを有するテーブルカバー19とを備える平面研削盤の反転テーブル装置7であって、固定架台9とテーブルカバー19の隙間をエアカーテンで塞ぐようにエアを噴出するエア噴出手段20と、固定架台9とテーブルカバー19の隙間に複数の板状部を配置して障害面を形成するラビリンス構造体とを備える。 (もっと読む)


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