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国際特許分類[B25J9/00]の内容

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国際特許分類[B25J9/00]に分類される特許

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【課題】小型で高速動作が可能な移載装置を安価に提供する。
【解決手段】側面に第1と第2の円筒溝カム(11,12)、底面51に溝カム52が形成されたシリンダー4と、ピニオンギア23環装され、第1円筒溝カムにより上下するシャフト部21と、第2円筒溝カムによってシャフト部内で上下するロッド部22と、ピニオンギアに歯合して溝カムにより前後するラックギア54と、物体W1の把持と開放を相補的に行う二つ一組のチャック部31を備えたチャックユニット6aを備え、ピニオンギアはシャフト部を介してチャックユニットを旋回させ、ロッド部はシャフト部と同期して上下するとともに、シャフト部の下死点停留期間Δt2中にさらに下方の第2下死点Dd2に至り、二つ一組のチャック部はロッド部が第2下死点に至ったときに、それぞれの把持状態と開放状態を切り替え、上死点と第1の下死点までの区間ではその状態を維持する。 (もっと読む)


【課題】ピック&プレースの作業が可能なものにあって、比較的簡単な構成でありながらも、部品供給部と部品組付部との間の途中部位の障害物を容易に乗越える。
【解決手段】X軸方向に水平に延びるX軸レール6の前面側に、移動体7を直線移動可能に設ける。移動体7の前面部に、回動アーム8の基端側を、R1軸を中心に回動可能に連結する。回動アーム8の先端側に、下端に作業用ツール10を有する手首部9を、R2軸を中心に回動可能に連結する。回動アーム8内に、移動体7に対して回動アーム8を回動させるための、回動用モータ16、減速機17等からなる駆動機構13を設ける。回動アーム8内に、手首部9の絶対的な向きを一定に保持するための、第1のプーリ15、第2のプーリ21、ベルト22等からなる姿勢保持機構14を設ける。 (もっと読む)


【課題】 スライダ移動時にベルト状カバーがフレームに接触し、発塵するという欠点を解消し、防塵効果の向上を図った軸用スライド装置を提供すること。
【解決手段】 固定されたフレームの開口部内をステージが移動し、前記開口部をステージ移動方向に全面に亘って覆うベルト状カバーを設けた軸用スライド装置において、スライダ移動時にベルト状カバーの幅方向両端部のエッジと接触するフレーム部に開口部に沿った小溝を設けたことを特徴とする軸用スライド装置とした。 (もっと読む)


【課題】シャッタ部材を円滑に案内できるようにする一方で、可動部材の構成を簡素化し、生産性やメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】単軸ロボットは、ケース部材と、これに収容される可動部材10と、ケース部材の開口部を塞ぐシャッタ6とを備える。可動部材10は、一対の工具取付部12(突出部)および樹脂材料からなるシャッタ案内面を備える本体11と、シャッタ案内面Fgを覆うように本体11に装着されてシャッタ通過用の隙間Sを形成する樹脂材料からなるテーブルカバー16とを含む。本体11およびカバー16は、カバー16を本体11の上部に重ねた状態で互いに係合し、カバー16を本体11に対して係止する係止部をそれぞれ備える。カバー16は、その上面部に、工具取付部12に取付けられる工具が当接することにより本体11に対するカバー16の上方への変位を規制する変位規制部を有する。 (もっと読む)


【課題】構成の簡素化及び低廉化を図る共に生産性及びメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】単軸ロボットは、前後方向(一軸方向)に延びるケース部材と、これに収容される可動部材10と、この可動部材を移動させる駆動手段とを含む。ケース部材は、可動部材10を前後方向に移動可能に支持するガイドレール2及び支持ブロック26,27等のカバー固定用部材と、このレール2の当該レール2に沿って前後方向に延びる一対の側面カバー3と、支持ブロック26,27等に固定される端面カバーとを有する。端面カバーは、各側面カバー3と嵌合可能な嵌合部を有し、各側面カバー3は、それぞれ端面カバーに嵌合することにより両端面カバーに挟持された状態で、当該端面カバーを介してガイドレール2に固定されている。 (もっと読む)


本発明の一実施形態による作動装置が、固定部材と自由部材とを含んでいてもよい。自由部材は、自由部材が固定部材に対して移動可能であるように、固定部材と動作可能に係合されている。作動装置はまた、固定部材に対して自由部材を移動させるための手段を含む。自由部材と固定部材とに動作可能に付随する弾性要素が、作動装置の全長に変更なく、エネルギーを蓄積するように動作可能である。
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【課題】チャンバ100の外側に無用なスペースを必要とすることなく、低価格で、チャンバ100に設けたウェーハWの搬出入口101を可及的に小さくでき、しかも正確なウェーハWの搬送が可能なウェーハ搬送装置300を提供する。
【解決手段】Xリンクユニット21で構成した伸縮手段2と、前記Xリンクユニット21を構成するリンク要素21a同士の回転軸22に係合して伸縮軸線Cに沿ってスライド可能に支持するガイド部材8と、前記伸縮手段2の先端部に取り付けられて前記載置板1を抜脱可能かつ回転不能に保持する保持手段4と、前記伸縮手段2によってウェーハW交換室から受渡位置に向かって移動する途中での載置板1の、若干の伸縮軸線Cからの位置ずれを是正しながら受渡位置に導く案内機構63とを設けた。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、高精度な制御が要求される細径の医療用または工業用マニピュレータを実現するためのゴム人工筋アクチュエータを提供することにある。
【解決手段】本発明は、ゴム人工筋アクチュエータ内部に抵抗体を備え、可動端子が前記抵抗体との接触を維持しながら前記抵抗体上を移動することにより、前記ゴム人工筋アクチュエータの変位を検出することができることを特徴とする、ゴム人工筋アクチュエータを提供する。 (もっと読む)


【課題】直線ロボットにおける密閉バンドの結合構造を提供する。
【解決手段】本発明は、ベルト、ボールスクリュー、リニアモータータイプの駆動手段によりテーブルを移動する直線ロボットにおける密閉バンドの結合構造に係り、さらに詳しくは、永久磁石を用いて移動するテーブルと密閉バンドを摩擦なしに作動させて摩擦騒音、粉塵発生、摩擦による密閉バンドの変形がなく、使用寿命を延ばすことができ、完璧なクリーン状態を維持し、直線ロボットの精密性及び作動性を常に最適な状態で提供できるようにした直線ロボットにおける密閉バンドの結合構造に関する。 (もっと読む)


ロボットは、リソグラフィ装置の真空チャンバ内で対象物を位置決めする。ロボットの第1コンポーネントは、並進軸に沿って対象物を位置決めするために真空チャンバ内に配置される。シャフトは、シャフトの対称軸が並進軸に対して垂直になるように第1コンポーネントを支持し、第2コンポーネントは、対称軸の周りでシャフトを回転させ、かつシャフトを対称軸に対して平行方向に移動させる。第2コンポーネントは、シャフトの外周面に沿ってガスを導入するように構成されたガスベアリングと、第2コンポーネントガスベアリングによって導入されたガスを排気するように構成された排出シールとを含む。ロボットは、炭化水素分子のガス放出を約0〜200a.m.u.の範囲に実質的に減少または除去し、よってロボットは極端紫外線(EUV)フォトリソグラフィ用途での使用に適する。 (もっと読む)


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