【課題】産業用ロボットに、３次元の作業に必要十分な構成を与えつつも、その操作について特にスクーリングを必要とせず誰でも視覚的・経験的にティーチング及び操作が可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボット１が、アーム２と、アームを支えることが可能な柱部材３と、柱部材の土台４とを備える産業用ロボットであって、アームは、柱部材に対して、アーム先端部２２からの長さを水平方向に手動で調節可能に取り付けられ、かつ上下（Ｚ軸）に自動でスライド可能であり、柱部材は、土台に対して鉛直線を軸として手動で回転可能に設けられており、かつ自動で水平方向にスライド可能に取り付けられ、ティーチング及び操作機器として、少なくとも１つの十字キー又はレバーと複数のボタンを有するゲームコントローラ６を備えていることからなる。 （もっと読む）

【課題】移動速度を上げなくても搬送時間を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボット５０は、第１及び第２ハンド５２，５３を備えている。第１及び第２ハンド５２，５３は、基板６を夫々保持する２つのブレード５６を有している。また、搬送ロボット５０は、回動ユニット、第１進退ユニット、第２進退ユニット、昇降ユニットを有しており、これら４つのユニットにより第１及び第２ハンド５２，５３を基板６が載置されている基板搬送中継装置２５及び４つのプロセスチャンバ２３に夫々移動させることができるようになっている。 （もっと読む）

【課題】可搬重量の低下及び動作スピードの低下を抑制しつつ小型化することができるローダ装置を提供する。
【解決手段】第１の方向に沿って延びる動力伝達軸４には、外周面に螺旋状の螺子溝及び第１の方向に沿って延びるスプライン溝が形成されている。動力伝達軸４に螺合されたボールねじナット７は、第１駆動モータ３１から伝達された回転運動をねじ作用により動力伝達軸４の第１の方向の直線運動に変換する。動力伝達軸４に装着されたボールスプラインナット８は、第２駆動モータ４１から伝達された回転運動を動力伝達軸４に伝達して動力伝達軸４を該動力伝達軸４の中心軸線Ｌ２回りに回転させる。チャック６６が連結された動力伝達ベルト６４は、第１の方向に沿って動力伝達軸４と一体移動可能であるとともに、動力伝達軸４から伝達された動力伝達軸４の中心軸線Ｌ２回りの回転運動を第２の方向の直線運動に変換してチャック６６に伝達する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸方向に水平に延びる直動レールに沿って移動される移動体を備えるものにあって、必要な可動範囲及び移動速度を確保しながらも、上下方向の小型化を図る。
【解決手段】移動体３を、Ｘ軸移動用モータ５の駆動により直動レール２に沿ってＸ軸方向に移動するように設け、移動体３の前面部に、旋回アーム９を、ｒ軸用モータ１０の駆動によりｒ軸を中心に旋回するように設ける。旋回アーム９の先端に、テレスコピック型の伸縮アームからなる直動アーム１２を、Ｙ軸移動用モータの駆動によりＹ軸（前後）方向に自在に移動（伸縮）するように設け、直動アーム１２の筒状部１４ａの先端に、作業用ツールが装着される手首部１１を、Ｔ軸を中心に同軸回転するように設ける。 （もっと読む）

【課題】構造の大型化を防止しつつ、大型重量基板を安全且つ的確に搬送できるロボットを提供する。
【解決手段】本発明のロボット1は、基板が略水平に保持されるエンドエフェクタ22と、エンドエフェクタ22を垂直方向に駆動する垂直駆動手段18と、垂直駆動手段18を水平方向に駆動する水平駆動手段11と、水平駆動手段11を垂直方向の回転軸線17周りに回転駆動する回転駆動手段14と、を備える。垂直駆動手段18にエンドエフェクタ22の端部が接続される。水平駆動手段11に垂直駆動手段18の端部が接続される。 （もっと読む）

【課題】コンパクトなレイアウトを採用可能とするロボットを備えた基板搬送システムを提供する。
【解決手段】本発明の基板搬送システムはロボット１を備え、その周囲に基板搬出入手段4及び基板処理装置5が配置される。ロボット1は、基板100が略水平に保持されるエンドエフェクタ22と、エンドエフェクタ22を垂直方向に駆動する垂直駆動手段18と、垂直駆動手段18を水平方向に駆動する水平駆動手段11と、水平駆動手段11を垂直軸線17周りに回転駆動する回転駆動手段と、を備える。垂直駆動手段18にエンドエフェクタ22の端部が接続され、水平駆動手段11に垂直駆動手段18の端部が接続される。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板の一括搬送および１枚の基板の枚葉搬送の切換えに要する時間を短縮することができ、構成も簡略化できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬出入機構４は、複数枚の基板Ｗを積層状態で一括して保持するバッチハンド４０と、このバッチハンド４０を進退させるバッチハンド進退機構と、１枚の基板Ｗを保持する枚葉ハンド３９と、この枚葉ハンド３９を進退させる枚葉ハンド進退機構と、バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベース４１と、保持ベース４１を上下動させる昇降ブロック４３と、前記保持ベース４１を鉛直方向に沿う旋回ブロック４２とを含む。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送時間を十分に短縮できる基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置を提供する。
【解決手段】インデクサブロックおよび処理ブロックからなる基板処理装置において、インデクサブロックと処理ブロックとの間で、基板ＷがインデクサロボットＩＲにより搬送される。インデクサロボットＩＲは上下に並ぶように設けられた複数のハンド要素２６０を備える。ハンド要素２６０間の距離は、インデクサブロックに搬入される基板Ｗが収納されたキャリアの基板収納溝間の距離と等しい。また、インデクサブロックおよび処理ブロック間に設けられる基板載置部ＰＡＳＳ２の上下に隣接する支持板５１ａ間（および支持板５２ａ間）の距離は、ハンド要素２６０間の距離の２倍である。 （もっと読む）

【課題】ワーク搬送路に沿って並ぶ複数の工程エリアに夫々設けられたロボットにより、ワークに対して複数の作業工程を順に実行するものにあって、全体の小型化を図る。
【解決手段】ワークＷが搬送されるワーク搬送路１３に沿って、ワークＷに対する作業を順に行うロボット１２を備える複数個の作業ステーション１４〜１７を配置して生産システム１１を構築する。ロボット１２を、直線移動レール１８の下面側に自在に移動される移動体の下面部にベースを連結し、そのベースの下面に水平旋回アーム２１を垂直軸Ｊ１を中心に旋回するように取付け、水平旋回アーム２１の先端面に昇降体を上下動するように取付け、この昇降体の下面側に手首部を垂直軸を中心に同軸回転するように取付け、手首部にワークＷを把持するための作業用ツールを取付けて構成する。 （もっと読む）

【課題】ロボットによる作業を行う生産システムにあって、全体をコンパクトに配置しながら、比較的低コストで構築することを可能とし、しかも人に対する安全性を高める。
【解決手段】ロボット１２の直動軸を構成する直線移動レール１３の片側に、ロボット１２がワークＷに対する作業を行う複数個の作業ステーション１４〜１６を配置して生産システム１１を構築する。ロボット１２を、直線移動レール１３の下面側に自在に移動される移動体の下面部にベースを連結し、そのベースの下面に水平旋回アーム２１の基端部を垂直軸Ｊ１を中心に旋回するように取付け、水平旋回アーム２１の先端面に昇降体を上下動するように取付け、この昇降体の下面側に手首部を垂直軸Ｊ２を中心に同軸回転するように取付け、手首部にワークＷを把持するための作業用ツールを取付けて構成する。 （もっと読む）