【課題】駆動信号を無駄に長くすることなく従来よりも微振動回数を増加させることができ、より効果的に液体の増粘を抑制することが可能な液体噴射装置、および、その制御方法を提供する。
【解決手段】噴射駆動パルスＤＰは、インクの噴射に伴う圧力振動を制振させる制振要素ｐ１４を含み、この制振要素は、前段の第１制振要素ｃａ１、および、後段の第２制振要素ｃａ２を有し、この第２制振要素は、補助微振動駆動パルスＣＰとしての使用が可能である。 （もっと読む）

【課題】分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理する。
【解決手段】平板状の圧電プレートの第１の主面Ｓ１に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝５０３，５０４を交互に形成し、複数の第１の溝の内壁面に第１の電極５０５を形成し、複数の第２の溝の内壁面に第２の電極５０６を形成し、複数の第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極８０２と、複数の第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極８０３と、を形成し、第１の共通電極と第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、第１の溝と第２の溝とを仕切る隔壁５１３を分極し、第１の電極が第１の溝ごとに分離されかつ第２の電極が第２の溝ごとに分離されるように、第１及び第２の共通電極を除去する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪み量の大きい圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１０、弾性膜５０、密着層５６、電極６０を形成する工程と、電極６０の上方に、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含む前駆体溶液を塗布して塗布膜を形成する工程と、塗布膜を実温１６５℃以上１８５℃以下の温度で加熱する乾燥工程と、乾燥工程の後、実温３３０℃以上４４０℃以下の温度で加熱する脱脂工程と、脱脂工程の後、脱脂した塗布膜を加熱して結晶化させ圧電膜７２を形成する結晶化工程、を具備し、所定厚さの圧電層７０を形成する。 （もっと読む）

【課題】印刷装置における設計の自由度の向上と、配線の簡易化との両立。
【解決手段】信号生成送信回路２０は、信号生成回路２３Ａ〜２３Ｈにおいて２種類のクロックによるデータを生成する。クロック乗り換え回路２６Ａ〜２６Ｈは、その２種類のクロックによるデータを１種類のクロックに乗り換えさせて、クロックを共通化する。シリアライザー２８は、そのクロックが共通化されたデータをシリアルデータにシリアライズすると共に、デシリアライザー３１２に入力する。デシリアライザー３１２は、シリアルデータを受信すると共にデシリアライズする。ヘッド３３Ａ〜３３Ｈは、デシリアライズされたパラレルデータに基づきインクを吐出する。 （もっと読む）

【課題】強誘電体層中の金属原子がシリコン層に拡散することを抑制または防止して、小型化および特性の向上を図ることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に形成された酸化シリコン層５Ｂと、酸化シリコン層５Ｂ上に形成された拡散防止膜７０と、拡散防止膜７０上に設けられた圧電素子６とを含む。シリコン基板２にはインク溜まりとしての加圧室６２が形成されており、その天面部の薄いシリコン層５Ａと酸化シリコン層５Ｂとが振動膜５を構成している。圧電素子６は、拡散防止膜７０に接する下部電極７と、下部電極７上に設けられた圧電体層８と、圧電体層８上に設けられた上部電極９とを含む。拡散防止膜７０は、圧電体層８中の金属原子の拡散を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの圧電素子に電圧を印加する経路から絶縁膜を省略することができ、製造プロセスを簡略化できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インクを加圧してノズル１１から吐出させる複数のアクチュエータ２０とを備えている。アクチュエータ２０は、絶縁層の上に設けられた圧電素子と、圧電素子に電気的に接続された共通電極と、圧電素子に電気的に接続されるとともに共通電極と協働して圧電素子を挟み込んだ個別電極と、を含んでいる。全てのアクチュエータ２０の共通電極は、絶縁層に設けられた共通した第１の通電パターン３０に電気的に接続されている。全てのアクチュエータ２０の個別電極は、絶縁層に設けられた複数の第２の通電パターン３１に個別に電気的に接続されている。第１の通電パターン３０および第２の通電パターン３１は、絶縁層の上で互いに重なり合うことなく離れている。 （もっと読む）

【課題】ヘッド部材間の隙間に充填される接着剤により生じる不具合を防止する。
【解決手段】複数の基板を層畳して構成され、液体吐出面に形成されたノズルから液体を噴射するヘッド本体と、前記液体吐出面とは反対側の面で前記ヘッド部材に固定されるヘッドケースと、を備える複数のヘッド部材と、前記ヘッド部材が前記吐出面側の部位で位置決め固定される固定板と、前記固定板に固定されたヘッド部材と他のヘッド部材との隙間に所定の高さにまで充填し硬化された接着剤からなる補強部と、を有し、前記ヘッドケースの側面には、段部が設けられており、前記補強部の最上部が前記段部よりもノズル側にある構成としてある。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される積層体における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性の高い圧電体素子を提供する。
【解決手段】圧電体素子（10）は、基板(12)上に、第１の電極(14)が形成され、その上に第１の圧電体膜(16)が形成される。さらに第1の圧電体膜(16)の上に金属酸化物膜(18)が積層され、金属酸化物膜（18）の上に金属膜(20)が積層して形成される。金属膜（20）の上に第２の圧電体膜（22）が形成され、その上に第２の電極(24)が積層して形成される。金属酸化物膜（18）と金属膜（20）を積層してなる中間層（26）の厚みと応力値の積が１００Ｎ／ｍ^２未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】シリコン層を含む可動部の変位を大きくすることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に形成された酸化シリコン層５Ｂと、酸化シリコン層５Ｂ上に形成された拡散防止膜７０と、拡散防止膜７０上に設けられた圧電素子６とを含む。シリコン基板２にはインク溜まりとしての加圧室６２が形成されており、その天面部の薄いシリコン層５Ａと酸化シリコン層５Ｂとが振動膜５を構成している。圧電素子６は、拡散防止膜７０に接する下部電極７と、下部電極７上に設けられた圧電体層８と、圧電体層８上に設けられた上部電極９とを含む。シリコン基板２は、主面結晶方位（１００）のシリコン結晶からなる。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が大きい液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッド１であって、圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０、８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧を印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０、さらにその後に駆動電圧と逆極性の電圧を印加したときの、変位量の最小値をＺ_ｍｉｎとしたときに、（Ｚ_０−Ｚ_ｍｉｎ）／（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）が０．０８以上０．４５以下を満たす。 （もっと読む）