【課題】ノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐久性に優れ、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで酸化物からなる耐吐出液保護膜１３を連続して形成し、耐吐出液保護膜１３の上に撥水膜１４を形成した。また、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜１２を連続して設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。 （もっと読む）

【課題】簡便な電位制御により、ノズルプレート等の被処理物に対しそれぞれに適した重合膜の生成および重合膜の表面改質が容易に行なえる、プラズマ装置を提供する。
【解決手段】プラズマ装置３０は、内部の圧力およびガス雰囲気を調整可能なチャンバー３１と、電力を供給する高周波電源３４と、チャンバー３１内に設けられ、高周波電源３４に接続された高周波電極３３およびアース３８に接続されノズルプレート２０を載置するための接地電極３６を有する放電電極と、を備え、アース３８と接地電極３６との間に、可変コイル４０ａおよび可変コンデンサー４０ｂを有する電位制御部４０をさらに備えていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 吐出口が設けられた部材の撥水材の凝集による凹みを抑え、かつ撥水性の優れた吐出口面を形成し、高密度、高品質な印字を実現するインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 基板上に光カチオン重合性樹脂材料を含む光カチオン重合性樹脂層を形成する工程と、光カチオン重合性樹脂層をパターン露光し吐出口を含む微細パターンの潜像を形成する工程と、プラズマ処理装置を用いた表面処理により該樹脂層表面に官能基を導入する工程と、該光カチオン重合性樹脂層上に、撥水材を含む撥水層を形成する工程と、を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】エッジ部に欠損が生じても、侵食による空洞部の発生が抑制されたシリコンノズル基板を得る。
【解決手段】シリコン基板４４を貫通するノズル孔２１と、ノズル孔２１の内壁面１４を覆うシリコン基板４４の表面を加熱して形成された熱酸化シリコンからなる第１の液滴保護膜４１と、内壁面１４における第１の液滴保護膜４１上及び液滴を吐出する側の面である吐出面１５に形成された第２の液滴保護膜４２と、を備えるシリコンノズル基板１であって、第１の液滴保護膜４１の膜厚は、内壁面１４おける第２の液滴保護膜４２の膜厚の１倍以上であることを特徴とするシリコンノズル基板１。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドを構成する流路板に対する接合剥れが発生しにくいノズル板を提供する。
【解決手段】複数の加圧液室及び加圧液室に液体を供給する液体供給路を形成した流路板に対して接合され、各加圧液室と連通して液体を吐出する複数のノズル孔４１を備え、液滴吐出面４０Ａにおいて最も外側の列に設けたノズル４１のエッジ部から、少なくとも流路板における加圧液室及び液体供給路よりなる流路構造の形成箇所の端部まで板厚が減少する板厚漸減面４２を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】従来の検査装置では、検査を効率化することが困難である。
【解決手段】ノズルプレート１１のノズル面側とは反対側からノズル孔を撮像する第１撮像装置２１ａと、第１撮像装置２１ａの光軸に対して同軸であり、第１の波長成分の光でノズルプレート１１を照明する第１照明２３ａと、ノズル面側から、ノズル面を撮像する第２撮像装置２１ｂと、第２撮像装置２１ｂの光軸に対して同軸であり、第２の波長成分の光でノズル面を照明する第２照明２３ｂと、第３の波長成分の光で、第２撮像装置２１ｂの光軸に対して傾斜した方向からノズル面を照明する第３照明と、第１撮像装置２１ａでの第１の波長成分の画像と第２の波長成分の画像とを合成して第１検査画像を生成し、第２撮像装置２１ｂでの第２の波長成分の画像と第３の波長成分の画像とを合成して第２検査画像を生成する画像処理装置２６と、を有する、ことを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】インク保護膜が剥離しにくく、接着不良を起こしにくいシリコンノズル基板を得る。
【解決手段】シリコン基板４４を貫通させて形成したノズル孔２１を有し、吐出面１５側からノズル孔２１を介してインクの液滴を吐出するシリコンノズル基板１であって、吐出面１５は平面視でノズル孔２１を含み表面に撥水膜４３が形成されている撥水領域１１と撥水領域１１を囲む環状の領域である非撥水領域１２とに区画されており、撥水領域１１には撥水膜４３とシリコン基板４４との間にインク保護膜４１が形成されており、非撥水領域１２にはインク保護膜４１が薄く形成されているか又は全く形成されておらず、シリコン基板４４の端面１３にはインク保護膜４１が全く形成されていないことを特徴とするシリコンノズル基板１。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって高精度で液滴を吐出できる吐出ヘッド及び吐出装置、その吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル孔２２はシリコン基板やガラス基板等の無機基板に形成されるので、位置精度が高いだけではなく、耐久性も高い。吐出ヘッド２０の吐出口２３が位置する表面には、ダイヤモンド薄膜３２が形成されているので、吐出ヘッド２０の耐久性が高いだけでなく、撥液性も高い。吐出液が吐出ヘッド２０表面で広がらないので、吐出液の吐出精度が高い。 （もっと読む）

【課題】相異なるノズル列のノズルから噴射された液体の着弾位置の距離を簡易な構成で低減する。
【解決手段】記録ヘッド２４は記録紙２００に対してＸ方向に相対移動する。Ｙ方向に配列する複数のノズルＮを含む第１ノズル列Ｌ1と、Ｙ方向の位置が第１ノズル列Ｌ1の各ノズルＮとは相違する複数のノズルＮをＹ方向に配列した第２ノズル列Ｌ2とが、Ｘ方向の距離ｄをあけて記録ヘッド２４の吐出面２６に並列に形成される。第１ノズル列Ｌ1の第１ノズルＮ1から噴射されたインクで記録紙２００に形成されるドットＤ1と、第２ノズル列Ｌ2の第２ノズルＮ2から噴射されたインクで記録紙２００に形成されるドットＤ2とのＸ方向における中心間の距離が距離ｄを下回るように、第１ノズルＮ1と第２ノズルＮ2とは相異なる寸法に形成される。 （もっと読む）

【課題】親水処理の為の専用装置無しにフォトリソグラフィーにより容易に親水被膜を形成する方法及びその方法により形成された親水被膜を提供すること。
【解決手段】１）第一のカチオン重合性樹脂と第一の光酸発生剤とを含む第一の被覆樹脂層を基材上に形成する工程と２）主鎖に酸により分解可能な結合を含む第二のカチオン重合性樹脂と紫外線を含む活性エネルギー線を照射することによりメチド酸を発生する第二の光酸発生剤とを含む第二の被覆樹脂層を該第一の被覆樹脂層に積層する工程と３）該第一及び該第二の被覆樹脂層に該活性エネルギー線を露光し現像することで該第一及び該第二の被覆樹脂層を硬化して被膜を形成する工程と４）該被膜を熱処理することで該被膜表面を親水化して親水被膜を形成する工程とを含む親水被膜の形成方法および親水被膜。 （もっと読む）