【課題】親水処理の為の専用装置無しにフォトリソグラフィーにより容易に親水被膜を形成する方法及びその方法により形成された親水被膜を提供すること。
【解決手段】１）第一のカチオン重合性樹脂と第一の光酸発生剤とを含む第一の被覆樹脂層を基材上に形成する工程と２）主鎖に酸により分解可能な結合を含む第二のカチオン重合性樹脂と紫外線を含む活性エネルギー線を照射することによりメチド酸を発生する第二の光酸発生剤とを含む第二の被覆樹脂層を該第一の被覆樹脂層に積層する工程と３）該第一及び該第二の被覆樹脂層に該活性エネルギー線を露光し現像することで該第一及び該第二の被覆樹脂層を硬化して被膜を形成する工程と４）該被膜を熱処理することで該被膜表面を親水化して親水被膜を形成する工程とを含む親水被膜の形成方法および親水被膜。 （もっと読む）

【課題】吐出品質と信頼性が向上したシリコンノズルプレートを得る。
【解決手段】第１の酸化シリコン膜４１を挟んで貼り合されたシリコン支持基板４６とシリコン層４８とを含むＳＯＩ基板４０のシリコン層４８及び第１の酸化シリコン膜４１をエッチングしてシリコン支持基板４６に達するノズル孔２１を形成する第１工程と、ＳＯＩ基板４０を加熱して、ノズル孔２１の内壁面１４を含むシリコン層４８の表面に第２の酸化シリコン膜４２を形成し、かつ第１工程により露出したシリコン支持基板４６の表面に第３の酸化シリコン膜４３を形成する第２工程と、ＳＯＩ基板４０のシリコン層４８側の面に支持部材５５を貼り合せる第３工程と、ＳＯＩ基板４０をシリコン支持基板４６側から薄板化して、シリコン支持基板４６を除去する第４工程と、第３の酸化シリコン膜４３を除去してノズル孔２１を開口させる第５工程と、を有するシリコンノズルプレート１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】接着剤によって圧電素子にノズルプレートを接着したとき、この接着剤が圧力室内に、想定以上にはみ出さないインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルを有するノズルプレートと、ノズルに対応する複数の圧力室と、この圧力室に隣接して設けられるとともに圧力室を加圧してノズルから液を吐出させる駆動素子と成る側壁と、を有する圧電素子と、圧電素子が接着される基板と、圧電素子を囲むように基板に載置される枠体と、を具備し、圧電素子の一端面側には溝部が形成され、ノズルプレートは、側壁の上端部に塗布するとともに溝部に充填させた接着剤で圧電素子に接着されたインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】連続した長期間の高周波駆動において、高印字スピードで、高デューティで、記録を実行する場合においても、発生するインクミストを親水部に留めておき、インク滴の吐出口への引き込みを防止するインクジェットヘッド及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、液体を吐出するための吐出口および前記吐出口と連通する液体流路のパターンを形成し表面に撥水処理が施された流路形成部材とを含むインクジェットヘッドであって、前記インクジェットヘッドの吐出口を有する面に、撥水処理が施されている撥水領域と、前記流路形成部材内部に底を有し表面に撥水処理が施されていない窪みとを複数有することを特徴とするインクジェットヘッド。およびインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】撥水材の凝集による吐出口が設けられた部材の凹みを抑え、撥水性の優れた吐出口面を有し、高密度、高品質な印字を実現するインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】基板上に光カチオン重合性樹脂材料を含む光カチオン重合性樹脂層を形成する工程と、光カチオン重合性樹脂層をパターン露光し吐出口を含む微細パターン潜像を形成する工程と、光カチオン重合性樹脂層上に光カチオン重合性樹脂材料と反応し結合を形成し得る撥水材を含む撥水層を形成する工程と、光カチオン重合性樹脂層を現像し光カチオン重合性樹脂層の非露光部を除去し、非露光部分に対応する撥水層部を除去し微細パターンを形成する工程と、加熱処理により光カチオン重合性樹脂層を硬化して微細パターンが設けられた部材とし、光カチオン重合性樹脂材料と撥水材との反応を促進させる工程とを含むインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】高価な熱気化機を有するプラズマ重合装置を必要としない、安価に製造することができる撥水膜の形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基材上に、常温大気圧下でガスである原料を用いて、Ｓｉ−Ｏ結合を主として、Ｓｉに疎水性置換基を直接接合された薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記薄膜形成工程で得られた薄膜に励起光を照射し、前記疎水性置換基は残存させて前記薄膜にＯＨ基を有するようにする照射工程と、該照射工程で得られた薄膜上にシランカップリング剤を塗布する塗布工程と、を有するように形成する。または、基材上に、Ｓｉ−Ｏ結合を主として、Ｓｉに疎水性置換基を直接接合された薄膜を塗布して焼成することで形成する薄膜形成工程と、前記照射工程と、前記塗布工程と、を有するように形成する。 （もっと読む）

【課題】インク漏れを防止できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドの製造方法において、インクジェットヘッドは、圧力室が設けられた基材と、前記圧力室の内面を覆って形成された電極と、前記圧力室を塞ぐように前記基材に取り付けられるとともに、前記圧力室に向かって開口するノズルが設けられたノズルプレートと、を備える。まず、前記ノズルプレートに保護フィルムを貼り付ける。前記保護フィルムと前記ノズルプレートとを貫通する前記ノズルを形成する。前記圧力室内の前記電極と、前記圧力室に面する前記ノズルプレートの内面と、前記ノズルの内面と、前記保護フィルムの外面とを覆う保護膜を形成する。前記保護フィルムの外面の前記保護膜を除去する。前記保護フィルムを除去し、前記保護膜よりも濡れ性が低い前記ノズルプレートの外面を露出させる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット印刷ヘッド用の開口プレートであって、所望の放射率をもたらし、放射電力損失を低減することができる、改善された開口プレートの提供。
【解決手段】第１放射率を有する第１層１２と、第２放射率であって、第１放射率が第２放射率よりも高い第２放射率を有し、第１層の上に配置される第２層１４と、接触角を制御するコーティング層を含む第２層の上に配置される少なくとも１つの追加層１８とを含む、開口プレート１０。 （もっと読む）

【課題】吐出口がフォトリソグラフィー技術を用いて形成可能であり、記録速度の高速化を図り主滴と副滴の着弾位置のずれを抑え、画像の高品質化を実現できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】複数の吐出口から記録媒体に対して液滴を吐出するインクジェット記録装置において、明細書中に定義される平面の法線が、該記録媒体に記録する際の該記録媒体に対するインクジェット記録ヘッドの相対移動方向を向いて各吐出口の軸線に対して傾斜しているインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、基板上に感光性樹脂材料を塗布し感光性樹脂層を形成する工程と、該感光性樹脂層にその感光性樹脂層表面に対して傾斜する面を有する凹みを形成する工程と、該傾斜する面に該複数の吐出口を形成する工程とを含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】吐出面に対するワイパやマスク等の部材からの圧力のばらつきを軽減する。
【解決手段】吐出面１０ａに凹部１４ｂが形成されており、凹部１４ｂの底部１４ｂ３に吐出口１４ａが開口している。凹部１４ｂを含む吐出面１０ａの全体（吐出口１４ａを除く）に、撥インク膜１２ｋが形成されている。凹部１４ｂは、間隔ｄ１の間隔ｄ２に対する大小関係が間隔ｘ１の間隔ｘ２に対する大小関係と同じになるように、底部１４ｂ３の中心が吐出口１４ａの中心に対して偏心して配置されている。 （もっと読む）