【課題】 ヘッド構造、製造に与える制約が少なく、フォトリソグラフィーの工程で膨張する内気を効率よく排出して高精度に形成された吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まりよく製造する。
【解決手段】 流路壁部材となる流路壁部材５が設けられた基板１を用意する工程と、感光性樹脂からなり吐出口部材となる樹脂層６ａと、流路壁部材５と、を流路８となる空間を内側に包むように接合する工程と、空間と外気とが連通するように、樹脂層に貫通孔７を設ける工程と、樹脂層６ａを部分的に露光する工程と、露光が行われた樹脂層６ａを加熱する工程と、加熱が行われた樹脂層６ａから露光が行われなかった部分を除去して吐出口７を樹脂層に形成して吐出口部材を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ノズル板のノズルとなる孔をプレス加工で形成するときにノズル板が塑性変形して接合品質や信頼性が低下する。
【解決手段】ノズル板１は、プレス加工により形成された複数のノズル１１が配列された複数のノズル列１２Ａないし１２Ｄを有する金属板（ノズル基材）３０１で形成され、金属板３０１の両面には、ノズル板３０１に対し圧縮応力を有する膜３６０、３６１が形成され、膜３６０、３６１の厚さは、流路板２と接合される液室面側の膜３６１の方が液体吐出面側の膜３６０よりも厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】親水性のノズル孔内面と撥水性のノズルプレート表面（吐出面）との境界線を精度良く形成することで、吐出精度を向上させる。
【解決手段】基板の第１の面のノズルを形成すべき位置に非貫通状態の凹形状を形成する工程と、凹形状の表面に第１の膜３００を形成する工程と、第１の面の反対面である第２の面にエッチング処理を施し、第１の膜３００を凸形状に露出させる工程と、第２の面に第２の膜３４０を形成する工程と、第１の膜３００の凸形状の一部が貫通するまで第１の膜３００および第２の膜３４０をエッチングし孔部を形成する工程と、第２の面側表面の少なくとも孔部の開口部３５０周辺に撥水性３４２を付与する工程と、を備えたことを特徴とするノズルプレートの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】生産性の高いインクジェットヘッドと硬化性の高いインク組成物とを用いた場合であっても、高い吐出安定性を示し、高精細な画像が得られるインクジェット記録方法、及び、該インクジェット記録方法により記録された印刷物を提供すること。
【解決手段】インク吐出側の面が親インク処理されたノズルプレートを有するインクジェットヘッドを用いて、重合性化合物及び重合開始剤を含み、かつ表面張力が３４．０〜４０．０ｍＮ／ｍの範囲内であるインク組成物を吐出し、被記録媒体上に画像を形成する画像形成工程、及び、吐出されたインク組成物に活性放射線を照射してインク組成物を硬化する硬化工程、を含むことを特徴とするインクジェット記録方法、並びに、前記インクジェット記録方法により記録された印刷物。 （もっと読む）

【課題】既知の撥油性低接着性プリントヘッド前面コーティングに特徴的な表面特性は、プリントヘッド加工プロセス中に加えられる典型的な温度まで加熱すると、インクジェットプリントヘッド前面の汚れを可能な限り減らすのには足りない状態まで低下する。
【解決手段】撥油性低接着性コーティングが、インクジェットプリントヘッド前面の表面に配置される場合、紫外線ゲルインクの液滴、または固体インクの液滴は、４５°よりも大きな接触角と、約３０°よりも小さな低い滑り角を示す。前記撥油性低接着性コーティングは、熱に安定であり、表面の接触角および滑り角は、プリントヘッドの加工および製造中に、コーティングを１８０℃〜３２０℃の範囲または略この範囲の高温、および１００ｐｓｉ〜４００ｐｓｉの範囲または略この範囲の高圧にさらした後、ほとんど分解していないことを示す。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィー法の紫外線照射工程において、ノズル孔となる位置のノズル形成層の半硬化又は硬化を防止し、不良品の発生を防止することができるインク吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路壁５３により形成され、インク加熱要素５２を含む空間に紫外線を吸収する樹脂を注入し、当該樹脂で流路壁５３を覆い犠牲層５４を形成することにしたので、紫外線照射工程において、紫外線が犠牲層５４で吸収され、基板５１で反射する紫外線量を抑制することが可能となり、マスク部５６ａ直下のノズル形成層５５に照射される紫外線量が抑制される。このため、ノズル孔５５ａとなる位置のノズル形成層５５の半硬化又は硬化が抑制され、不良品の発生が防止される。 （もっと読む）

【課題】 複数の吐出口間で吐出口部材の吐出口開口に対応する部分の厚さが異なるように、形状に精度よく形成された吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まり良く得る。
【解決手段】 液体を吐出する吐出口を複数有する液体吐出ヘッドの製造方法において、第１の層と、第３の層に行われるエッチング法によるエッチングに対して前記第３の層より耐性を有する第２の層と、前記第３の層と、がこの順に積層された基板を用意する工程と、前記第３の層を前記エッチング法により部分的にエッチングして前記第２の層を露出させる工程と、露出した前記第２の層の少なくとも一部を除去して前記第１の層の上面の一部を露出させ、前記上面の露出した領域内に第１の前記吐出口を形成し、前記第３の層の上面に第２の前記吐出口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクの吐出精密度を向上したノズルプレート及びこれを備えるインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】第１のシリコン基板１５３と、該第１のシリコン基板１５３とは異なる結晶方位を有し、第１のシリコン基板１５３と接合される第２のシリコン基板１５６とを含み、第１のシリコン基板１５３は第１の貫通ホール１５７ａを有し、第２のシリコン基板１５３は第１の貫通ホール１５７ａと連通しており、第１の貫通ホール１５７ａと異なる構造を有する第２の貫通ホール１５７ｂとを含む。 （もっと読む）

【課題】親水性のノズル内面と撥水性の吐出面の境界を精度よく形成することで、吐出精度とメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】基板の第１の面のノズルを形成すべき位置に非貫通状態の凹形状を形成する工程と、前記凹形状の表面にライナー膜を形成する工程と、前記第１の面の反対面である第２の面にエッチング処理を施し、前記ライナー膜を凸形状に露出させる工程と、前記第２の面に機能膜を形成する工程と、前記凸形状のライナー膜が露出するまで、前記機能膜にエッチング処理を施す工程と、前記第１の面の凹形状に流体を導入するとともに、前記第２の面を処理剤に浸漬して前記露出したライナー膜表面をエッチングしてノズルを形成するウエットエッチング工程とを備えたノズルプレートの製造方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】位置ずれを発生させずに圧力室とノズルを高精度に形成する。
【解決手段】基板にノズルストレート部及びノズルテーパー部の領域を規定するための第１のマスクパターンと前記基板に圧力室に相当する空間部の領域を規定するための第２のマスクパターンとを同時に形成するパターニング工程と、前記第１のマスクパターンに基づいて第１のエッチングを行い、前記基板にストレート状の貫通孔を形成する第１のエッチング工程と、前記第２のマスクパターンに基づいて第２のエッチングを行い、前記基板に前記圧力室に相当する空間部を形成する第２のエッチング工程と、前記第１のマスクパターンに基づいて第３のエッチングを行い、前記圧力室に相当する空間部の前記貫通孔が形成された面のうち、該貫通孔の周辺にテーパー形状を形成する第３のエッチング工程とを備えた液体吐出ヘッドの製造方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）