【課題】基板の全面に対して均一な処理を行えるようにした基板保持具を提供すると共に、その基板保持具を製造するための製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】長尺状の金属プレート１０をプレスすることにより、金属プレート１０の長手方向（Ｘ方向）に複数の波形形状を所定ピッチで形成し、波形形状における山部１１および谷部１２を金属プレート１０の幅方向（Ｙ方向）に沿って弓状に湾曲させた形状の基板保持具４を製造する際、金属プレート１０の長手方向に沿って所定ピッチで波形形状の谷部１２を１つずつ順次プレス形成していくことにより、基板９を保持する谷部１２の湾曲形状と、山部１１の湾曲形状とを順次形成していく。 （もっと読む）

【課題】基板保持用枠体は、大型ガラス基板を載置し、複数枚を積層して搬送あるいは保管に用いられ、搬送時の衝撃や振動に対しての強度が求められると同時に発塵による基板への異物付着や傷による製品の品質不良の発生を防止することが求められる。２メートル角程度の大サイズ基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】少なくとも対向する２辺の金属枠部１１のそれぞれの上面に、基板保持用枠体１０を懸垂するための複数の開口部１７を有する。 （もっと読む）

【課題】梱包物全体の合計厚みの変化に柔軟に対応して、梱包ボックス内に収納された梱包物のがたつきを抑制し、且つ、製品コストを低減する。
【解決手段】梱包ボックス１は、枠体２内に複数のガラス板２０が収納され、両側の開口から板部材３がそれぞれ嵌め込まれている。そして、枠体２及び板部材３の外周にはバンドが巻回されて締め付けられている。枠体２の開口した端部には、Ｚ方向に切り欠かれ、バンド４ａ、４ｂがかけられる溝１０、１１が形成されており、溝１０、１１のＺ方向に関する長さは、板部材３の厚み以上である。 （もっと読む）

【課題】気体を効率的に置換してその作業の迅速化や効率化を図ることができ、容器本体からの蓋体の取り外しを容易にして基板を円滑に加工等できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体１と、容器本体１の開口した正面７に嵌合される蓋体２０と、容器本体１と蓋体２０の間に介在される変形可能なシールガスケット３０とを備え、容器本体１の正面内周にシールガスケット３０用のシール形成面８を形成し、蓋体２０の裏面周縁部にシールガスケット３０用の取付溝２５を形成する。また、シールガスケット３０を、取付溝２５に嵌入される基体３１と、基体３１から突出する延出片３３と、延出片３３の先端部から伸びてシール形成面８に圧接する第一のシール片３５と、延出片３３から突出する第二のシール片３７とから形成し、第二のシール片３７を延出片３３に直交させてシール形成面８に隣接する隣接面９に接触させる。 （もっと読む）