【課題】表面処理装置間の間隔空間において、第１に、基板材を傾斜させて、付着していた処理液を流下させることにより、処理液の混じり合いが防止され、第２に、付着していた処理液を吸液，除去することにより、この面からも、処理液の混じり合いが防止される、表面処理装置のコンベアを提案する。
【解決手段】この表面処理装置１は、処理液Ｂの液槽５と、液槽５内で基板材Ａを液中搬送するコンベア３と、液槽５内で処理液Ｂを液中噴射するスプレーノズル４と、を有しており、コンベア３は、基板材Ａの両側端面を挟んで送る挟みローラー９を備えている。そして、表面処理装置１間の間隔空間Ｄのコンベア３は、凸状形成用の挟みローラー９’を備えており、基板材Ａは、上り傾斜そして下り傾斜して搬送される。更に挟みローラー９’は、吸液性を備えており、挟みローラー９’間にはエアーノズルが配設されている。 （もっと読む）

物品を、それらの向きを変化させることなく、コンベヤの側部に沿って整列させるための整列コンベヤである。このコンベヤは、物品支持ローラを持つコンベヤベルトを有する。ローラは、ベルトが進行するにつれ、ベルト移動の方向に対し傾斜した方向に回転する。ローラは、物品をコンベヤの側部に向けて方向付けるものである。一連の板または回転可能な要素の配列によって形成されたサイドガードは、ベルトと共にベルト移動の方向に進行して、物品を受け取り、それらを接触時に回転させることなく整列させる。 （もっと読む）

【課題】搬送の都度にジョイント機構の着脱を行うことを必要とせず、搬送機構の高低差に関わらず、基板をスムーズに搬送する。
【解決手段】可撓性のあるシート状の基板Ａを浮上させる２以上の浮上ステージ４Ａ，４Ｂと、該浮上ステージ４Ａ，４Ｂにより浮上させられた状態の基板Ａを把持して搬送方向Ｂに移動させる送り機構５Ａ，５Ｂと、浮上ステージ４Ａ，４Ｂを連結する連結部３とを備え、連結部３が、各浮上ステージ４Ａ，４Ｂに取り付けられた固定ローラ９Ａ，９Ｂと、固定ローラ９Ａ，９Ｂ間に、固定ローラ９Ａ，９Ｂの回転軸に平行な軸線回りに揺動可能に取り付けられたリンク１０と、リンク１０に取り付けられた１以上の可動ローラ１１とを備える基板搬送装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】回転軸の撓みを減少させることができて大形のガラス基板等の板状物を搬送することができ、しかも、回転軸を回転させるための駆動力の増大を生じさせない板状物の搬送装置の回転軸支持用の静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、回転軸６の円筒状外周面５に対して隙間９をもって対面する半割円筒状受面１０を有した半割円柱状の軸受本体１１と、半割円筒状受面１０に形成された複数の気体噴出口４１を有していると共に回転軸６の円筒状外周面５と半割円筒状受面１０との隙間９に複数の気体噴出口４１から気体を供給する気体供給手段１３と、相互に滑動自在に接している凸球面１４及び凹球面１５を有しており、凸球面１４及び凹球面１５の相互の滑動により軸受本体１１を揺動自在に支持する軸受支持体１６とを具備している。 （もっと読む）

【課題】この発明はオゾンや熱に対して耐性を備えた金属製の駆動ローラによって基板を損傷させることなく搬送できるようにした基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を所定の角度で傾斜した起立状態で搬送しながら処理する基板の処理装置であって、
チャンバ内に設けられ基板の傾斜方向下方の面を支持する支持ローラと、回転駆動される回転軸１９に取着され傾斜方向下方の面が支持ローラによって支持された基板の下端を支持してその基板を所定方向に搬送する駆動ローラ１７を具備し、
駆動ローラは、回転軸に取着される金属製の輪体５８と、輪体の外周面に設けられ基板が搬送方向上流側の駆動ローラから乗り移るときに加わる力で弾性的に変形する金属製の板状部材６１とによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】 装置の設置面積を小さくすることができ、しかも板状の搬送対象物を、この搬送対象物の縁部を除く残余の部分を損傷から保護するための保護体を用いなくても、前記残余の部分を損傷させることなく、搬送することができる搬送装置および搬送方法を提供する。
【解決手段】 支持手段１５は、液晶表示モジュール２を、略水平な搬送経路に沿って移動可能に支持する。支持手段１５は、液晶表示モジュール２を、搬送経路に垂直かつ水平な搬送幅方向Ａに関して傾斜させた状態で支持する。支持手段１５は、搬送経路に沿って設けられる第１および第２支持部２３，２４を備える。液晶表示モジュール２は、第１支持部２３によって、その下縁部１６が支持され、第２支持部２４によって、その上縁部１７が支持される。 （もっと読む）

実質的に収容された設備の部品または複数の部品、オプションとしてプラント設備の燃料電池バランス、を提供するシステムであり、該システムは輸送とユーザ位置での保管のために利用可能である。システムは、機材と、該機材と関連するハウジングであって、機材の一部が挿入される床材中に開口を有するハウジングと、支持体を有する設備の部品または複数の部品とを有し、機材は、特にハウジング中に挿入された機材部分上で支持体の動きを受け入れる。設備の動きはハウジングの内側と外側に配置されたポイントの間で機材の長手方向に沿って起こる。設備がその中に配置された後に機材は、ハウジングから取り外され、取り外しの結果として設備の支持体が実質的にハウジングのシールを助ける。
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【課題】薄葉状印刷配線板又は銅張積層板の水平搬送、洗浄若しくは化学処理におけるロール間への落下、巻き込まれるのを防止し、薄葉状印刷配線板又は銅張積層板を容易に水平搬送、洗浄若しくは化学処理可能な洗浄・化学処理装置を提供する。
【解決手段】薄葉状の印刷配線板又は銅張積層板を水平搬送若しくは水平搬送と同時に液を噴霧する洗浄・化学処理装置用搬送コンベアにおいて、ロール又はホイールに羽状の薄板を有する搬送具を、被搬送板４の上面に配置した搬送機構を有する洗浄・化学処理装置用搬送コンベア。 （もっと読む）

【課題】搬送物をスムーズに搬送することができ、かつ搬送物を静止させることができる搬送用ボールユニットを得る。
【解決手段】搬送用ボールユニット１０は、受け部材１４と蓋部材３６とで構成されるケース１２を含む。受け部材１４は、凹曲面状の底面部１６を有し、底面部１６に複数の受けボール１８を敷き詰め、その上にメインボール２０を配置する。底面部１６の中央部を中心とする円環状の底面部分１６ａにおいて、受けボール１８がメインボール２０からの荷重を受け、その他の部分１６ｂ，１６ｃでは、受けボール１８とメインボール２０とは離れている。底面部１６の中央部からメインボール２０に向かって、制動部材６０が往復移動可能に配置される。制動部材６０がメインボール２０に押し付けられることにより、メインボール２０が蓋部材３６に押し付けられ、メインボール２０の回転は抑止される。 （もっと読む）

【課題】傾斜搬送経路での被搬送物の滑走搬送を、被搬送物の形状や重量などに関係なく、常に所定の速度またはそれ以下の速度で確実に行え、高速で搬入された被搬送物は所定の速度に減速し得るコンベア設備を提供する。
【解決手段】コンベアフレーム２３に複数のローラ２５を遊転自在に配設した傾斜ローラコンベア２１を有するコンベア設備１０である。複数のローラの下方に駆動ベルト４０を配設し、駆動ベルトが下方から当接される回転体４１をコンベアフレーム側に遊転自在に設けた。回転体に、ワンウェイクラッチ４７を介して輪体４８を設け、輪体は少なくとも１個のローラに下方から当接させた。ワンウェイクラッチは、駆動ベルトにより回転される回転体に対して輪体が高速回転することを阻止するように構成した。 （もっと読む）