【課題】アーチ状に配置された複数の搬送ローラを一本の駆動軸により一括で回転駆動させる搬送装置において、回転伝達部品の点数を減らす。
【解決手段】複数の搬送ローラ１１０Ａ〜１１０ＥはワークＷが搬送される方向に沿ってアーチ状に配置される。駆動軸１２０は曲げ弾性を有し、複数の搬送ローラ１１０Ａ〜１１０Ｅのアーチ状の配置に追従するように弾性変形の範囲内でアーチ状に撓まされている。複数の第１歯車１３０Ａ〜１３０Ｅは各搬送ローラ１１０Ａ〜１１０Ｅに対応して駆動軸１２０に軸方向に並んで固定される。複数の第２歯車１４０Ａ〜１４０Ｅは各搬送ローラ１１０Ａ〜１１０Ｅの回転軸に固定され、第１歯車とともに駆動軸１２０の回転を各搬送ローラに伝達する。複数の軸受１５０Ａ〜１５０Ｇはアーチ状に撓まされた駆動軸１２０に追従するようにアーチ状に配置され、駆動軸１２０を軸支する。モータ１６０は駆動軸１２０を回転駆動する。 （もっと読む）

【課題】 組み立て時の品質のばらつきの発生を防止するとともに、メンテナンスを省略する。
【解決手段】 フレームと、ラインシャフトと、マグネット駆動伝達機構と、駆動部と、を備え、駆動部は、ラインシャフトの下方近傍に且つ前記フレームの側方に配置される駆動モータと、駆動モータの駆動軸が内嵌される第１のギヤ及び前記ラインシャフトを挿通する軸孔を有する回転軸に外嵌される第２のギヤを少なくとも有するギヤ機構と、前記ギヤ機構を収納するとともに、収納される前記ギヤ機構の前記第１のギヤに前記駆動モータの駆動軸が嵌合された状態で前記駆動モータに固定されるハウジングと、から構成される。 （もっと読む）

【課題】先行技術から出発して、公知の連続基盤処理装置を改良することである。
【解決手段】基盤を処理するための基盤処理装置であって、室壁１によって画成される装置室並びに、装置室の内部に少なくとも一つの基盤処理装置および、搬送方向において相前後して設けられる、基盤の縦置きまたは横置きの搬送のための搬送ローラー３の配置を備える搬送装置を有している基盤処理装置において、直接相前後して設けられる搬送ローラー３の、少なくとも第一のグループにおいて、各搬送ローラー３が、独自の駆動装置６を備えている。 （もっと読む）

【課題】プッシャクッションにより搬入、駆動ローラにより搬出する搬送設備において用いる、搬入出方向が異なる場合にも、高価かつ電気制御が必要な電磁クラッチを使用せず、安価かつ追従性が良いフリー回転が可能な駆動ローラを提供する。
【解決手段】前記駆動ローラはカムクラッチを具備し、該カムクラッチをカムクラッチの内輪を回転させるとカムクラッチのカムがかみ合いカムクラッチの外輪を回転させ前記ワークを搬出方向へ搬出するように組み込んで、前記搬出方向と並行し搬出方向とは反対の搬入方向より前記ワークを前記プッシャクッションで前記駆動ローラに搬入する際は、カムクラッチの内輪をカムクラッチのカムとかみ合わない方向に回転させることにより前記駆動ローラを自由に回転させる。 （もっと読む）

【課題】カセットの搬送過程においても、カセットの姿勢を正常な状態に維持することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置は、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１と、カセット２００の第１側面との間の距離を検知可能なセンサと、センサからの出力に基づいて第１ローラと第２ローラの回転速度を調整する制御部２６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】電力を全く必要としない特性を持ちながら、より省エネ効果が確認できること。
【解決手段】１対のフレーム１１ａ，１１ｂの一方の側に配設されたワーク載置手段２０にワークＷを載せたとき、ワークＷの自重により弾性エネルギー蓄積手段４０は弾性エネルギーを蓄積する。弾性エネルギー蓄積手段４０に対する弾性エネルギーの蓄積は、切り替え手段５０によってワーク載置手段２０の所定の移動位置で解除し、弾性エネルギーの蓄積から弾性エネルギーの放出に切り替える。切り替え手段５０によって弾性エネルギー蓄積手段４０に蓄積した弾性エネルギーを往復動回転変換手段８０で回転運動に変換し、往復動回転変換手段８０を介して無限軌道手段９０で移送ローラ１８及び駆動ローラ１２に回転力を付与する。 （もっと読む）

【課題】磁気式動力伝達手段を採用し摩耗や発塵、接触騒音等を軽減するとともに、組立やメンテナンスを容易にし、破損や表面の損耗を防止するローラコンベヤ装置を提供する。
【解決手段】複数の搬送軸１１０が回転可能に並列配置されており、それぞれの搬送軸１１０に磁気式動力伝達手段１３０を介して駆動軸１２０が搬送軸１１０と直交して設けられたローラコンベヤ装置１００において、搬送軸１１０が、搬送ローラ１１２を支持する中間搬送軸と駆動側端部軸受に支持される駆動側端部搬送軸とを駆動側端部継手によって分割結合可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】搬送ローラを処理槽の外部からより確実に、かつ安定的に駆動する。
【解決手段】 基板処理装置は、基板搬送用の複数の搬送ローラ３０を内部に備えた処理槽１０と、搬送ローラ３０のローラ軸３０ａと同一軸線上に並ぶように処理槽１０の側壁１０３を隔ててその外側に配置されると共に磁気的作用により搬送ローラ３０と一体に回転する駆動軸５０と、当該駆動軸５０を駆動することにより処理槽１０の外側から非接触で搬送ローラ３０を回転駆動するモータ４２等を含む駆動手段とを備え、駆動軸５０および駆動手段が、前記処理槽１０を支持するための支持台１１側に支持されている。 （もっと読む）

【課題】無端ベルトとの間に生じる摩擦力を低減できるコンベアローラ及びこれを用いたベルトコンベア装置を提供する。
【解決手段】一方がエレクトレットからなり他方が導電体からなる内側発電素子２１と外側発電素子２２を軸部材１１と円筒部材１２の内周面に固定し、円筒部材１２の回転によって生ずるこれらの相対運動に伴う静電誘導作用によってこれらに発生する起電力をモータ駆動部３０に入力し、モータ駆動部３０によってモータ４０を駆動する。モータ固定子４１が軸部材１１に固定され、モータ回転子４２が円筒部材１２の内周面に固定されているので、モータ４０が駆動されると、円筒部材１２が回転する。これにより、無端ベルトの周回走行に対する抵抗力を低減でき、ベルトコンベア装置の電力消費量を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】モータやモータ内蔵ローラに対して回転速度が増大する方向に外力が作用しても回転速度を精度良く調整でき、逆起電力の発生を防止可能なモータ用駆動制御装置、並びに、当該モータ用駆動制御装置を備えたモータ内蔵ローラシステムの提供を課題とした。
【解決手段】制御装置１０は、モータ２の回転子１５の回転速度と設定速度とを速度比較部３７で比較する。回転子１５の回転速度が設定速度を基準として設定された基準速度よりも速い場合は、遅延パルス生成部３２において、モータパルス認識部３０からモータパルス信号とクロック信号生成部３１で生成されたクロック信号とに基づき、モータパルス信号に対して位相が遅れた遅延パルス信号が発信される。モータ駆動部３３は、遅延パルス信号に基づき、モータ２への通電を制御する。 （もっと読む）