【課題】安定した搬送性能を有する搬送ローラ及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明は、各種基板（３）を搬送ローラ（４）によって搬送しながら各種処理を行うインライン方式の基板処理システムに用いられる基板搬送装置に関するものである。本発明による基板搬送装置は、基板搬送方向に沿って所定の間隔で配列した複数の搬送ローラ（４）と、前記複数の搬送ローラを部分的に包囲するチャンバ（６０，６２ａ，６２ｂ）と、搬送ローラに連結され、基板搬送ローラに回転駆動力を伝達する駆動機構（７０）と、搬送ローラに連結され、搬送ローラの水平度を調整する水平度調整機構（７１）とを具える。搬送ローラの水平度調整機構及び回転駆動機構はチャンバの外部に位置し、チャンバの外部から搬送ローラの水平度が調整される。 （もっと読む）

【課題】前後棧にレールが係脱可能に組み付けられる流動棚において、加工、組付けが容易で、レールの損傷が避けられ、作業性を向上させた流動棚を供する。
【解決手段】レール２０の端部に組み付け部材３０が着脱自在に装着され、前後棧１１に多数の切り欠き１３ａが形成され、組み付け部材の突起３６を棧１１の切り欠き１３ａに係合されて構成された流動棚。 （もっと読む）

【課題】真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができるローラ搬送装置を提供する。
【解決手段】真空容器内またはクリーンルーム内に形成された搬送路１６の、一側方または両側方に配置されて前記搬送路１６に沿って被搬送物を搬送するローラ搬送装置１０であって、前記真空容器または前記クリーンルームを形成する隔壁１７の外側に駆動源１１が配置され、前記隔壁１７の内側に駆動軸１３および従動軸１４が配置されており、前記駆動源１１により駆動される前記駆動軸１３の回転を前記従動軸１４に伝達する部分と、前記従動軸１４の軸部２１を軸受け支持する部分とに転がり軸受２３，２６が配置されている。 （もっと読む）

【課題】従来のホイールコンベアは、側部フレームに固定軸を通し回転ホイールを取り付けたり、固定されたホイール収納部構造を有しており、搬送や保管に空間一定の空間を取らなければならない課題があった。
【解決手段】側部フレームと、上面にホイールユニット取付溝を設ける板状ステー材と、板状ステー材の上面に設けたホイールユニット取付溝に挿入可能な固定突起を有するホイールユニットとを有し、ホイールユニットが、２つのホイール取付体と、２つのホイール取付体の間に回転自在に設けられるホイールとからなり、側部フレーム間に長手方向に亘って設けられる板状ステー材の上に、ホイールユニットの１つ又は複数を側部フレームの長手方向に列状に着脱自在に取り付けるとともに幅方向に１つ又は複数を並列又は千鳥状に着脱自在に取り付けられるホイールコンベアによる。 （もっと読む）

【課題】基板汚染の原因となるパーティクルを発生させることなく、基板を安定して搬送できるようにする。
【解決手段】基板Ｗを支持するローラ部１８１と、回転軸１８２と、回転軸１８２の一方端側に設けられた第１磁気部材１１とを有する複数の搬送ローラ１８と、各搬送ローラ１８の回転軸１８２の他方端側を回転自在に支持する第１支持部１０１と、第１磁気部材１１に対向する位置に第１磁気部材１１と同一極性の第２磁気部材１３が設けられ、基板搬送方向に直交する方向における基板の中央寄りに配置された各搬送ローラ１８の回転軸１８２の前記一方端側を、第１磁気部材１１と第２磁気部材１３との間の反発力により軸支する第２支持部１０２と、駆動モータとを備え、搬送ローラ１８は第１支持部１０１及び第２支持部１０２に支持され、隣り合う搬送ローラ１８と一定間隔を空けて配置される。 （もっと読む）

【課題】搬送対象を容易に搬送するためのローラユニット及び搬送システムに関し、簡易な構成で、設置の自由度が高く、かつ、各種搬送対象を容易に移動可能なローラユニット及び搬送システムを提供することを目的とする。
【解決手段】搬送対象を搬送するためのローラユニットであって、ローラと、ローラを、複数個、互いに回転軸が並列となり、かつ、互いに近接した状態で回転自在に保持するホルダとを有するローラユニットを複数個、配置することにより搬送対象を搬送するための搬送路を構成する。 （もっと読む）

本発明は、ロール２がジャーナル３を介してころがり軸受５によって軸受台４に軸承され、ジャーナル３を通る少なくとも１つの軸方向のロール穴６を経て冷却媒体をロールに供給可能であり、軸方向のロール穴６に接続するためにロールジャーナル３に圧密に固定可能である、好ましくは弾性スリーブの形をしたシールユニットと、ロール穴６を覆うために軸受台４に固定可能でありかつ冷却媒体供給部に接続可能な少なくとも１つの冷却媒体通路１１、１２を有する軸受台カバー９とを具備する、冷却媒体供給部を特に連続鋳造設備用のロール２に接続するための装置に関する。
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【課題】 ガラス基板の拡大化と洗浄液とによる搬送シャフトの撓みを解消し、基板搬送性能を向上させる枚葉式の基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 ベース板４に設置された２つのシャフト支持部３に支持され、複数のローラ２を具備したガラス基板５を搬送する搬送シャフト１と、搬送シャフト１の中央部に取り付けられた複数のローラ２の内の１つのローラ２及び補助ローラ８と、補助ローラ８を支持する２つの軸受け９と、ベース板４に設置されて、２つの軸受け９を支持する中間支持部７とを含む。 （もっと読む）

【課題】 作業現場の環境の如何にかかわらず、安全かつ迅速にパイプコンベヤの蛇行走行を矯正できるようにしたパイプコンベヤにおけるローリング調整装置を提供する。
【解決手段】 パイプ状に丸めたベルト本体１が左右方向にローリングした際に、ベルト本体１を支承する複数のガイドローラ６の傾斜方向を調整してベルト本体１のローリングを矯正するためのローリング調整用ハンドル８を備えたパイプコンベヤにおけるローリング調整装置において、ガイドロ−ラ６の傾斜方向を調整するローリング調整用ハンドル８の先端を支持プレート２の上部に突出させた。 （もっと読む）

【課題】ローラ本体の軸方向端部と支持部材との間に異物が入り込むことによってローラ本体の回転が阻害されることのない物品搬送用ローラを提供する。
【解決手段】各第１カバー部材１３及び各ブラケット１４の上端部１４ｂによってローラ本体１１の軸方向端部と各ブラケット１４の上端部１４ａとの間にベントゴムＲＶやゴムバリＲＢが入り込むことがないので、ローラ本体１１と各ブラケット１４との相対的な回転が阻害されることがない。即ち、ベントゴムＲＶやゴムバリＲＢによってローラ本体１１の回転が阻害されることがなく、ローラ本体１１上のタイヤＴＡを常に円滑に搬送することができる。 （もっと読む）