【課題】収納部に収納されている物品の清浄度を高く保つ物品収納設備の提供。
【解決手段】収納部２を縦横に並べて複数備えた物品収納棚３と、物品収納棚３の前方の移動空間４を移動して収納部２に対する物品の出し入れを行う物品搬送装置５と、浄化空気を物品収納棚３の後部側から収納部２を通過させて移動空間４を上方側から下方側に流動させるダウンフロー式の浄化空気通風手段６と、物品搬送装置５の作動を制御する制御手段とが設けられている物品収納設備において、収納部２が、物品１２として、物品１２を保持している保持状態の物品保持体１３Ａ、及び、物品１２を保持していない非保持状態の物品保持体１３Ｂを収納自在に構成され、制御手段が、保持状態の物品保持体１３Ａを非保持状態の物品保持体１３Ｂよりも上方側に収納させる形態で物品保持体１３を収納部２に収納すべく、物品搬送装置５の作動を制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ロードポート装置において、ポッドとの間でウエハの挿脱を行うために開口する開口部を略閉鎖するドアと該開口部との間に形成される隙間を通じて、ロードポート装置内部の室から外部に流出する気流の安定化を図る。
【解決手段】ロードポート装置における室を形成し且つ開口部を確定する室壁の開口部内周面と、ドアの外周面と、にて形成されるスリットにおいて、所定の領域で該スリットにおける室側の開口部におけるスリット幅を、当該スリットの長さ（奥行き）方向における他の領域のスリット幅よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】被処理基板に対して処理ユニットを一定の距離に保って、均一な処理を容易に行なうことができる処理装置を提供する。
【解決手段】処理装置は、被処理基板１を搬送するための搬送コロ８と、搬送コロ８を回転可能に支持するためのシャフト３とを備える。処理装置は、被処理基板１に対して処理を行なうための処理ユニット２と、地面から立設するように形成されたベース部材５とを備える。処理ユニット２は、搬送コロ８によって被処理基板１が搬送されるときに処理を行なうように配置されている。シャフト３および処理ユニット２は、共通のベース部材５に支持されている。 （もっと読む）

【課題】パネルを搬送する無端ベルトに滞留した異物を洗浄除去し、洗浄機外部へ排出する機構を備えたパネル洗浄機及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】無端ベルト６によりパネル２を定盤１２上に搬送し、洗浄ノズル１から洗浄液を噴出すると共に、洗浄ヘッド３によりパネル２の表面から異物を洗浄除去するパネル洗浄装置において、パネル表面から除去された異物のうち、無端ベルト６の内面に滞留した異物を洗浄除去するために、パネル２の搬送方向における定盤１２の後端部側に洗浄ノズル１３及び排水路１４を設置した。 （もっと読む）

【課題】
システム内に形成された気流を乱すようなことがない処理システムを提供すること。
【解決手段】
第１搬送装置５０におけるウェハ搬送手段５４と第２搬送装置６０におけるウェハ搬送手段６４の両方が同時に下方向に移動するとき、制御部１３９の制御によって排気ファン１３５〜１３８の排気量が多くなり、これにより清浄エアーのダウンフローが強まるようになっている。第１搬送装置５０におけるウェハ搬送手段５４と第２搬送装置６０におけるウェハ搬送手段６４の両方が同時に下方向に移動した場合に生じる気流の乱れは、このように強められたダウンフローによって吸収される。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム内の清浄度を維持しながら、物品保管状態の清浄度を向上し得るクリーンルーム用の物品保管設備を提供する。
【解決手段】物品収納部１４を棚横幅方向に並べて備える物品保管棚Ｓとその物品保管棚Ｓの前方の搬送車移動空間１５を棚横幅方向に移動する物品搬送車Ｖを備えた物品保管庫Ｗが、クリーンルーム１内に設けられ、搬送車移動空間１５が物品保管棚Ｓよりも棚横幅方向外方に突出する形態で設けられて、その外方突出部１５ｔと空気流動可能に連通する排気用空間１６が、物品保管棚Ｓの横側部に、その物品保管棚Ｓと隔壁体１７にて空気流動不能に仕切られた状態で設けられ、搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔ及び排気用空間１６をクリーンルーム１内と空気流動不能に区分けするように仕切る仕切り壁２５が設けられ、排気用空間１６をクリームルーム１外と空気流動可能に連通するクリーンルーム外連通路１８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーを通って基材を運搬するための基材キャリアーを有するコーティングマシンであって、真空チャンバーの汚染の減少を達成する可動式ガイドレールを有する真空搬送装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバーを通って基材を運搬するための装置、特にその上またはそこに基材が配置される基材キャリアー１を有するコーティングマシンに関するものであり、基材キャリアーが、少なくとも一方の側面に沿って延びる少なくとも１本のガイドレール７を有し、また、ガイドレールが１つまたは、数個の離間ベアリング６によって基材キャリアーから距離を保たれている。 （もっと読む）

【課題】扉を開閉するために必要なスペースを別途設けることなく設置することができ、また、扉を作業用の足場として用いることにより作業性を向上させることができるチャンバの扉開閉機構を提供することを目的とする。
【解決手段】チャンバ１の側面に設けられた開口７を開閉する扉２と、扉２を駆動する駆動装置６０と、を備え、駆動装置６０は、上端部が開口７に沿って移動しながら下端部が開口７に対し離隔及び当接して扉２が開口７を開放及び閉鎖するように該扉２を駆動する、チャンバの扉開閉機構。 （もっと読む）

【課題】真空室内に配置された加工ステージのレイアウトをコンパクトに変更できるように真空用ロボットを構成する。
【解決手段】真空ロボット１０は、機台１１内に４本の駆動軸を同心上に配置する。第１の駆動軸２１は、第１のアーム１２を機台１１に対して旋回可能に連結し、第２の駆動軸２２は、第２のアーム１３を第１のアーム１２に対して旋回可能に連結し、第３の駆動軸２３は、第１のハンド１４を第２のアーム１３に対して旋回可能に連結し、第４の駆動軸２４は、第２のハンド１５を第２のアームに対して旋回可能に連結する。第１の駆動軸２１、第２の駆動軸２２、第３の駆動軸２３、第４の駆動軸２４を、それぞれ独立した駆動源で駆動するとともに、それぞれ磁性流体シール５１を嵌着する。 （もっと読む）

【課題】簡易に構築でき、小型のビークルの搬送を的確に行うことができる小規模の磁気浮上式搬送システムを提供する。
【解決手段】レールトラック上をビークルを磁気浮上させて移動させる小規模の磁気浮上式搬送システムにおいて、高温超電導バルク体４１からなるレールトラックと、磁石４２を搭載し、前記レールトラック上で磁気浮上するビークル４３と、前記レールトラックの所定の箇所で前記ビークル４３を加速する空気加速機とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）