説明

国際特許分類[B65G49/00]の内容

処理操作;運輸 (1,245,546) | 運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い (154,615) | 運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステム;空気管コンベヤ (20,388) | 他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置 (2,620)

国際特許分類[B65G49/00]の下位に属する分類

国際特許分類[B65G49/00]に分類される特許

21 - 30 / 196


【課題】
電子デバイスの製造設備内で基板キャリアを搬送するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】
キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含むと共に、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備の第1の基板ローディング・ステーションから第2の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送する要求を受信し205、少なくともこの搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第1の基板ローディング・ステーションから第2の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの1つを割り当て207、第1の基板ローディング・ステーションからキャリアを運び209、第2の基板ローディング・ステーションへキャリアを運ぶ211ステップを含む。 (もっと読む)


【課題】バルブ閉鎖の全長に亘って均等な接触力、密閉力のフラップトランスファーバルブを提供する。
【解決手段】バルブ閉鎖ビーム4は共通回転軸10の周りに回動できるように軸受け要素27に取り付けられている。回転軸10は第1の開口部1の側面において、第1の密閉面3の平面28上を延びている。バルブ閉鎖ビーム4は閉鎖位置と開放位置との間で、回転軸10の周りに約90度まで回動できる。閉鎖位置ではバルブ閉鎖ビーム4の閉鎖面8は、第1の開口部1をカバーして閉鎖する。開放位置ではバルブ閉鎖ビーム4は第1の開口部1から離れるように回動して、第1の開口部1を開放する。回転軸10は第1の開口面15に向き合う軸受け要素27の片側にあり、シャフト軸12は第2の開口面16に向き合う軸受け要素27の反対側にある。 (もっと読む)


【課題】スロット状の開口部を有するトランスファーバルブであって、保守および修理時に、プロセスチャンバからトランスファーバルブを取り外すことなく、交換可能であり、バルブ閉鎖部の全長に亘って、均等な接触力および密閉力を生成できるトランスファーバルブを提供する。
【解決手段】バルブ閉鎖ビーム4、回転軸受およびシャフト11は気密なバルブハウジング14内でバルブカバー20上に配置され、シャフト11、回転軸受およびバルブ閉鎖ビーム4は、バルブカバー20を切り離して移動させることによって、バルブハウジング14から切り離し可能である。バルブハウジング14内で、シャフト軸に沿って、互いに所定距離離れて分散配置され、そしてバルブ閉鎖ビーム4およびシャフト11が取り付けられた少なくとも3つの軸受要素27によって、回転軸受が形成される。 (もっと読む)


【課題】本発明が解決しようとする課題は、工場建屋サイズ等の制約によらず、工場建設の際に効率的な生産設備のレイアウト設計を可能とすると共に、搬送設備のユニット数や費用を少なくすることが可能な平面型ストッカーを用いた生産ラインを提案するものである。
【解決手段】平板状の枚葉基板に処理を施す複数の処理工程ラインを含む生産ラインであって、該処理工程ラインの設置された建屋の階層とは異なる階層に設置され、基板を収納するカセットと該カセットを収納するカセット収納棚とを有する工程内ストッカーと、該工程内ストッカーと前記処理工程ラインの間にあって、前記基板を垂直方向に移動させるための基板移送手段とを有し、該基板移送手段は、基板を載置して各階層間を移動する枚葉リフターユニットと、該枚葉リフターユニットと前記カセットとの間で基板を出し入れする移載装置とを有することを特徴とする生産ラインである。 (もっと読む)


【課題】 弁体のサイズが大きくなっても気密性が低下し難いゲートバルブを提供すること。
【解決手段】 被処理体を出し入れする開口部61aの周囲に押圧される弁体62と、弁体62に開口部61aに沿って環状に設けられた押圧部69と、開口部61aの開口面64に対して平行な方向にスライドするメインスライダー66と、メインスライダー66に設けられ、押圧部69を押圧する押圧機構63と、を備え、押圧機構63は、弁体62を開口部61aの周囲に押圧する突起部67と、突起部67からスロープ状に下がる傾斜部68とを含んだカムで構成され、押圧機構63が、弁体62を開口部61aに正対させた状態で、開口部61aの開口面64に対して垂直な方向Aに押し出し、弁体62を開口部61aの周囲に押圧する。 (もっと読む)


【課題】メンテナンスコスト及びランニングコストの低減に寄与する磁気ネジ駆動装置を提供する。
【解決手段】磁気ネジ駆動装置9は、モータに連結された駆動軸13を介して、ハウジング17に軸支された螺旋状磁石軸11を回転させるものであり、駆動軸13及び螺旋状磁石軸11のそれぞれに、駆動軸13及び螺旋状磁石軸11が挿通されて気密に取り付けられた円筒状のカラー19と、このカラー19の表面に摺接するようにハウジング17側に取り付けられるオイルシール20とを備えることでハウジング17内の潤滑剤Grを封止することができる。 (もっと読む)


【課題】冷却効率を高めてスループットを高く維持でき、複数段の被処理体を面間の温度差が生じないように均一に冷却するロードロック装置を提供する。
【解決手段】真空室6と大気室12との間にゲートバルブを介して連結されると共に真空雰囲気と大気圧雰囲気とを選択的に実現することができるロードロック装置8,10において、ロードロック用容器34と、ロードロック用容器内に設けられて複数枚の被処理体を複数段に亘って支持する支持部52を有する支持手段50と、大気圧復帰用のガスを冷却ガスとして噴射するために支持部に対応させて設けられたガス噴射孔74を有するガス導入手段72と、ロードロック用容器内の雰囲気を真空引きする真空排気系42とを備える。これにより、冷却効率を高めてスループットを高く維持でき、且つ複数段の被処理体を面間の温度差が生じないように均一に冷却する。 (もっと読む)


新規な不活性環境用エンクロージャは、製造物品がエンクロージャに入る物品入口と、製造物品が出る物品出口とを含む。物品入口及び物品出口のうちの少なくとも一方は、空気がエンクロージャに入るのを防止するための上側流れ阻止体及び底側流れ阻止体の双方を含む。特定の実施形態において、上側流れ阻止体及び底側流れ阻止体は、それぞれ、複数の個々の隣接するフィンガーを有する可撓性の織物から構成されたカーテンを含む。他の特定の実施形態において、不活性環境用エンクロージャは、ウェーブはんだ付け機を収容する窒素フードである。不活性ガスノズルは、入口及び/又は出口に又はその近くに取り付けられている。不活性環境用エンクロージャは、製造物品がエンクロージャを通過するとき、周囲環境に対して陽圧を維持する。
(もっと読む)


【課題】半導体処理槽の開閉を行うバルブにおいて、バルブ前後の圧力差が大きくなっても問題なく操作可能なバルブを提供する。
【解決手段】開口を封止するように適合され、かつ第1の壁と、該第1の壁に形成された第1の開口115と、第2の壁と、該第2の壁に形成された第2の開口117とを有するバルブハウジング105を含むスリットバルブ101aを基本とし、該スリットバルブかつ該第2の開口を封止するように適合された封止部107と、該封止部107に対して移動可能であり、かつ該第1の壁に接触するように適合された支持部材109とを有する閉鎖部材103を含むスリットバルブ。 (もっと読む)


【課題】二枚の金属ベルトの間に挟まれて加熱冷却されたリードフレームの金属ベルトとの接触面に傷が付き易い従来のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置の課題を解決する。
【解決手段】駆動ローラ20と従動ローラ18との間に、無端状に巻き付けられている金属ベルト22と、連続体10を拘束状態で所定温度に加熱する加熱部と、前記加熱部で加熱された連続体10を金属ベルト22に載置して拘束状態で冷却する冷却部と、連続体10の移送方向に走行する金属ベルト22を支承する複数の支承ローラ24とを具備し、複数の支承ローラ24が、金属ベルト22の連続体10を載置する載置面が外方に膨出する弧状面となるように配設され、前記加熱部で加熱処理が施された、一面側が露出状態の連続体10の他面側を金属ベルト22の弧状面に押し付けて、連続体10を拘束状態とする拘束手段と、連続体10が前記弧状面での拘束状態を保持して金属ベルト22と共に移送方向に走行して冷却される位置に、前記冷却部が設けられている。 (もっと読む)


21 - 30 / 196