説明

国際特許分類[B65G49/00]の内容

処理操作;運輸 (1,245,546) | 運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い (154,615) | 運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステム;空気管コンベヤ (20,388) | 他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置 (2,620)

国際特許分類[B65G49/00]の下位に属する分類

国際特許分類[B65G49/00]に分類される特許

31 - 40 / 196


【課題】液晶基板の保管倉庫室に設置される搬送装置であるスタッカクレーンの動作に伴う気流の乱れに対して効果的に防止する液晶基板の保管倉庫室を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の液晶基板の保管倉庫室10は、液晶基板を収容するカセットを保管する複数の保管棚20と、複数の保管棚20に沿って配置したレールを走行し、カセットを搬送するスタッカクレーン30と、スタッカクレーン30の走行方向前方で室内の空気を排気する排気手段と、スタッカクレーン30の走行方向後方で排気手段の排気した排気量の空気を給気する給気手段と、スタッカクレーン30の移動制御信号に基づいて、スタッカクレーン30の投影面積と移動距離から生じるスタッカクレーン30の押し退ける空気量を排気手段から排気させると共に給気手段から給気させる制御手段60と、を備えたことを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】ゲートバルブの小型化を図る。
【解決手段】ゲートバルブGVは、ロードロック室LLに装着され、開閉により基板を搬送させる。ゲートバルブGVは、ロードロック室LLの内部空間と連通する前方開口105aが形成された筐体105と、筐体104に回転可能に内蔵され、回転軸110aとその回転軸に取り付けられた弁体110bとを有する回転部材110と、弁体110bに取り付けられ、膨張可能なシール部材200とを有する。ゲートバルブGVを閉じる場合には、回転軸110aを回転させて弁体110bを前方開口105aを塞ぐ第1の位置まで回転させた後、シール部材200を膨張させる。 (もっと読む)


【課題】搬送装置において、ガイドレールに対してキャリアを適切な位置に保持して搬送するためのチャック機構を提供する。
【解決手段】キャリアの端面と磁気結合して駆動機構によって所定の方向(x軸方向)に移送されるチャック機構であって、駆動機構に固定されるアームベース、アームベースの支点に対して回転可能に保持され、上記端面に対向配置されるマグネット部、及び支点に対するマグネット部の回転を弾性力によって規制する弾性部材を備えたチャック機構である。 (もっと読む)


【課題】被処理基板にダメージを与えずに被処理基板を除電して被処理基板への静電気力によるパーティクル付着を防止することができる搬送チャンバ及びパーティクル付着防止方法を提供する。
【解決手段】基板処理システム1において、基板処理部2と大気系搬送部3との間に設けられる搬送チャンバ4は、被処理基板であるウエハWを収容するチャンバ本体51を備えている。チャンバ本体51は、給気システム52と排気装置53によって減圧環境と大気圧環境とで切り替え可能である。給気システム52は、チャンバ本体51の外側に、イオン化ガスを発生させるイオン化装置60を備えている。イオン化装置60で発生させたイオン化ガスをチャンバ本体51に供給して、チャンバ本体51に収容されたウエハWを除電する。 (もっと読む)


【課題】真空チャンバ内で基板等を搬送する際に、搬送機構によるパーティクルの発生を防止する。
【解決手段】真空チャンバ2内に移動可能に配置され、被搬送物(基板20)を支持、搬送する支持体5と、チャンバ外から支持体5に磁力を介して運動伝達する磁気運動伝達機構を備える。真空雰囲気のチャンバ内においてローラや歯車などの回転体を用いず、磁気運動伝達することができ、搬送時のパーティクルを極力少なくする効果がある。さらに、チャンバ外への無駄な設置面積を必要としない。また、磁気運動伝達機構と回転機構を併用することにより、基板の受渡し、搬送時に任意の角度を設定でき、装置設計時の自由度が大きくなる。 (もっと読む)


【課題】高温下での基板処理にも用いられる基板搬送装置に使用でき、この装置の回転軸に固定するときにこの回転軸の中心軸とローラ外周面の中心軸とを精度よく一致させることが容易な搬送ローラ、及びこの搬送ローラを備えた基板搬送装部材を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、搬送ローラ20であって、挿入部26と軸方向に隣接して回転軸12に固定される固定部28とを有する金属製の固定部材22と、挿入部26の周囲に取り付けられる樹脂製のローラ本体40と、ローラ本体40を固定部材22に固定するローラ本体固定手段50とを備え、ローラ本体40は、円筒状のローラ外周面46を有し、当該搬送ローラ20を回転軸12に取り付けたときにローラ外周面46の中心軸と回転軸12の中心軸Cとが一致するように嵌入口42が挿入部26と嵌合するような形状を有していることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】プレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を除去するために連続体を加熱冷却する加熱冷却処理装置において、リードフレームの表面に傷が生じることを防止すること。
【解決手段】一方向に走行する第1金属ベルト30と、その下に重なって配置され、第1金属ベルト30と同一方向に走行する第2金属ベルト32と、第1金属ベルト30の上に配置されて第1金属ベルトの幅方向の両端部を部分的に加圧する複数の加圧ローラ40と、第2金属ベルト32の下に配置された複数の支持ローラ42とを含み、リードフレームの連続体50を、第1金属ベルト30と第2金属ベルト32との間に供給し、加圧ローラ40と支持ローラ42とで挟圧した状態で、金属ベルト30,32の走行によって加熱領域A及び冷却領域Bを通過させる。 (もっと読む)


【課題】真空チャンバ間のゲートバルブを開放するときの衝撃波を抑えると共に真空チャンバ内にガスが供給されるときの粘性力によるパーティクルの剥がれを抑え、これにより基板に対するパーティクル汚染を抑えること。
【解決手段】例えば一方の真空チャンバが基板に対して真空処理を行うための基板処理室、他方が基板搬送装置を備えた搬送室であるとするとゲートバルブを開く前に両方のチャンバ内の圧力が66.5Paよりも低くかつ圧力検出値の高い方が低い方の2倍よりも小さいことを条件にゲート弁を開くようにする。この場合、基板処理室内に圧力調整用のパージガスを供給する前に圧力調整用のパージガスの流量よりも大きな流量でパーティクル剥離用のパージガスを供給することが好ましい。また両方のチャンバ内のいずれもが9.98Paよりも低いことを条件にゲートを開くことも有効である。 (もっと読む)


【課題】積み動作時と卸し動作時とでフォークのストロークを変えることにより、置台でのワークの位置ずれをなくし、置台側のガイドとの擦れによる発塵を防止するようにした移載機のフォークストロークの補正方法を提供すること。
【解決手段】ベース1からフォーク2を横方向に移動させるアーム3と、アーム3のベース1を昇降させる昇降装置4とを備え、積み動作時にワークWの積載によりフォーク2が傾斜状態から水平状態になる移載機のフォークストロークの補正方法において、フォーク2が傾斜状態から水平状態になることにより変位するフォーク2のずれ量ΔSを検出し、積み動作に続く卸し動作でずれ量ΔSだけフォークストロークを短くする。 (もっと読む)


【課題】生産性を向上させることができ、かつメンテナンスが容易な搬送装置及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板4,5を搬送する搬送手段と、基板4,5が搬送される搬送方向と交差する方向の基板4,5の移動を規制する規制10とを有する搬送装置において、
規制装置10は、基板4,5を通過させる幅を回転角によって変更させることができる、回動可能に支持された、回転軸1、第1のサイドローラ2及び第2のサイドローラ3からなる軸部材を有する。 (もっと読む)


31 - 40 / 196