【課題】基板を載せる搬送用ハンドのズレ量を検出して、搬送用ハンドが基板を収納するカセット等の他の周辺機器に衝突したり、搬送用ハンド自身が破損することを未然に防止する搬送用ロボットを提供すること。
【解決手段】本発明の搬送用ロボットは、ワークを搬送するための搬送用ロボットの制御方法において、前記搬送用ロボットのアーム先端に配置される搬送用ハンドを備え、前記搬送用ハンドに取り付けられた加速度センサと、前記加速度センサに接続されたコントローラとからなり、所望の位置にワークを搬送するために、前記搬送用ハンドを移動させるときの加速度の設定値を前記コントローラに予め記憶させておき、実際に前記搬送用ハンドがワークを搬送するときの加速度と前記初期状態のときの加速度とを比較して、前記比較したときの加速度の差分をリアルタイムで検出して搬送用ハンドの位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】設置や処理順の変更に多大な手間や時間を必要としない基板処理装置、および有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ装置などを製造するための基板処理装置において、固定チャンバ１５ｂ、１５ｄを接続する基板搬送室３２の内部には、一対のローラ５４ａ、５４ｂの間にベルト５３が張架され、かかるベルト５３には基板搭載部５１が一体に構成されている。ローラ５４ａ、５４ｂを回転させると、ベルト５３と一体に基板搭載部５１も移動する。このため、ベルト５３を急加速あるいは急減速した場合でも、基板搭載部５１の位置がずれないので、被処理基板１を高速搬送することができる。また、基板搬送室３２の内部から外部に引き出す回転軸５４ｃ、５４ｄの本数が少ない。 （もっと読む）

【課題】
搬送台車の走行輪からの発塵や、発生した塵埃の乱流による巻き上げを効果的に防止するクリーンルーム内搬送装置の走行輪発塵防止装置及び走行輪発塵防止方法を提供する。
【解決手段】
クリーンルーム１１の床板１５に形成されたスリット１７と、床板１５よりも下方に設けられた走行レール１８、１８にスリット１７を通して接触する走行輪２０を備えた搬送台車１０の走行輪２０を床板１５近傍まで覆うように設けられた走行輪カバー２１と、スリット１７を密閉するように両側を床板１５に密着させるとともに、走行輪２０近傍となる走行輪カバー２１直下のスリット１７を密閉しないシールベルト２５と、を備えることにより、清浄エアが走行レール１８、１８近傍で床板１５下に向って流れる気流を走行輪２０近傍に限定して発生させる。 （もっと読む）

【課題】ミニエンバイロメント装置のクリーンボックス内に、クリーンエアの好適なダウンフローを形成できる、ウェーハ搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体ウェーハ４ｂを加工するミニエンバイロメント装置１に備わるクリーンボックス２の背面の側の側壁部２３ｂにロボット本体２０の走行装置２１を備え、ロボット本体２０を走行させることで、クリーンボックス２の床部２３ａに、ロボット本体２０が走行する軌道を設置することなく、ロボット本体２０を走行できる構成とする。 （もっと読む）

【課題】 搬送レールの延在方向に沿って被搬送物を走行させて搬送するときに、被搬送物が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合でも、簡易な構成で位置ずれを解消して、所定の位置に被搬送物を搬送することが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】 下地板２を搬送レール３で支持した状態で、下地板２の受渡しが行われる受渡し部４に向けて、搬送レール３の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送する。このとき、搬送レール３は、下地板２を搬送する搬送方向上流側に配設される第１搬送レール３１と、搬送方向下流側に配設される第２搬送レール３２とで構成されている。そして、第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置で下地板２を支持可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】上下に電磁振り子軌道を配置し、遠心力に打ち勝つ磁気的浮上力を得ることができる磁気トラックベッドの傾斜装置を提供する。
【解決手段】ビークルを磁気浮上させてレールトラック上を移動させる小規模の磁気浮上式搬送システムにおける磁気トラックベッドの傾斜装置において、支持装置１Ａ，１Ｂと、この支持装置１Ａ，１Ｂに支持され、傾斜可能に配置される軌道チューブ２と、この軌道チューブ２に固定され、下部と上部に配置される一対の電磁振り子軌道３，４と、この一対の電磁振り子軌道３，４の間を走行する高温超電導バルク体６を有するビークル５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ロードロック室内部に異物を巻上げずに短時間で大気開放を行うことができるロードロック室の大気開放方法、ロードロック装置及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】半導体基板２４を真空雰囲気下で格納するロードロック室２０に気体を供給して大気開放を行うロードロック室２０の大気開放方法において、複数の貫通孔５１が設けられ、ロードロック室２０の上方に配設されたシャワー供給手段５０を用いて、ロードロック室２０の上方から前記気体をシャワー状に供給し、ロードロック室２０を排気する排気管４０の排気量を、排気管４０に取付けられたバルブ６０を用いて徐々に低減し、０にする。 （もっと読む）

【課題】走行時に車輪等から発生する塵埃が巻き上がることを防止できる搬送台車を提供する。
【解決手段】搬送台車１０は、清浄エアの気流が床面の排気口１４に向けて形成されるクリーンルーム１２内を走行する台車であり、台車本体２６の下部に設けられた車輪２８によって走行する。搬送台車１０は、車輪２８の近傍に設けた吹出口３０Ａから、周囲のエアをクリーンルーム１２の排気口１４に向けて吹き出すとともに、吹出口３０Ａから吹き出すエアの流速をクリーンルーム１２に吹き出す清浄エアの気流の流速よりも大きく、且つ、排気口１４から排気する排気エアの気流の流速以下になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】基板の再酸化によるコンタクト抵抗の増大を抑制でき、更にパーティクルの数量を低減可能にする基板収容容器と、該基板収容容器を用いて再酸化によるコンタクト抵抗の増大を抑制でき、更にパーティクルの数量を低減可能な基板処理方法とを提供する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１０は、複数のウェハＳの各々の処理面Ｓａを平行にして各ウェハＳを収容するシェル１１と、シェル１１の前方に設けられた開口を開閉する蓋体１２と、シェル１１の後方に搭載されてシェル１１の内部を目標圧力に減圧するパージ機構１３とを有する。ＦＯＵＰ１０のパージ機構１３は、複数のウェハＳの各々の面方向に沿って、不活性ガスを導入し、シェル１１の内部にある気体を排気する。 （もっと読む）

【課題】 ガスカーテンを通過して被搬送体を搬送しても、ガスカーテンを超えたガスの移動が発生しにくい搬送装置および機構体を提供する。
【解決手段】 被搬送体１４を載置、牽引、または押して移動方向への駆動力を与える機構体１５が、ガスカーテンを通過して被搬送体を搬送する搬送装置１１において、該ガスカーテンが該被搬送体の搬送方向１６に対して所定の噴射速度でガスを噴射して形成され、該ガスの噴射方向１９と該搬送方向１６とに垂直な方向の該機構体１５の厚みが、該噴射方向１９の上流側または下流側の少なくとも一方の端部に向かって、徐々に薄くなることを特徴とする。そうすることによって、搬送装置１１は、機構体がガスカーテンを通過して被搬送体１４を搬送しても、ガスの乱れが発生しにくいので、ガスカーテンによる閉塞効果が高く、ガスカーテンを超えてガスが移動しにくい。 （もっと読む）