【課題】２つの区域間を人が通過することなく物品だけを通過させることができ、その際に物品を載せかえる必要なく、省力化を図ることができる物品搬送装置を提供する。
【解決手段】第１区域１２と第２区域１４との間にこれらの区域と隔離された中間区域１６が設けられ、第１区域１２と中間区域１６との間に第１開口１８と第１シャッター２２、中間区域１６と第２区域１４との間に第２開口２０と第２シャッター２４が形成される。第１シャッター２２によって第１開口１８が開いている間は第２シャッター２４によって第２開口２０が閉じ、第２シャッター２４によって第２開口２０が開いている間は第１シャッター２２によって第１開口１８が閉じている。中間区域１６には、搬送路３８の両側に一対の搬送手段４０，４０が設けられ、搬送路上にある物品を両側から押して、第２開口２０を通過させて第２区域１４まで移動させる。 （もっと読む）

【構成】 棚を鉛直循環させる内部スペースを囲む内壁と、内壁を外側から囲む外壁とを設けて、内部スペースに棚を配置する。棚の対角位置に設けた一対の突出部を、内壁に設けたスリットから内壁と外壁との間の外部スペースに突き出させて、各突出部をエンドレスの駆動部材に取り付け、さらに駆動部材の駆動機構を外部スペース内に設ける。また外部スペースを貫通して内部スペースと設備の外部とを接続する物品の搬出入用のトンネルを設ける。
【効果】 棚を安定した姿勢で鉛直循環させることができ、駆動部などでの発塵で棚などを汚染しない。 （もっと読む）

【課題】 搬送車が走行することによって発生する塵埃によってクリーンルーム内が汚損されることを的確に回避できるクリーンルーム用搬送設備を提供する。
【解決手段】 天井部１から前記床部２に向けて清浄空気Ｇが通風されるクリーンルームＡにおける前記床部２を走行する物品搬送用の搬送車Ｂが設けられ、搬送車Ｂの走行車輪１５が走行する走行レール１４、搬送車Ｂの被案内輪１６をその搬送車Ｂが走行経路に沿って移動するように案内する案内レール１７及び搬送車Ｂの受電部１８に給電する給電レール１９が、床部２の下方の通風空間４内に配置され、床部２に、走行レール１４、案内レール１７及び給電レール１９を露出する搬送車通過用開口Ｄが形成されている。 （もっと読む）

【課題】装置払い出しポートでの基板搬送台車による基板の受け取り、搬送、投入を最小限の作業面積で効率よく行うための基板搬送台車及びそれを用いた基板の受け取り、搬送、投入方法を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも複数個の車輪６１を有する支持台１０と、前記支持台１０上に垂直に設けたスタンド２０と、基板を保持するハンドアーム３０と、ハンドアーム３０を保持するハンドアーム保持部４０と、ハンドアーム３０に設けられた吸着パッドにて基板を真空吸引するための真空吸引ユニット５０と、を備えている基板搬送台車であって、基板がハンドアーム３０に垂直に保持された状態の基板搬送台車で、基板の受け取り、搬送、投入を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マッピングセンサのマッピング精度を高めること。マッピングセンサに作業者が触れられないようにしてマッピングセンサの取付け位置が狂わないようにすることを目的とする。
【解決手段】本発明は、半導体ウェハを含む基板を収納するオープンカセットが出し入れされる開口部が設けられているロードポートプレートと、ロードポートプレートの表側に位置し、ロードポートプレートの手前側に転ぶように回動自在に設けられた傾転ドアと、傾転ドアに設けられ、開口部を出入するオープンカセットを載置するオープンカセット置台と、ロードポートプレートの裏面に位置し、開口部を開閉するようにスライド自在に設けられた背面ドアを有するオープンカセットロードポートにおいて、半導体ウェハの位置を検知するマッピングセンサは背面ドアと傾転ドアの間を行き来するように設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】キャリアカセットの蓋体着脱装置を備えたロードポート装置において、製造装置のフレームの内側に配置された蓋体着脱装置の蓋体着脱具と、フレームの外側に配置された蓋体着脱装置の昇降装置とを連結する部材を挿通するために、プレートの上下方向に形成されたスリットを閉塞する。
【解決手段】フレームＦの外側には、ケース１１内に閉塞テープ１２が巻取り方向に付勢された状態で巻回された第１閉塞具１０がスリットＳの下形成端部Ｓ₁ 又は水平移動装置４０のベース体４２のいずれか一方に取り付けられていると共に、引き出された閉塞テープ１２の先端部がその他方に取り付けられ、フレームＦの内側には、第２閉塞具２０がスリットＳの上形成端部Ｓ₂ 又は水平移動装置４０の第１連結部材４１のいずれか一方に取り付けられていると共に、第２閉塞具２０の閉塞テープ２２の先端部がその他方に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】床面を覆うカバーを容易に固定できるようにすると共に、レールの基礎となるベースプレートの側部を簡単にカバーできるようにして、更に有軌道台車の走行によるパーティクルの巻き上げを少なくする。
【解決手段】クリーンルーム内の有軌道台車の走行レール８の底部の溝９を利用して、取付板１４を取り付け、取付板１４に多数の孔２４を備えた床カバー１２を取り付ける。床カバー１２の上面には一面に小径の孔２４を設けて、クリーンルーム内の空気がワッフル４から吸引されるようにする。 （もっと読む）

【課題】基板の中間的な位置ずれを検出可能にすることにより、基板の取りこぼしを防止することができる載置台を提供する。
【解決手段】蓋着脱部１５によりFOUP１から蓋７を取り外すとともに計数部１７で計数を行うが、飛び出し検出部２９に加え、中間センサ３５を備えているので、正規位置とずれ位置との間にあたる中間位置にまで基板Ｗがずれてきたとしても検出することができる。したがって、基板Ｗの取りこぼしを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムに固定されて開放状態にあるFOUPを閉鎖する際に内部の酸化性ガスの分圧の低減を図る。
【解決手段】FIMS内部における開口部１０の両側辺外方に拝されたパージガス供給用のノズルに加え、開口部１０の上辺上方にパージガスによるガスカーテンを形成可能とするカーテンノズルを配置する。蓋４によるポッド２の閉鎖時では、ドア開閉機構を用いて蓋４をカーテンガスの流れ方向に対して所定角度傾斜させて所定時間これを維持することとし、蓋４によってガスカーテンに供せられたパージガスもポッド内のパージに用いることとする。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムに固定されて開放状態にあるFOUP内部の酸化性ガスの分圧が時間の経過と共に増加することを防止する。
【解決手段】FIMS内部における開口部１０周囲にドアの動作範囲を覆い且つ開口部１０と対抗する第二の開口部３１を有するエンクロージャを配置する。また、該エンクロージャの上部であって開口部１０の上辺上にカーテンノズルを配置し、当該カーテンノズルからは開口部の上辺から下辺に向かう方向に沿ってパージガスを供給し且つ当該方向に流れるパージガスが突き当たるエンクロージャ壁に該パージガスがエンクロージャ内部から外部に流出する流出口を設ける。 （もっと読む）