【課題】天然ガスハイドレート等の可燃性ガスを発生するバラ積み貨物用のバラ積み貨物荷役装置等の接続部において、気密機能と分離／接続機能を比較的簡単な構成で確保することができる接続部、バラ積み貨物荷役装置及び接続部の気密保持方法を提供する。
【解決手段】接続上部３ａと接続下部２０ａを接続及び分離する接続部において、接続上部３ａに設けた仕切り部３ａｄを、接続下部２０ａに設けた液溜まり部２０ｂｄに挿入し、前記液溜まり部２０ｂｄを内周側室２０ｂｅと外周側室２０ｂｆに分けると共に、前記内周側室２０ｂｅと前記外周側室２０ｂｆの下部では液体Ｂが流通するように連通させて構成し、前記液溜まり部２０ｂｄに入れた液体Ｂによって、内周側室２０ｂｅの上部と外周側室２０ｂｆの上部との間を液封により気密にする。 （もっと読む）

【課題】天然ガスハイドレート等の可燃性ガスを発生するバラ積み貨物用のバラ積み貨物荷役装置等の旋回部等において、旋回用の機構と切り離した比較的簡単な構成で、気密性を確保することができる旋回部の気密構造、バラ積み貨物荷役装置及び旋回部の気密保持方法を提供する。
【解決手段】旋回上部４１の下に旋回下部４２を旋回可能に接続した旋回部５において、該旋回部５に液封による気密構造を設ける。更には、旋回下部４２に設けた液溜まり部４２ｄに、旋回上部４１に設けた仕切り部材を挿入し、液溜まり部４２ｄを内周側室と外周側室に分けると共に、両室の下部で液体Ｂが流通するように構成し、液溜まり部４２ｄに入れた液体Ｂによって、内周側室の上部と外周側室の上部との間を液封により気密にする。 （もっと読む）

【課題】天然ガスハイドレート等の可燃性ガスを発生するバラ積み貨物用のバラ積み貨物荷役装置等の伸縮部において、気密機能と伸縮機能とを兼用した比較的簡単な構成で、気密性と伸縮性を確保することができる伸縮部の気密及び伸縮構造、バラ積み貨物荷役装置並びに伸縮部の気密保持及び伸縮方法を提供する。
【解決手段】複数の筒状体５１、５２、５３を一部重複させて上下方向に連続して配置して形成し、これらの筒状体５１、５２、５３の相互間の重複部分の長さを変化させることにより、筒状体の全体としての上下方向の長さＬｔを変化させる伸縮部５０において、前記重複部分に液封による気密構造を設ける。 （もっと読む）

【課題】収納室に多数のワークを収納可能であって、収納室へ先に搬入されたワークから順に搬出する「先入先出」の機構の実現が可能であると共に、ワークが載置されるワークトレイの昇降をシリンダ機構により実現して、収納・搬送中のワークの汚損防止が可能なホールドエレベータ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るホールドエレベータ装置は、ワークを一定姿勢で載置するワークトレイと、ワークトレイを収納室内で周回移動させるトレイ周回手段と、先にワークが保持されたワークトレイを支持し、後からワークが保持されたワークトレイが積層される際に該支持を開放するトレイ支持手段を備え、収納室へ先に搬入されたワークからワークトレイに載置してトレイ支持手段により一時的な支持を行いつつ、トレイ周回手段によりワークトレイを周回移動させて、先に搬入されたワークから順次、収納室から搬出される。 （もっと読む）

【課題】搬送台車の走行位置及び／又は停止位置に追従して、必要な箇所のみのダウンフローによる排気流速を高めるようにすることにより、必要最小限度のファンフイルターユニットの設置数にて、局部的で効率的なダウンフローを形成し、かつ設備費及びランニングコストを低廉化できるようにしたクリーン搬送装置における空調システムを提供すること。
【解決手段】液晶基板を収納するカセットＫを保管する保管棚Ｌと、カセットＫを走行レールＲに沿って搬送する搬送台車Ｃと、保管棚Ｌに清浄空気を供給するファンフィルタユニットＦＦＵとを備えたクリーン搬送装置において、ダウンフロー内を走行可能とした搬送台車Ｃの走行位置及び／又は停止位置に追従して、搬送台車Ｃの走行位置及び／又は停止位置のダウンフローの流速を増すように調整可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】 移動体装置のレール走行に起因する発塵物を室内で拡散させることなく、速やかに且つ効率よく除去すること。
【解決手段】レール３０との間に吸引用の間隙４２を形成する吸引ガイド４０ａ、４０ｂを、レール３０の車輪６２との接触面を囲うようにレール３０に沿って配置し、レール３０と吸引ガイド４０ａ、４０ｂとの間の間隙４２から塵埃とともに空気を吸引する構成とした。レール３０が内部空間（図示を省略）を有する場合には、そのレールの内部空間を吸引経路として用い、レールの内部空間から塵埃とともに空気を吸引する構成としてもよい。 （もっと読む）

【課題】処理室とゲートバルブとに跨って開口部を通過する搬送物を円滑に搬送すると共に、処理室等の製造コストの低減を図る。
【解決手段】処理室に跨って搬送されるカセットが通過する開口部１２と、この開口部１２を開閉する弁体１３と、この弁体１３を移動させる移動機構とを備え、処理室に隣接して配置されるゲートバルブにおいて、弁体１３によって開口部１２が開かれた状態で、開口部１２を通過するカセットをこのカセットの下側から支持するカセット支持機構１４を備える。 （もっと読む）

【課題】移動体装置のレール走行に起因する発塵物を室内で拡散させることなく、レール近傍に向けて局所的に清浄空気を供給するとともにレール近傍の塵埃を含む空気を局所的に且つ速やかに排気すること。
【解決手段】レール近傍の少なくとも移動体装置６０の車輪６２が通過する位置に向けて、清浄空気吹出装置４０から清浄空気を吹き出し、移動体装置６０の走行により発生した塵埃を含む空気を、清浄空気吹出装置４０から吹き出された清浄空気とともに、レール３０ａ、３０ｂを挟んで清浄空気吹出装置４０と向かい合う排気装置５０により吸い込んで排気すること。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気下で加熱された板状ワークを搬送する場合において、当該ワークからの熱による不都合を解消ないし低減する。
【解決手段】搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持され、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含んで構成された直線移動機構３と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持され、直線移動機構３の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂとを備える。ハンド４Ａ，４Ｂとガイドレール３２Ａ，３２Ｂとの間には熱反射板８が設けられる一方、固定ベース１および旋回ベース２には、固定ベース１側と旋回ベース２側とを常に連通させる空間５０２，６０２を含んで構成された冷媒循環路が設けられている。上記冷媒循環路は、上記熱反射板８に接するように取り回された冷却管７１，７３，７４，７６を含む。 （もっと読む）

【課題】搬送部の被案内面に外周面を接触させて回転することにより前記搬送部を案内する搬送ローラにおいて、搬送部の被案内面が搬送ローラに衝突した時の耐久性を改善する。
【解決手段】搬送ローラ１を以下の方法で作製する。図２のミルポット内に窒化珪素製のボール５を複数個入れるとともに、円柱体４４に搬送ローラ１を外嵌して遊星ボールミルを作動させ、ボール５に、ミルポット内に発生する公転に伴う遠心力と自転に伴う遠心力を付与することで、ボール５を搬送ローラ１の外周面に衝突させて外周面の表層部に残留応力を導入するボールミル工程を行った後に、仕上げ研磨加工を行う。 （もっと読む）