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国際特許分類[B65G49/00]の内容

処理操作;運輸 (1,245,546) | 運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い (154,615) | 運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステム;空気管コンベヤ (20,388) | 他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置 (2,620)

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【課題】従来のエア浮上搬送方式ではガラス等の薄板部材以外の一般的形状の物品の搬送は困難であった。また浮上した被搬送物のガイド機構が被搬送物と接触するため、歩留りが低下するという問題があった。本発明は一般的形状の物品の搬送を可能とし、曲線走路にも対応可能な非接触的エア浮上によって柔軟且つ低コストでクリーンな新しいエア浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明では、中央に案内溝2を有し上面と案内溝側面2aに加圧空気による静圧スラスト軸受け機能を備えた浮上走行用走路1と、浮上用シュー5に乗り偏荷重でも安定した浮上が可能なエア浮上搬送台3と、搬送台3の進行方向を案内する案内子7及び案内溝2に非接触的に勘合する平滑で可撓性のある案内子構成部材8と、搬送台3駆動用として案内溝2の内側に設置された駆動手段4を主要な構成要素として、曲線走路の場合にも対応可能な、非接触エア浮上搬送装置を実現することができる。 (もっと読む)


【課題】カセットとフリーローラの摩擦接触により発塵した場合でも、この塵埃によるカセット内部やクリーンルームの汚染を防止するようにした無人搬送台車を提供すること。
【解決手段】部品等を収容するカセット1と、カセット1を載置するフリーローラ2と、フリーローラ2とステーション3のフリーローラ2との間でカセット1を移動させるプッシュプル移載装置4とを備えた無人搬送台車において、フリーローラ2の下方に、フリーローラ2の上方から空気を取り込む空気清浄装置5を設ける。 (もっと読む)


【課題】層状基板を搬送する為に搬送ローラを備えた真空コーティング設備において、少なくとも一方向で、チャンバ内部の対象物を自動的に移動させる装置を提供する。
【解決手段】キャリア11は、板状に形成され、駆動システムによりローラ12上の狭側下縁部で支持されている。間接駆動装置は電磁継手を利用するが、電磁継手は一部が真空チャンバ内、一部が真空チャンバ外に配置されている。垂直方向に作用する力を用いて、電磁継手の2つの構成部品は、互いにずらすことが可能である。さらに、キャリアを水平方向にずらすことも可能である。 (もっと読む)


【構成】 処理装置4の物品搬出入用のシャッタ8の周囲3方に、出退自在な庇22を設ける。無人搬送車が到着すると、庇22を前進させて処理装置4と無人搬送車の間の隙間を塞ぎ、処理装置4や無人搬送車からの高クリーン度の空気で物品の搬出入経路を充たす。搬出入後のシャッタ8等を閉じると、庇22を後退させて無人搬送車の走行を容易にする。
【効果】 無人搬送車と処理装置との隙間から、低クリーン度の空気が物品側に侵入しない。 (もっと読む)


【課題】非接触式の駆動力伝達装置において従動軸や駆動軸を比較的低剛性で支持できるようにする。
【解決手段】チャンバ10内の主ローラ16aを当該チャンバ10の外側から非接触で駆動する装置。側壁11を挟んで主ローラ16aと駆動軸17とが同軸上に配置される。主ローラ16aおよび駆動軸17の末端には、回転体30A,30Bがそれぞれ組み付けられる。これら回転体30A,30Bには、主ローラ16aと駆動軸17との間に磁気的吸引力を生じさせる第1磁石部と、磁気的反発力を生じさせる第2磁石部とが設けられる。第1磁石部は、軸心回りに極性の異なる磁石34,35が交互に配列されてなり、第2磁石部は、各回転体30A,30Bの軸心にそれぞれ設けられる同極性の磁石36からなる。 (もっと読む)


【課題】ロードロック装置内へのパーティクルの進入を効果的に防止でき、しかも、大気圧に復帰させた後、すぐにチャンバ内を大気開放できるロードロック装置を提供する。
【解決手段】密閉可能なチャンバ51と、チャンバ51内に基板Gを搬入出させる開閉自在な搬入出口52、53と、チャンバ51内において基板Gの温度を調節する温度調節部材50、56を有し、チャンバ51内にガスを供給するガス供給路70と、チャンバ51内を排気する排気路71が接続されたロードロック装置5であって、チャンバ51内の雰囲気を、外部との圧力差で排出させるリーク路120がチャンバ51に接続され、ガス供給路70は、比較的流量の大きい大流量配管105と、比較的流量の小さい小流量配管106とを有し、それら大流量配管105と小流量配管106とを選択自在であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成にて基板の受け渡しを円滑に実行可能な基板搬送機を提供する。
【解決手段】基板搬送機は、ベース14上に水平方向に移動可能に配置され、一の側で基板Gを受け渡すときに一の側に位置付けられる移動ステージ32と、移動ステージ32上に配置され、基板Gを水平方向に移動可能に支持するための支持領域を有した支持装置Sと、一の側にて基板Gを受け渡すべく、一の側の支持領域の先端を横切って支持領域上の基板Gを水平方向に移動させるための移動装置Tと、ベース14に立設された支柱16と、反対側にて基板Gを受け渡すとともに搬送過程の基板Gを支持装置Sとの間で乗り換えさせるべく、支柱16に水平方向にて移動可能且つ上下方向でみて支持領域を横切って昇降可能に取り付けられたハンドHとを備える。支持領域は、一の側に移動ステージ32からはみ出た延出部を有する。 (もっと読む)


【課題】主発塵源である走行レール・車輪接触部からの発生塵埃を拡散させずに床下へ排出するとともに、クリーン搬送装置のファンフィルタユニットを減らし、低コスト化と省力化を図るようにしたクリーン搬送装置を提供すること。
【解決手段】クリーンルーム1内で走行レール2上を、スタッカクレーン3が車輪走行するとともに、クリーンルーム1内の空気を走行レール2の設置床面から排出するようにしたクリーン搬送装置において、設置床面として配設した通気床4を、走行レール付近4aの開口率が他の部分4bより大きくなるように設定する。 (もっと読む)


【課題】 被処理物の搬送速度とガスカーテンのガス流速とを制御して、被処理物に付着している不純物を搬送中に除去する処理能力が高く、低コストな搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板4は、搬送手段によって開口部3から基板処理手段2に搬送される。基板搬送方向は、開口部3の厚み方向であり、かつ基板4の厚み方向の垂直方向である。基板処理手段2の外側の開口部3付近に固定されているガスノズル5から、ガスを開口部3の長手方向に噴射されて、ガスカーテン7を形成する。ガス噴射方向8は、基板搬送方向9と垂直である。制御手段によって、開口部の長手方向のガス流速vに対する、開口部の厚み方向の被処理物の搬送速度Vである無次元速度V/vが、開口部の長手方向の被処理物の長さWに対する、開口部の厚み方向のガスカーテンの平均長さwである無次元長さw/Wの略0.5倍になるように、搬送速度Vとガス流速vとを制御する。 (もっと読む)


【課題】清浄空間の下方への浄化空気の排出を的確に行い、清浄空間の清浄度を高く維持することができる浄化空気通風式の物品保管設備の提供。
【解決手段】走行空間3における物品搬出入部5の存在側とは反対側の非物品搬出入箇所7、走行空間3の上部箇所、及び、物品収納部2の背部箇所を外部と遮蔽するように囲む状態で形成される空気循環路40が、走行空間3内の浄化空気を取り入れる走行空間内空気取入用開口部41を、非物品搬出入箇所7に対応する部分に備える状態で、且つ、清浄空間1内の浄化空気を取り入れる清浄空間内空気取入用開口部42を、その長手方向における少なくとも一部に備える状態で設けられ、物品収納部2の後部に空気循環路40における物品収納部2の背部箇所に対応する部分内の浄化空気を通風する浄化空気通風手段26が設けられている。 (もっと読む)


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