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国際特許分類[B65G49/00]の内容

処理操作;運輸 (1,245,546) | 運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い (154,615) | 運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステム;空気管コンベヤ (20,388) | 他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置 (2,620)

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【課題】複数の搬送機構を有する搬送ロボットにおいて、スループットを向上させるとともに、搬送ロボット及びこれを配置する真空装置の高さを低く抑える技術を提供する。
【解決手段】回転軸Oを中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられた第1〜3の駆動軸11〜13と、第1の駆動軸11によって駆動されて伸縮する上側搬送機構1Aと、上側搬送機構1Aに対して下方に配置されるとともに、第2の駆動軸12によって駆動されて伸縮する左下側搬送機構2Lと、上側搬送機構1Aに対して下方で左下側搬送機構2Lと同じ高さ位置に配置されるとともに、第3の駆動軸13によって駆動されて伸縮する右下側搬送機構2Rとを備える。左下側搬送機構2Lと、右下側搬送機構2Rとが、第1〜第3の駆動軸11〜13を挟んで基板搬送方向Pの両側に配置されている。 (もっと読む)


【課題】弁体を洗浄する際に基板処理システムを実質的に停止させる必要を無くすことができる弁体を提供する。
【解決手段】基板処理システムは、基板Sにドライエッチング処理を施すプロセスチャンバ13と、基板Sを搬送するトランスファチャンバ11とを備え、プロセスチャンバ13及びトランスファチャンバ11を連通する連通口19aを開放又は遮断する弁体22は、移動可能な本体23と、本体23から取り外し可能に構成され、弁体22が連通口19aを遮断する際、連通口19aを介してプロセスチャンバ13と対向する対向部材40から構成されるカバー部材24とを備え、弁体22が連通口19aを遮断する際、連通口19aを介してプロセスチャンバ13側から弁体22を眺めたとき、連通口19a内において対向部材40の全てを視認することができる。 (もっと読む)


【課題】密閉型のFOUP1の蓋体3を開閉(着脱)するにあたり、蓋体3を着脱する蓋体開閉機構20に要する機構を少なく抑えながら、開閉領域S3とローディングエリアS2との間に設けられるシール部材56の摩耗を抑えること。
【解決手段】ローディングエリアS2側における搬送口5の開口端が斜め上方を向くように、側壁部4に筒状体5aを気密に接続する。そして、昇降基体22と共にカバー部材23を昇降自在に構成し、カバー部材23に回動体41を設けると共に、昇降基体22が下降する時に、カバー部材23が昇降基体22と共に下降しながら筒状体5aの開口面に対して垂直に移動するように、回動体41の案内される案内部61を設ける。この時、カバー部材23が筒状体5aに向かって移動する時に、当該ドア部材の姿勢を規制するために、カバー部材23と昇降基体22との間にガイド部26を各々設ける。 (もっと読む)


【課題】上下異なるフロアに設置されたアイソレータ2、4間で、無菌状態を維持したまま物品の受け渡しを行う。
【解決手段】開閉手段52によって外部から遮断した状態に維持できるアイソレータ2、4が上方のフロアと下方のフロアに設置され、開閉手段68によって外部から遮断した状態に維持できる昇降用アイソレータ8が、昇降手段6によって、前記階上用アイソレータ2と階下用アイソレータ4の間で昇降できる。階上用および階下用アイソレータ2、4に、接続通路手段10、12が取り付けられており、昇降用アイソレータ8との間を密閉手段18によって密閉できる。接続通路手段10、12には除染手段28が設けられており、階上用と階下用のいずれかのアイソレータ2、4と昇降用アイソレータ8を接続し、接続通路手段10、12内を除染した後、両アイソレータを連通して物品の移動を行う。 (もっと読む)


【課題】FOUPの搬送領域のパーティクルが当該FOUPの蓋体を介して基板搬送領域に混入することを防ぐこと。
【解決手段】FOUPの蓋体の前面が開閉ドアにより開閉される搬送口に向くように当該FOUPを載置する載置台と、FOUPに対向する対向面部に設けられるガス吐出口と、前記載置台に載置されたFOUPを、前記対向面部に対して相対的に進退させる進退機構と、を備えるように蓋体開閉装置を構成し、ガス吐出口から前記FOUPの蓋体までの距離が5mm以下であるときに蓋体へパージガスを供給する。これによって蓋体と対向面部との間を流れるパージガスの流速が高くなり、蓋体のパーティクルが容易に除去される。 (もっと読む)


【課題】被搬送物の除菌状態を保ちつつ該被搬送物を階の異なるクリーンルームへ搬送する。
【解決手段】階の異なるクリーンルーム(C2,C3)間で被搬送物(A)を搬送するための搬送装置に、該搬送装置のキャリッジ(50)内及び搬送路(14)へ除菌成分を含む除菌ガスを供給するための除菌機構を設ける。 (もっと読む)


【課題】ステータ表面と永久磁石表面の間隔を縮小してリニアモータ効率を向上することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】永久磁石52と駆動磁石50の間に配置され、永久磁石52が配置されている空間を真空雰囲気に、駆動磁石50が配置されている空間を大気圧雰囲気に隔てる真空隔壁55は、永久磁石52側の表面がフラットに形成された上板部59aと、上板部59aの縁に気密に連結される第2側壁部59cと、第2側壁部59cが対向して配置された部分に架け渡されるとともに上板部59aの大気圧雰囲気側に一体に設けられ、上板部59aのたわみを抑えるための複数のリブ61を有している。このため、真空隔壁55の最大たわみ量を小さくすることができ、永久磁石52と駆動磁石50の距離を縮めることができる。 (もっと読む)


【課題】ステータ表面と永久磁石表面の間隔を縮小してリニアモータ効率を向上することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】永久磁石42と駆動磁石41の間に配置され、永久磁石42が配置されている空間を真空雰囲気に、駆動磁石41が配置されている空間を大気圧雰囲気に隔てる真空隔壁45は、永久磁石42と対向する部分が大気圧雰囲気側に凸に湾曲した断面形状を有し、永久磁石42及び駆動磁石41はいずれも、真空隔壁45と所定の距離を保つように真空隔壁45と対向する部分が湾曲している。このため、真空隔壁45の最大たわみ量を小さくすることができ、永久磁石42と駆動磁石41の距離を縮めることができる。 (もっと読む)


【課題】ラック・アンド・ピニオンの技術を用いた縦型搬送によるインライン型の真空処理装置であって、ピニオンギヤとラックギヤが同期ずれにより、トレイに振動や衝撃を与えることなく搬送を可能にする搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のピニオンギヤのうち、少なくとも2つが回転してラックギヤに順次噛合することにより、該ラックギヤを現工程の処理室内に配置されるピニオンギヤから、次工程の処理室内に配置されるピニオンギヤへと受け渡して、トレイを搬送するラック・アンド・ピニオン機構、及び、それを備えた真空処理装置であって、各処理室を仕切るゲートバルブを挟んだ2つのピニオンギヤを同時に上下移動させる上下駆動部を有していることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ラック・アンド・ピニオンの技術を用いた縦型搬送によるインライン型の真空処理装置であって、ピニオンギヤとラックギヤが同期ずれにより、トレイに振動や衝撃を与えることなく搬送を可能にする搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置を提供することにある。
【解決手段】複数のピニオンギヤのうち、少なくとも2つが回転してラックギヤに順次噛合することにより、該ラックギヤを現工程の処理室内に配置されるピニオンギヤから、次工程の処理室内に配置されるピニオンギヤへと受け渡して、トレイを搬送するラック・アンド・ピニオン機構、及び、それを備えた真空処理装置であって、前記ピニオンギヤをそれぞれ独立に上下移動させる上下駆動部を有していることを特徴とする。 (もっと読む)


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