【課題】板材の受け渡しの際に、板材が滑ることのない板材の搬送システムを提供する。
【解決手段】第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板材１０１が受け渡される前においては、第１送出装置１０は搬送部２０と加圧部４０の流体１０４とによって板材１０１を挟むように保持しながら搬送するとともに、第２送出装置１１の搬送部２０は板材１０１と接触しないようにし、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板材１０１が受け渡された後においては、第２送出装置１１は搬送部２０と加圧部４０の流体１０４とによって板材１０１を挟むように保持しながら搬送するとともに、第１送出装置１０の搬送部２０は板材１０１と接触しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】薄板状ワークがより薄くても、この薄板状ワークに移動力を確実に伝えて滞りなくそして蛇行なく安定して搬送することが可能である薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｗの下面に空気を吹き付けて非接触状態で支持するエア浮上ユニット２と、ガラス基板Ｗの下面に接触してワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラ３７を備え、エア浮上ユニット２は、ガラス基板Ｗの下面に向けて空気を噴出させる多数の空気噴出孔２４ａを有し、且つ、ワーク搬送方向と直交する断面形状が下方に凸の湾曲形状を成すワーク非接触支持板２４を具備し、搬送ローラ３７をワーク搬送方向と直交する方向の中央に配置して、エア浮上ユニット２のワーク非接触支持板２４から上方に突出する周縁部をガラス基板Ｗの下面に接触させてワーク搬送方向の移動力を付与する。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送にともなう浮上環境の変化に速やかに応答し、基板を一定の浮上高さで搬送することができる浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】噴出口１１と吸引口１２とが基板Ｗの搬送される方向に複数個ずつ配列された表面を有する浮上ステージ１０と、吸引力供給手段３０と、吸引力供給手段３０と連通する主配管１３と、主配管１３と連通し、それぞれの吸引口１２と連通する分岐配管１５と、主配管１３の途中に設けられた差圧ダンパ２０と、を備える浮上搬送装置であり、差圧ダンパ２０は、主配管１３内と外気とを連通する経路であるマニホールド２１および当該経路を遮断する弁２２を有し、弁２２は、主配管１３内と外気との差圧が弁２２に及ぼす外力によって開閉する動作をとり、差圧の変化に応じて弁２２が動作して開度が変化することにより、所定の差圧を保持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各種の作業テーブルとパレットとの間の移動が、大きな労力を要することなく半自動的になされる積重ね薄板材移送装置を提供する。
【解決手段】ボール紙、段ボール等の薄板材を多数積重ねた状態の積重ね薄板材３を、作業テーブルＢと搬送用のパレットＡとの間を相互に移動させる積重ね薄板材移送装置であって、前記パレットＡ及び作業テーブルＢのそれぞれの上面に、多数の微細孔を上下に貫通開口させた多孔板１１，４１と、各多孔板の下面に備えた圧力空気導入室１２，４２とを有する空気浮上ユニットを備え、パレットＡ上と作業テーブルＢの各多孔板１１，４１から圧力空気を噴射させることによって、その空気圧にて積重ね薄板材３を浮上させた状態で、パレットＡと作業テーブルＢの相互間を移動可能にする。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡便に流量を制限することができる気体噴出ノズルを提供する。
【解決手段】気体浮上ステージは多数の気体供給ノズルから噴出する気体噴流を基板の下面に吹き付けることによって基板を浮上移動させる。気体供給ノズルは雌ねじを形成する工程で作成された螺旋部を気体の流路中に備えている。螺旋部備えた気体噴出ノズルは雌ねじを形成する工程によって作成されているので、ステージの全面に安価かつ簡便に形成することができ、この螺旋部によって流量を制限することができる。 （もっと読む）

【課題】隣接する浮揚室２，２を屈折させた状態で連ねる。
【解決手段】シート走行路Ｒに沿う仮想平面Ｐを挟んで一方側及び他方側の各々に複数のノズル箱からなるノズル群Ｎ１，Ｎ２を配置した浮揚室２の複数を連ね、隣接する浮揚室２，２の仮想平面Ｐ，Ｐどうしが、隣接する浮揚室２，２の間でのシート材の浮揚状態を確保できる交差角度θで交差していること。 （もっと読む）

【課題】物体保持装置に保持された物体を迅速に搬出する。
【解決手段】 基板ホルダ３０の上面上に載置された基板Ｐを該基板ホルダ３０から搬出する基板Ｐの搬出方法は、前記基板ホルダ３０に予め保持された基板トレイ６０に前記基板Ｐを下方から支持させることと、前記基板トレイ６０に前記基板Ｐを吸着保持させることと、前記基板ホルダ３０から前記基板Ｐに対して気体を噴出することと、前記基板Ｐが前記基板トレイ６０に吸着保持され、且つ前記基板Ｐに対して前記気体が噴出された状態で前記基板トレイ６０を前記基板ホルダ３０の上面に平行な方向に沿って相対移動させることにより、前記基板Ｐを前記基板ホルダ３０から搬出することと、を含む。 （もっと読む）

【課題】コンベアユニット間のワークの乗移りを円滑に行うことができる搬送コンベアを提供する。
【解決手段】互いに離れて配置される少なくとも２つのローラにベルトが架け渡されており、ローラの駆動に伴ってベルトを回転させることにより、ベルトの表面上のワークを吸着させつつ搬送させるコンベアユニットを複数備え、これらコンベアユニットを搬送方向に複数配列させて順次下流側のコンベアユニットに乗り移らせることによりベルトの表面上のワークを下流側に搬送させる搬送コンベアであって、前記コンベアユニットの下流側に配置され、搬送中のワークの下面側に入り込むことにより、ワークをベルトの表面から引き剥がすスクレーパーと、前記コンベアユニットの下流側ローラの手前に設けられ、前記ベルトの裏面側からワークの下面にエアを吹き付けるエア噴出部と、を備えるコンベアユニットとする。 （もっと読む）

【課題】 搬送プレート上で搬送物の搬送方向を容易に変更することができるエアコンベアを提供する
【解決手段】 エアコンベア１の搬送プレート２は、固定プレート５と、その下面に沿って移動自在に設けられた可動プレート６とで構成される。搬送プレート２の複数のエア噴出孔３は、固定プレートの複数の固定孔８と、可動プレート６の複数の可動孔９とからなる。可動プレート６を固定プレート５の下面に沿って移動させることにより、各エア噴出孔３からの圧縮エアの噴出方向を変えることができる。 （もっと読む）