【課題】複数の偏向角に自動的かつ高精度に位置決めされた状態で偏向させることが可能であり、構造や制御アルゴリズムの設計が容易な静電偏向素子を提供する。
【解決手段】静電偏向素子１００は、支持基板１１０と、支持基板１１０に対して偏向し得るマイクロミラー１２１から構成される。支持基板１１０は、マイクロミラー１２１に対向する面に設けられた複数個の駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍと、駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍの上に設けられた絶縁層１１３を有している。マイクロミラー１２１は、支持基板１１０に対向している対向面１２３が円筒面で構成されている。対向面１２３の一部は互いに連結されない状態で支持基板１１０に接している。 （もっと読む）

【課題】放電プラズマによる気流誘起現象により高温下や含塵環境下においても安定して気流を発生させることができ、空気力学的特性の制御などを行うことが可能な翼、気流発生装置、熱交換装置、マイクロマシンおよびガス処理装置を提供する。
【解決手段】実施形態の翼は、固体からなる誘電体４１を介して配置された電極４２、４３との間に電圧を印加して放電させることにより気流を発生させる気流発生ユニットを翼面の所定の位置に備える。誘電体４１が、ブロック状の誘電体ブロックで構成され、一方の電極４２が、誘電体ブロックの一方の表面から露出して設けられ、他方の電極４３が、一方の電極４２から誘電体ブロックの表面と水平な方向にずらして一方の電極４２と離間され、かつ誘電体ブロックに埋設されている。 （もっと読む）

【課題】塑性域を持たない材料でできた部品を、延性材料で構成される部材に固定する。
【解決手段】特に時計の分野に関するもので、組み付け部２２は、第１の材料でできた部材２７が、塑性域を持たない第２の材料でできた部品３の円形開口部２８に、上記部材２７と上記部品３との間に取り付けられる第３の材料でできた中間部品２４を用いて、軸方向に打ち込まれる。中間部品２４は、上記部材２７を受けるための穴を備えた連続シリンダであって、これにより、中間部品２４は、上記部材２７の軸方向の打ち込み力の少なくとも一部を、径方向に均一に吸収する。また、上記部品３は、その円形開口部２８の周りに分散配置されて弾性変形手段を構成する穿孔２６を備えており、これらは、上記径方向の力のうち中間部品２４に吸収されないものを吸収するためのものであり、これによって、上記部品３を破壊しないように当該組み付け部２２を固定している。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく揺動軸部のがたつきを防止可能な光スキャナと、その光スキャナを利用した画像投影装置とを提供すること。
【解決手段】揺動軸部と、揺動軸部に設けられた反射面を有する揺動体と、揺動軸部を支持するベース台と、揺動軸部を揺動させる駆動部とを備える光スキャナである。ベース台には、揺動軸部の一端を支持する第１軸受と、揺動軸部の他端を支持する第２軸受とが設けられる。揺動軸部は、テーパ状に形成されたテーパ部分を、その一端に有する。そして、第１軸受はテーパ部分に係合するスラスト軸受であり、第２軸受は揺動軸部の外周面と接触するラジアル軸受である。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶材料を用いる機械構造部品は、強度を補うために結晶方位の異なる単結晶材料を積層した、複合基板が用いられるが、積層面の接合部にシリコン酸化膜を用いるため、高精度の加工が困難であるという課題があった。
【解決手段】本発明の機械構造部品は、積層するシリコン単結晶の接合面に、高融点金属シリサイド膜を用いる。高融点金属シリサイド膜は、従来用いられるシリコン単結晶のエッチング加工と同様のドライエッチングによって、シリコン単結晶と共に連続的に加工することができ、部品の加工精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】金属粒子を使用した微小サイズの半導体スイッチ素子を提供する。
【解決手段】半導体スイッチ素子は、所定の深さの孔１０５が設けられた第１絶縁膜１０１と、前記第１絶縁膜上に前記孔を挟んで互いに対向して設けられた第１配線１０３ａ及び第２配線１０３ｂと、前記孔内に前記第１配線及び前記第２配線との間に間隔を空けて配置された金属粒子１０６と、前記第１配線及び前記第２配線上に設けられた第２絶縁膜１０４と、前記金属粒子の上方に設けられた第３配線２０１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】生化学反応チップにおいて、簡易で機能的、かつ安全安価な反応チップを実現すること。
【解決手段】生化学反応チップの主流路の少なくとも片端に試薬を送液するための送液口を持ち、反応チャンバが回転中心に対して円周状に配置されているチップとする。また、回転可能な生化学反応チップとなる基材の内側に複数の反応チャンバと反応チャンバに至る複数の流路を有する。また、反応チャンバまでの流路と主流路が細流路によってバイパスされている生化学反応チップとする。 （もっと読む）

【課題】 幅広い流量範囲に対応し、多品種生産を可能にするマイクロ化学装置及び化学物質製造方法を提供する。
【解決手段】 流体を供給するための複数の供給流路と、前記複数の供給流路の末端が接続され、供給された流体を合流させるための合流部と、前記合流部に接続され、合流部から流入してきた流体を外部に流出させる反応流路と、を備え、前記複数の供給流路のうち少なくとも１つは、複数に分割されて前記合流部に接続され、前記複数の供給流路の底面と、前記反応流路の底面と、が可動プレートで構成され、 前記可動プレートは、流路の深さを変える方向に摺動可能に構成されたマイクロ化学装置。 （もっと読む）

【課題】接触抵抗を低減して挿入損失を抑制することが可能な有接点スイッチを提供する。
【解決手段】有接点スイッチ１は、基板１１に並列配置された複数の固定接点電極１４と、複数の固定接点電極１４に対向して複数の接点梁１２ａを有すると共に、基板１１面内を固定接点電極１４の配列方向に沿って摺動可能なプッシュロッド１２と、接点梁１２ａに設けられた可動接点電極１３とを備える。プッシュロッド１２の摺動動作により、固定接点電極１４と可動接点電極１３との接触状態および非接触状態が切り替えられ、伝送線路１５を機械的に継断する。固定接点電極１４および可動接点電極１３の組（接点対１０）が並列化した接点構造が実現され、全ての接点対１０における接触が同時に一括して行われつつも、各接点対１０における接触は互いに独立なものとなる。各接点同士は十分な接触圧で略均等に接触し易くなる。 （もっと読む）