流体微小電気機械システム(MEMS)デバイス(200)が説明される。基板(120)上に堆積されたポリマー層(42)上に、少なくとも１つの少なくとも部分的に覆われた流体チャネル(124)が形成される。一態様では、部分的に覆われた流体チャネル(124)は単一の構造体として製造される。一具現化形態では、ポリマー層(42)に強い露光工程(706)が適用され、深く架橋されたポリマー領域(620)が作成される。ポリマー層(42)に弱い露光工程(708)が適用され、浅く架橋されたポリマー領域(622)が作成される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳデバイスの製造で用いるプレカーソル膜スタックを提供する。プレカーソル膜スタックは、キャリア基板と、当該キャリア基板の上に形成される第１の層と、当該第１の層上に形成される、絶縁体材料から成る第２の層と、当該第２の層の上に形成される、犠牲材料から成る第３の層とを備える。 （もっと読む）

本明細書には多数の発明が説明及び図示される。１つの態様において、本発明は、最終的なパッケージングの前にチャンバー（２６）に封入される機械的構造（１２）と、少なくとも部分的にチャンバーの外に配置されたコンタクト領域（２４）とを有するＭＥＭＳ装置、及びＭＥＭＳ装置の組み立て又は製造の方法を目的とする。コンタクト領域（２４）は、コンタクト領域の周囲に置かれた誘電分離トレンチ（４６）により、近くの導電領域から電気的に分離される。機械的構造を封止する素材（２８）は、堆積された際に、１つ又はそれ以上の以下の属性を備える。即ち、引張応力が低く、良好なステップカバレージを有し、その後の処理において完全性を維持し、チャンバー内の機械的構造の性能特性に大きな及び／又は悪い影響を与えず（堆積期間に素材でコーティングされた場合）、及び／又は、高性能集積回路の統合を可能とする。１つの実施の形態において、機械的構造を封止する素材は、例えば、シリコン（多結晶、アモルファス、又は多孔性の不純物を添加された又はされないシリコン）、炭化シリコン、シリコン・ゲルマニウム、ゲルマニウム又はヒ化ガリウムである。

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【課題】犠牲層エッチングを行ってマイクロマシンの振動子の部分を封止するとともに、その場合であっても特殊なパッケージング技術を必要とすることなく犠牲層の除去および封止を行うこと可能とする。
【解決手段】振動子４を備えたマイクロマシン１の製造方法において、振動子４の可動部周囲に犠牲層を形成する工程と、犠牲層上をオーバーコート膜８で覆うとともにそのオーバーコート膜８に犠牲層へ通じる貫通口１０を形成する工程と、可動部周囲に空間を形成するために貫通口１０を用いて犠牲層を取り除く犠牲層エッチングを行う工程と、犠牲層エッチングの後に減圧下における成膜処理を行って貫通口１０を封止する工程とを含む。 （もっと読む）

本発明は、多層高剛性キャップを有するシール空洞内に微細機械構造を製造するための方法を含む。キャップに用いられる高剛性材料は、パッケージングプロセスに内在する破壊的環境的影響力、及び環境的損傷から下にある微細構造体を保護する。
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【課題】安価で簡便かつ生産が高い高性能微細管の製造。
【解決手段】本発明の微細管構造の製造方法には、第1、第２の基板を用意する工程と、第1、第２の基板の少なくとも一方の基板上に接着層を形成する工程と、前記接着層上にレジスト層を形成する工程と、前記レジスト層に写真製版法により所望のパターンを焼き付ける工程と、前記接着層と該接着層を担持する前記少なくとも一方の基板とを、パターン化されたジストをマスクとして同時にエッチングして第１の基板に凹溝あるいは貫通孔を形成する工程と、第1、第2の基板を加熱・圧着により前記接着層により接合して一体化する工程とが含まれる。 （もっと読む）

【課題】 ＰＣ用ＣＡＤソフトとプリンタを用いてグレイスケールマスクを作製する方法と、そのマスクと感光性ガラスとを用いて３次元微細加工を行う方法。
【解決手段】 インクジェットプリンター等を用いて、黒画素の粗密で表現された濃淡パターンとして透明シート等上に原画を印刷し、その原画を縮小投影光学系を用いて、原画の各画素の像がぼけて隣接する画素の像と平均化されて解像できない倍率で写真感材に複写することにより作製されたグレイスケールマスク２０を、露光量に応じてエッチング量が異なる感光性ガラス２１に接触させ、グレイスケールマスク２０を介して感光性ガラス２１が感度を有する光２３を照射し、その後、感光性ガラス２１を所定のエッチング溶液でエッチングすることにより感光性ガラス２１の表面に３次元微細加工を施す。 （もっと読む）

プラスチックで作られた平らな表面の上に作られ、かつ異なる表面の性質を有する、２個またはそれ以上の部分を含むマイクロ・チャネル構造のセットを覆う方法。本方法は、（ａ）マイクロ・チャネル構造を含む表面を提供する；（ｂ）１つの面が、熱接着剤のむらのない層を有するふたを形成するシートを提供する；（ｃ）熱接着剤を有するシートの面を、マイクロ・チャネル構造を有する表面に当てる；（ｄ）段階（ｃ）で作られたアセンブリに熱をかけ、熱融解性接着剤を選択的に融解し、同時にシート状物質と基板の平らな表面を一緒にして圧力をかける；（ｅ）得られたラミネートで覆ったマイクロ・チャネル構造を冷却する；段階からなる。アセンブリは、（ａ）異なる機能性を示す部分からなる、１個またはそれ以上の開いたマイクロ・チャネル構造のセットを、その表面に有する平らな基板、（ｂ）マイクロ・チャネル構造を覆い、かつ１個もしくはそれ以上の、マイクロ・チャネル構造から環境雰囲気への開口部を有する、ふたを形成する物質、を含む。アセンブリは、表面とシート状物質の間を接合するものが、硬化し得る熱接着剤であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、改良型微量流体システム及び改良型の微量流体システムを製造する方法を提供し、該微量流体システムは、１つ以上の微量流体チャネル段を包含する。ある本方法は、トポロジー的に複合の改良型微量流体システムへの便利な道筋を提供する。本発明の微量流体システムは、３次元配列の流体流路ネットワークを含み、該流体流路には、横断点において物理的に交差することなく該ネットワークの他のチャネルの上又は下を横断するチャネルが含まれる。微量流体ネットワークは、やはり本発明が提供するレプリカ成形工程を介して製造でき、該成形工程は、フォトリソグラフィにより形成されたトポロジー特徴を有する面を含む型マスターを利用する。微量流体ネットワークは、ある場合には単一のレプリカ成形層で構成され、他の場合は、組立てられて全微量流体ネットワーク構造物を形成する２つ以上のレプリカ成形膜で構成される。 （もっと読む）