説明

国際特許分類[C01B21/083]の内容

化学;冶金 (1,075,549) | 無機化学 (31,892) | 非金属元素;その化合物  (21,484) | 窒素;その化合物 (739) | 窒素と非金属とを含む化合物 (174) | 1またはそれ以上のハロゲン原子を含むもの (28)

国際特許分類[C01B21/083]の下位に属する分類

国際特許分類[C01B21/083]に分類される特許

1 - 10 / 26


【課題】NFの全体のプロセス収率を向上することが可能な新規のTSAサイクルを提供する。
【解決手段】吸着剤の不純物による飽和の前に吸着を止め、回収パージガス(並流か向流かのいずれか)を用いて共吸着したNFを解放し、NFを含む不活性パージガスの流出成分を運転中の容器の流出成分と混合、又は運転中の供給成分へとリサイクルして共吸着したNFの10%〜100%を回収し、さらに共吸着したNFの除去により吸着剤の劣化を防ぐ。 (もっと読む)


【課題】ハロゲン化窒素の合成方法のさらに改良された方法を提供することを課題とする。
【解決手段】NF又は塩化フッ素化合物の製造方法であり、該NF又は塩化フッ素化合物は、一般式[NFCl3-x(X=1又は2)]で表されるフッ化塩化窒素と、HF又はFとの反応によって得られ、該製造方法は
1〜15体積%の前記フッ化塩化窒素を含むガスと、HF又はFを含むガスとを反応器に導入することでNF、ClFおよびClFを含む混合ガスを得る工程
を有すること (もっと読む)


【課題】 本発明の課題は、ガス中の不純物としてハロゲンガスまたは、ハロゲン化合物を不純物として含有する三フッ化窒素を安価に精製する方法を提供することである。
【解決手段】 ハロゲンまたはハロゲン化合物を不純物として含む三フッ化窒素の精製方法において、該三フッ化窒素を、水と接触させる工程、塩基水溶液と接触させる工程、および還元剤水溶液と接触させる工程を有することを特徴とする、三フッ化窒素の精製方法を用いる。 (もっと読む)


【課題】固気反応中の固体原料の異常な温度上昇を制御することで、固気反応を効率的に継続させしめることが可能な技術手段を提供することを課題とする。
【解決手段】固気反応によって機能性気体を連続的に生じせしめるための反応装置において、該反応装置を、
閉空間を形成するための外囲い、
該外囲い内に略水平に配置される略円筒形の筒、及び
該筒の長軸を回転軸として該筒を回転させるための機構を有し、
前記筒の始端と終端は、空孔を有する円盤状板からなる蓋を有し、始端側蓋の空孔径が終端側蓋の空孔径よりも小さく、該筒の始端に機能性気体源である気体と固体を導入するための機構とすること。 (もっと読む)


本発明は、パーフルオロメタンおよび三フッ化窒素の少なくとも一方を、イオン性液体を用いてこれらの混合物から精製する方法に関する。この方法は、少なくとも1種のイオン性液体が共留剤または吸収剤としてそれぞれ用いられる抽出蒸留または吸収などの技術によって実施され得る。
(もっと読む)


【課題】
CVD装置等の半導体製造装置の内部洗浄に有用なNFや低級ノルマルアルキル水銀化合物からジフルオロアミノアルカン合成の原料として有用なハロゲン化窒素の合成法を提供する。
【解決手段】
一般式(NFxL3−x)で表されるハロゲン化窒素を合成するに際し、NHF・nHF、(NH)yMFz・mHF、及びこれらの混合物からなる群から選ばれたアンモニウム錯化合物と、インターハロゲン化合物、またはインターハロゲン化合物とFガスとの混合物とを反応させる。
ただし、Lは、F以外のハロゲン、1≦x≦3、1<n、1≦y≦4、2≦z≦8、0.1≦mを表し、Mは、元素周期律表の1族から16族までの元素、並びにそれらの混合元素を表す。 (もっと読む)


【課題】FガスとNHガスとを反応させて、NFを直接フッ素化法により、工業的に安全かつ収率よく連続的に製造することができる方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る三フッ化窒素の製造方法は、フッ素ガス、アンモニアガスおよび希釈ガスのうちの少なくとも1つのガスを冷却した状態で、該フッ素ガスと希釈ガスとの混合ガスA、および該アンモニアガスと希釈ガスとの混合ガスBをそれぞれ、開口部が管状反応器の断面中心向きに配設されたガス導入管から、冷却構造を有する管状反応器に供給して、前記フッ素ガスと前記アンモニアガスとを、温度60℃以下、ガス滞留時間20秒以下、希釈ガスの存在下、気相中、無触媒の条件で反応させて、主として三フッ化窒素からなるガス生成物と主としてフッ化アンモニウムおよび/または酸性フッ化アンモニウムからなる固形生成物とを生成させることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】F2ガスとNH3ガスとを反応させて、NF3を直接フッ素化法により、工業的に
安全かつ収率よく連続的に製造することができる方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る三フッ化窒素の製造方法は、フッ素ガスとアンモニアガスとを管状反応器に供給して、希釈ガスの存在下、気相中、無触媒条件で反応させて、主として三フッ化窒素からなるガス生成物と主としてフッ化アンモニウムおよび/または酸性フッ化アンモニウムからなる固形生成物とを生成させる三フッ化窒素の製造方法であって、前記管状反応器および/または配管の内壁に付着した前記固形生成物を不活性ガスの存在下で加熱処理して除去することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】F2ガスとNH3ガスとを反応させて、NF3を直接フッ素化法により、工業的に
安全かつ収率よく連続的に製造することができる方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る三フッ化窒素の製造方法は、フッ素ガスとアンモニアガスとを管状反応器に供給して、希釈ガスの存在下、気相中、無触媒条件で反応させて、主として三フッ化窒素からなるガス生成物と主としてフッ化アンモニウムおよび/または酸性フッ化アンモニウムからなる固形生成物とを生成させ、前記管状反応器の外部に装着されたエア式ピストンバイブレ−タ装置により前記管状反応器の内壁に付着した前記固形生成物を除去することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】F2ガスとNH3ガスとを反応させて、NF3を直接フッ素化法により、工業的に
安全かつ収率よく連続的に製造することができる方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る三フッ化窒素の製造方法は、フッ素ガスとアンモニアガスとを管状反応器に供給して、希釈ガスの存在下、気相中、無触媒条件で反応させて、主として三フッ化窒素からなるガス生成物と主としてフッ化アンモニウムおよび/または酸性フッ化アンモニウムからなる固形生成物とを生成させる三フッ化窒素の製造方法であって、前記管状反応器を2つ以上使用し、かつ、これら2つ以上の管状反応器を切り替えながら上記反応を行うことを特徴とする。 (もっと読む)


1 - 10 / 26